压电振动元件的制作方法

本发明涉及压电振动元件。

背景技术：

1、在移动通信终端、通信基站、家电等各种电子设备中，使用压电振动元件用于计时设备、传感器或者振荡器等。压电振动元件具备具有一对主面的压电片和设置于压电片的一对主面的一对激励电极。

2、例如，专利文献1中公开了一种振动元件，包括：基板，通过厚度切变振动而振动，且包含处于表背面关系的第一主面以及第二主面；第一激励电极，设置于第一主面；以及第二激励电极，设置于第二主面且俯视时大于第一激励电极，第一激励电极在俯视时配置为收纳在第二激励电极的外缘内。

3、专利文献1：日本特开2014－154994号公报

4、然而，随着电子设备的高性能化，需要具有高机电耦合系数的压电振动元件。

技术实现思路

1、本发明是鉴于这样的事情而完成的，其目的在于，提供能够实现机电耦合系数的提高的压电振动元件。

2、本发明的一方式所涉及的压电振动元件具备：压电片，具有第一主面以及与第一主面对置的第二主面；第一激励电极，设置于第一主面；以及第二激励电极，设置于第二主面，在第一主面与第二主面相互对置的对置方向上的俯视时，第二激励电极的面积大于第一激励电极的面积，并且，第二激励电极的一部分与第一激励电极的全部重叠，沿着对置方向的第二激励电极的厚度大于沿着对置方向的第一激励电极的厚度。

3、本发明的另一方式所涉及的压电振动元件具备：压电片，具有第一主面以及与第一主面对置的第二主面；第一激励电极，设置于第一主面；第二激励电极，设置于第二主面；以及绝缘膜，层叠于第二激励电极，在第一主面与第二主面相互对置的对置方向上的俯视时，由第二激励电极以及绝缘膜构成的层叠体的面积大于第一激励电极的面积，并且，层叠体的一部分与第一激励电极的全部重叠，沿着对置方向的第二激励电极的厚度以及绝缘膜的厚度之和大于沿着对置方向的第一激励电极的厚度。

4、发明效果

5、根据本发明，能够提供能够实现机电耦合系数的提高的压电振动元件。

技术特征：

1.一种压电振动元件，具备：

2.根据权利要求1所述的压电振动元件，其中，

3.根据权利要求1或者2所述的压电振动元件，其中，

4.一种压电振动元件，具备：

5.根据权利要求4所述的压电振动元件，其中，

6.根据权利要求4或者5所述的压电振动元件，其中，

7.根据权利要求4～6的任一项所述的压电振动元件，其中，

8.根据权利要求4～7的任一项所述的压电振动元件，其中，

9.根据权利要求8所述的压电振动元件，其中，

10.根据权利要求1～9的任一项所述的压电振动元件，其中，还具备：

11.根据权利要求1～10的任一项所述的压电振动元件，其中，还具备：

12.根据权利要求1～11的任一项所述的压电振动元件，其中，

13.根据权利要求1～12的任一项所述的压电振动元件，其中，

14.根据权利要求1～13的任一项所述的压电振动元件，其中，

15.根据权利要求1～14的任一项所述的压电振动元件，其中，

16.根据权利要求15所述的压电振动元件，其中，

技术总结
压电振动元件(10)具备：压电片(11)，具有第一主面(11A)以及与第一主面(11A)对置的第二主面(11B)；第一激励电极(14a)，设置于第一主面(11A)；以及第二激励电极(14b)，设置于第二主面(11B)，在第一主面(11A)与第二主面(11B)相互对置的对置方向上的俯视时，第二激励电极(14b)的面积大于第一激励电极(14a)的面积，并且，第二激励电极(14b)的一部分与第一激励电极(14a)的全部重叠，沿着对置方向的第二激励电极(14b)的厚度(Te2)大于沿着对置方向的第一激励电极(14a)的厚度(Te)。

技术研发人员：西村俊雄
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：
技术公布日：2025/4/6