柔性显示面板封装结构、柔性显示面板及显示装置的制作方法

本技术涉及显示面板结构领域，具体地说，涉及一种柔性显示面板封装结构。

背景技术：

1、在柔性显示面板的制造过程中，封装结构的设计与实现是影响显示面板性能和可靠性的关键因素之一。随着有机电致发光显示器件(oled)的广泛应用，柔性显示面板因其优越的显示效果和弯曲特性，逐渐成为市场主流。然而，在柔性显示面板的封装过程中，因封装层结构复杂且层间应力较大，常导致封装失效、膜层开裂等问题，直接影响到面板的使用寿命和显示质量。

2、现有技术中，如图1所示，柔性显示面板的封装结构，尤其是柔性显示面板的通孔封装结构，通常包括多层聚酰亚胺(pi)层、无机膜层(pi buffer)、接触孔(ct)层及其他功能层。利用聚酰亚胺(pi)层和无机膜层(pi buffer)不同材料特性的差异来形成内切凹槽结构，以实现更优的封装效果。然而，现有技术中存在一些技术问题，首先是，封装结构依赖无机膜层(pi buffer)与有机层(pi)的内切凹槽(undercut)叠构，仅通过cvd1和cvd2工艺沉积的第一无机层(如二氧化硅siox)来阻隔水氧。然而，若封装层中出现crack(裂纹)，水氧会很容易入侵，造成封装失效。其次，固定区域oled层断开问题。现有的封装结构通过在固定区域断开oled层来避免其与空气中的水氧发生反应而失效。但是，这种结构设计会导致pi2层的刚性及韧性下降，使得该区域的上层膜层易产生crack风险，进一步导致封装失效。

3、需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本实用新型的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型提供一种柔性显示面板封装结构，通过优化膜层的排列和材料选择，来提高封装的可靠性和耐久性。

2、本实用新型的一个方面提供一种柔性显示面板封装结构，包括设置于显示区和非显示区的绝缘层及接触孔层，介于绝缘层和接触孔层之间设置有复合层，复合层包括金属层和第一无机层，第一无机层设置于金属层背离接触孔层一侧，接触孔层和复合层具有形成在其中以暴露第一无机层的第一凹槽，第一无机层设置有至少一个第二凹槽，第二凹槽与第一凹槽相配合以形成对柔性显示面板物理隔离和保护。

3、进一步的，第一凹槽位于非显示区的上方，第一凹槽为圆形或多边形孔、狭缝或沟槽。

4、进一步的，第二凹槽的直径大于第一凹槽。

5、进一步的，复合层为存储电容层，金属层为钼层，第一无机层为氮化硅层。

6、进一步的，接触孔层之上设置有至少两个隔离支撑结构，第一凹槽和第二凹槽设置于隔离支撑结构之间。

7、进一步的，复合层背离于接触孔层一侧设置有栅极层。

8、进一步的，栅极层背离于接触孔层一侧设置有第二无机层。

9、进一步的，第二无机层背离于接触孔层一侧设置有第二无机层缓冲层。

10、进一步的，第二无机层缓冲层背离于接触孔层一侧设置有阻挡层，绝缘层位于阻挡层背离于接触孔层一侧。

11、本实用新型的另一个方面还提供一种柔性显示面板，显示面板设置有通孔，通孔周围的封装结构采用包括上述的柔性显示面板封装结构。

12、本实用新型的另一个方面还提供一种显示装置，显示装置包括上述的柔性显示面板。

13、本实用新型相比于现有技术至少包括以下优点：

14、提高封装可靠性：通过在绝缘层和接触孔层之间设置复合层，其中包括金属层和第一无机层，增强了封装结构的整体强度和稳定性。第一无机层设置的内切凹槽能有效降低膜层应力，减少封装失效的风险。

15、增强抗裂性能：新增的膜层结构，包括金属层(如钼层)和第一无机层(如氮化硅层)，在内切凹槽的位置设置有更好的抗裂性能。此设计能有效避免因层间应力引起的膜层开裂，提高了封装的耐久性。

16、简化制造工艺：通过优化封装结构的层次排列和材料选择，简化了制造工艺。具体来说，在一些实施方式中，可采用四氟化碳和氧气的气体混合物蚀刻内切凹槽，避免了复杂的多步蚀刻工艺，降低了生产成本和难度。

17、增强保护效果：内切凹槽与第一凹槽相配合形成的结构，能够提供更好的物理隔离和保护效果。此设计不仅提高了封装的密封性，还能有效阻止水氧等有害物质的入侵，从而延长显示面板的使用寿命。

18、减少水氧入侵风险：通过优化第一无机层和有机层的叠构设计，克服了传统封装结构中容易出现的crack问题。复合层的设置，有效隔绝了水氧的入侵路径，大大降低了封装失效的概率。

19、提高显示质量：改进的封装结构减少了膜层开裂和封装失效的风险，从而保持了oled显示面板的高质量显示效果。封装结构的稳定性和可靠性直接影响到显示面板的性能，本实用新型的技术方案确保了显示质量的稳定和持久。

20、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本实用新型。

技术特征：

1.一种柔性显示面板封装结构，包括设置于显示区和非显示区的绝缘层，及接触孔层，其特征在于，介于所述绝缘层和所述接触孔层之间设置有复合层，所述复合层包括金属层和第一无机层，所述第一无机层设置于所述金属层背离所述接触孔层一侧，所述接触孔层和所述复合层具有形成在其中以暴露所述第一无机层的第一凹槽，所述第一无机层设置有至少一个第二凹槽，所述第二凹槽与所述第一凹槽相配合以形成对所述柔性显示面板物理隔离和保护。

2.根据权利要求1所述的柔性显示面板封装结构，其特征在于，所述第一凹槽位于所述非显示区的上方，所述第一凹槽为圆形或多边形孔、狭缝或沟槽。

3.根据权利要求2所述的柔性显示面板封装结构，其特征在于，所述第二凹槽的直径大于所述第一凹槽。

4.根据权利要求1所述的柔性显示面板封装结构，其特征在于，所述复合层为存储电容层，所述金属层为钼层，所述第一无机层为氮化硅层。

5.根据权利要求1所述的柔性显示面板封装结构，其特征在于，所述接触孔层之上设置有至少两个隔离支撑结构，所述第一凹槽和所述第二凹槽设置于所述隔离支撑结构之间。

6.根据权利要求1所述的柔性显示面板封装结构，其特征在于，所述复合层背离于所述接触孔层一侧设置有栅极层。

7.根据权利要求6所述的柔性显示面板封装结构，其特征在于，所述栅极层背离于所述接触孔层一侧设置有第二无机层。

8.根据权利要求7所述的柔性显示面板封装结构，其特征在于，所述第二无机层背离于所述接触孔层一侧设置有第二无机层缓冲层。

9.根据权利要求8所述的柔性显示面板封装结构，其特征在于，所述第二无机层缓冲层背离于所述接触孔层一侧设置有阻挡层，所述绝缘层位于所述阻挡层背离于所述接触孔层一侧。

10.一种柔性显示面板，其特征在于，所述显示面板设置有通孔，所述通孔周围的封装结构采用包括权利要求1-9中任一项所述的柔性显示面板封装结构。

11.一种显示装置，其特征在于，所述显示装置包括权利要求10所述的柔性显示面板。

技术总结
本技术提供一种柔性显示面板封装结构、柔性显示面板及显示装置，所述柔性显示面板封装结构包括设置于显示区和非显示区的绝缘层及接触孔层，介于绝缘层和接触孔层之间设置有复合层，复合层包括金属层和第一无机层，第一无机层设置于金属层背离接触孔层一侧，接触孔层和复合层具有形成在其中以暴露第一无机层的第一凹槽，第一无机层设置有至少一个第二凹槽，第二凹槽与第一凹槽相配合以形成对柔性显示面板物理隔离和保护。本技术通过在绝缘层和接触孔层之间设置复合层，其中包括金属层和第一无机层，增强了封装结构的整体强度和稳定性。第一无机层设置的内切凹槽能有效降低膜层应力，减少封装失效的风险。

技术研发人员：王仲瑜,伍盼盼,钱春悦,高胜
受保护的技术使用者：上海和辉光电股份有限公司
技术研发日：20240612
技术公布日：2025/3/24