一种半导体检测图像自聚焦方法、装置、设备和存储介质与流程

本申请涉及半导体生产，具体为一种半导体检测图像自聚焦方法、装置、设备和存储介质。

背景技术：

1、半导体是指在常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。这种材料具有一些特殊的物理性质，例如，电导率可以通过外部条件(如温度、光照等)或施加电场进行调节；pn结构的形成使半导体材料具有整流、放大和开关等特性；热激发效应使得半导体器件在不同温度条件下仍然可以正常工作。半导体广泛应用于电子技术中，是现代电子器件(如晶体管、集成电路等)的基本组成元素。

2、在对半导体进行检测过程中，需要基于待检测的半导体获取光学或者电学图像进行检测。现有技术中，为了节省检测成本，基于人工智能模型对半导体的光学或者电学图像进行检测。但是，需要清楚的是，若无法获取清楚的光学或者电学图像，会极大的影响后续检测的准确性。而能否获取清楚的光学或者电学图像，与图像采集时，能否进行准确聚焦直接相关。容易理解的是，在采集图像过程中，若聚焦越准确，则获取的图像越清楚；若聚焦越不准确，则获取的图像越模糊。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种半导体检测图像自聚焦方法、装置、设备和存储介质，以解决现有技术中无法对半导体检测图像进行自聚焦的技术问题。

2、为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：

3、第一方面，本申请技术方案提出一种半导体检测图像自聚焦方法，所述方法包括：

4、基于待检测半导体，获取多个聚焦图像，各个聚焦图像的焦面位置不同；所述待检测半导体预先获取；

5、基于科学计算软件，获取各个聚焦图像的清晰度；所述科学计算软件预先获取；

6、基于各个聚焦图像的清晰度，获取待检测半导体的最佳焦面位置。

7、作为本申请技术方案中一个具体的方案，所述基于科学计算软件，获取各个聚焦图像的清晰度包括：

8、获取目标聚焦图像；所述目标聚焦图像为各个聚焦图像中清晰度未知的任意聚焦图像；

9、基于所述科学计算软件和清晰度评价函数，获取所述目标聚焦图像的清晰度；所述清晰度评价函数预先获取。

10、作为本申请技术方案中一个具体的方案，基于各个聚焦图像的清晰度，获取待检测半导体的最佳焦面位置包括：

11、基于各个聚焦图像的清晰度，获取各个聚焦图像的清晰度梯度；

12、基于各个聚焦图像的清晰度梯度，获取待检测半导体的最佳焦面位置。

13、第二方面，本申请技术方案提出一种半导体检测图像自聚焦装置，包括：

14、获取模块，用于基于待检测半导体，获取多个聚焦图像，各个聚焦图像的焦面位置不同；所述待检测半导体预先获取；

15、处理模块，用于基于科学计算软件，获取各个聚焦图像的清晰度；所述科学计算软件预先获取；

16、以及，基于各个聚焦图像的清晰度，获取待检测半导体的最佳焦面位置。

17、作为本申请技术方案中一个具体的方案，所述处理模块，还用于获取目标聚焦图像；所述目标聚焦图像为各个聚焦图像中清晰度未知的任意聚焦图像；

18、以及，基于所述科学计算软件和清晰度评价函数，获取所述目标聚焦图像的清晰度；所述清晰度评价函数预先获取。

19、作为本申请技术方案中一个具体的方案，所述处理模块还用于，基于各个聚焦图像的清晰度，获取各个聚焦图像的清晰度梯度；

20、以及，基于各个聚焦图像的清晰度梯度，获取待检测半导体的最佳焦面位置。

21、第三方面，本申请技术方案提出一种半导体检测图像自聚焦设备，包括：

22、获取器，用于基于待检测半导体，获取多个聚焦图像，各个聚焦图像的焦面位置不同；所述待检测半导体预先获取；

23、处理器，用于基于科学计算软件，获取各个聚焦图像的清晰度；所述科学计算软件预先获取；

24、以及，基于各个聚焦图像的清晰度，获取待检测半导体的最佳焦面位置。

25、作为本申请技术方案中一个具体的方案，所述处理器，还用于获取目标聚焦图像；所述目标聚焦图像为各个聚焦图像中清晰度未知的任意聚焦图像；

26、以及，基于所述科学计算软件和清晰度评价函数，获取所述目标聚焦图像的清晰度；所述清晰度评价函数预先获取。

27、作为本申请技术方案中一个具体的方案，所述处理器还用于，基于各个聚焦图像的清晰度，获取各个聚焦图像的清晰度梯度；

28、以及，基于各个聚焦图像的清晰度梯度，获取待检测半导体的最佳焦面位置。

29、第四方面，本申请技术方案提出一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如第一方面中任一项所述的半导体检测图像自聚焦方法。

30、与现有技术相比，本申请的有益效果是：

31、通过获取不同焦面位置聚焦图像的清晰度，来判定最佳的焦面位置。该方法快速并且有效，能够节省检测成本，并且能够提升检测的准确性。

技术特征：

1.一种半导体检测图像自聚焦方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的半导体检测图像自聚焦方法，其特征在于，所述基于科学计算软件，获取各个聚焦图像的清晰度包括：

3.根据权利要求1所述的半导体检测图像自聚焦方法，其特征在于，基于各个聚焦图像的清晰度，获取待检测半导体的最佳焦面位置包括：

4.一种半导体检测图像自聚焦装置，其特征在于，包括：

5.根据权利要求4所述的半导体检测图像自聚焦装置，其特征在于，所述处理模块，还用于获取目标聚焦图像；所述目标聚焦图像为各个聚焦图像中清晰度未知的任意聚焦图像；

6.根据权利要求4所述的半导体检测图像自聚焦装置，其特征在于，所述处理模块还用于，基于各个聚焦图像的清晰度，获取各个聚焦图像的清晰度梯度；

7.一种半导体检测图像自聚焦设备，其特征在于，包括：

8.根据权利要求7所述的半导体检测图像自聚焦设备，其特征在于，所述处理器，还用于获取目标聚焦图像；所述目标聚焦图像为各个聚焦图像中清晰度未知的任意聚焦图像；

9.根据权利要求7所述的半导体检测图像自聚焦设备，其特征在于，所述处理器还用于，基于各个聚焦图像的清晰度，获取各个聚焦图像的清晰度梯度；

10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至3中任一项所述的半导体检测图像自聚焦方法。

技术总结
本申请公开了一种半导体检测图像自聚焦方法、装置、设备和存储介质，涉及半导体生产技术领域。所述方法包括：基于待检测半导体，获取多个聚焦图像，各个聚焦图像的焦面位置不同；所述待检测半导体预先获取；基于科学计算软件，获取各个聚焦图像的清晰度；所述科学计算软件预先获取；基于各个聚焦图像的清晰度，获取待检测半导体的最佳焦面位置。本申请通过获取不同焦面位置聚焦图像的清晰度，来判定最佳的焦面位置。该方法快速并且有效，能够节省检测成本，并且能够提升检测的准确性。

技术研发人员：秦雪飞,任晓静,温任华
受保护的技术使用者：魅杰光电科技（上海）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/5