专利名称：有机电激发光显示面板显影设备及方法
技术领域：
本发明是关于一种显示面板显影设备及方法，特别是一种适用于有机电激发光显示面板显影设备及方法。
有机电激发光显示面板的主要结构包含有复数条互相平行的铟锡氧化物(ITO)阳极电极，复数条互相平行但与阳极电极垂直的光阻阻隔墙，一有机电激发光材料层是蒸镀于相邻的光阻阻隔墙内，以及复数条互相平行的阴极电极，是蒸镀于有机电激发光材料层上。阳极的形成及画素区域的形成是利用光阻的显影形成图样再选择性地进行蚀刻而完成。
有机电激发光显示面扳的制作过程中，公知的显影技术在传统的集成电路、光电制程中，是将矽基板置于吸盘上旋转，而後由喷嘴分别喷洒显影液与水洗液，最後再高速旋乾。但随著显示器尺寸往新世代推进而加大，与显示器玻璃基板较矽基板重很多的双重效应影响，使得传统转盘设计无法负荷如此大的重量与高速旋转下的离心力，使得显影不均匀或不乾净造成光阻残留，而大大降低显示元件的良率。而因此或改采将显示基板浸泡在不同的显影槽与水洗槽的方式进行，但却无法连续操作每一个步骤，必须藉由人为传送的方式将显示面板取出并装载至另一个机台中，因此整个显影制程的时程会延长许多，不利于量产作业，也不利于大面积的显示面板制造。此外，由于人为因素不易控制，常会在传送过程中产生延误或是损坏，因此一般的显影设备根本无法精确地控制显影时间，也不能确保显影制程的品质。
而光阻显影的机器设备，若非以旋转涂布的方法，需要昂贵及复杂的感测器，控制系统，往复运动机构以及设计复杂的控制程式，而且维修不便，并会有个别单元闲置的情事。因此及需要一种简单高效率，维修容易，成本低廉，显影作业快速的有机电激发光显示面板显影设备，以应付大量生产的需要，并解决业界大面积面板涂布显影困难。
发明人本着积极发明的精神，经研究实验终至完成此项嘉惠世人的发明，一种可以解决上述问题的，有机电激发光显示面板显影设备及方法。
本发明的另一目的是在提供一种有机电激发光显示面板显影设备，以便能连续地，高效率，并快速地显影处理有机电激发光显示面板。
为达成上述的目的，本发明有机电激发光显示面板显影设备，包含一显影单元，具有至少一显影槽，用来提供一显影液，以使该显影液均匀分布在一有机电激发光显示面板的表面上，其是将有机电激发光显示面板浸置于显影液中或喷洒显影液于该有机电激发光显示面板；一水洗单元，具有至少一水洗槽，是与该最後端的显影单元连接，用来喷洒一循环清洗液或新鲜清洗液于该有机电激发光显示面板，以移除该有机电激发光显示面板表面上所残留的显影液；一乾燥单元，具有至少一空气吹乾装置，以乾燥经该水洗单元处理过的有机电激发光显示面板；以及一传送单元，以连续传送的方式将该有机电激发光显示面板传送于该显影单元，水洗单元以及该乾燥单元；其中，该传送单元于该显影设备中是以定速率传送该有机电激发光显示面板。
本发明有机电激发光显示面板显影方法，是包含以下的步骤先于一显影槽中将一显影液均匀喷洒于该有机电激发光显示面板表面进行显影，并于该显影槽中以定速率将该有机电激发光显示面板自该显影槽的一端传送至该显影槽的另一端；之後以水第一次清洗将该已显影的有机电激发光显示面板；随之以水第二次清洗将该已经第一次清洗的有机电激发光显示面板；以及最後以空气吹除或吹乾该有机电激发光显示面板；其中该第一次清洗使用的水是为第二次清洗後收集的循环水。
本发明的显影单元的显影时间控制，无须利用复杂昂贵的可程式时间控制器，其时间的控制是以滚轮转速的设定以及显影单元的长度做控制以进行精确的显影时间控制。因为将显影单元的长度除以显影单元内输送有机电激发光显示面板的速度，恰等于有机电激发光显示面板显影所花费的时间，而有机电激发光显示面板的传送的速度是由传送滚轮所控制。所以本发明有机电激发光显示面板显影设备，可以利用简单的速率控制，便可以做精确的显影时间控制，无须复杂的控制设备以及控制的程式。本发明的显影单元，无须利用帮浦，液位控制器，或液位检测器，仅需要摇摆喷洒显影液的装置，即可维持相同的显影品质。再者，本发明并非利用旋涂显影液于有机电激发光显示面板，因而无需考虑面板过重，难以旋转或均匀涂布的问题。而本发明因为是以滚轮传送，并以顺序处理的方式加以显影及清洗，因此可以连续地大量地高效率进行显影，适合生产线的大量制造。
由于本发明构造及方法新颖，能提供产业上利用，且确有增进功效，故依法申请发明专利。
该显影单元也可以选择性地更包括至少一显影液喷洒装置以均匀喷洒该显影液于该传送中的有机电激发光显示面板；较佳为该显影液喷洒装置成交叉分布，并可于显影液喷洒时来回摆动以喷洒均匀。再者，该显影单元可以选择性地更包括至少一显影液储存槽以储存或回收该显影液，该显影液储存槽并与该显影液喷洒装置连结；或该显影单元选择性地更包括至少一显影液浓度监测装置以控制或监测该显影液的浓度。更有甚者，该显影单元可选择性地更包括一显影液自动补充装置，以随时补充所需要的药液。
本发明的有机电激发光显示面板显影设备的水洗单元包含至少一水洗槽，较佳为包含一第一水洗槽以及一第二水洗槽；其中该第一水洗槽是收集并使用第二水洗槽清洗後的循环水清洗该有机电激发光显示面板，且该有机电激发光显示面板是先经由第一水洗槽清洗後，再经第二水洗槽清洗。其中该水洗单元使用的水无限制，较佳为第二水洗槽是以去离子水清洗该有机电激发光显示面板。该第一水洗槽使用的清洗水无限制，较佳为去离子水或经收集第二水洗槽使用过的循环去离子水。本发明的有机电激发光显示面板显影设备的传送单元无限制，较佳为传动滚轮；最佳为内缘直径小于外缘直径以承接有机电激发光显示面板的传动滚轮组。本发明有机电激发光显示面板显影设备适用的显影液种类无限制，视有机电激发光显示面板上的需要显影的层而定，较佳为TMAH或氢氧化钠。本发明有机电激发光显示面板显影设备适用的有机电激发光显示面板无限制，较佳为表面具有一光阻层或一聚亚醯胺(Polyimide)层有机电激发光显示面板。本发明有机电激发光显示面板显影设备的乾燥单元的空气吹乾装置无限制，空气吹乾装置较佳为风刀。
为能更了解本发明的技术内容，特举有机电激发光显示面板显影设备较佳具体实施例说明如下。
请参照本发明的
图1，图1为本发明有机电激发光显示面板显影设备100较佳例的示意图。该有机电激发光显示面板显影设备100具有一显影单元14，并依序连结一第一水洗单元20，一第二水洗单元22以及一乾燥单元18。其中各单元并以一滚轮输送单元16贯穿连结诸单元以运送有机电激发光显示面板于各单元之间。该显影单元14具有一显影槽148，且于显影槽148的上方提供有一组喷嘴阵列146，该组喷嘴阵列146可以来回振摇，以由喷嘴均匀喷洒显影液于面板或显影槽148中。该显影单元14于显影槽148之外，并设有一个或复数个显影液储存槽142，置放相同或不同的显影液(例如TMAH或NaOH)，以因应不同面板显影的需要，并可以避免显影药液间的相互污染。或者作为相互辅助的补充用，以于置换或补充显影液时，无须停机以补充。每一显影液储存槽，并可以选择性地连结一自动显影液补充系统，以于显影液不足时，自动自外界的补充显影液。该显影液储存槽与该显影单元的喷嘴阵列146，以显影液管线149连结，其中该显影液管线149间并可以选择性地设置显影液过滤器146或帮浦147，以过滤显影液的杂质或控制显影液喷出的压力。透过调整显影液喷出的压力，可以因而控制显影的品质。显影液的喷嘴阵列146，是以振摇的方式作扇型的交叉分布喷洒显影液，以促进显影均匀的效果。该显影槽148并具有一温度控制器144，以于面板显影时控制或保持显影槽148的温度。
连结于该显影槽148的末端，为第一水洗槽201。连结第一水洗槽201的末端为第二水洗槽221。第一水洗槽201及第二水洗槽221均设有清洗水储存槽202，222，帮浦204，224，连接的管线206，226以及喷嘴208，228。其于有机电激发光显示面板通过时，将清洗用的水由清洗水储存槽202，222经帮浦204，224，连结的管线206，并由喷嘴208，228喷出至有机电激发光显示面板表面以清洗残留于有机电激发光显示面板表面的显影液。而第二水洗槽221使用新鲜清洁的去离子水以对有机电激发光面板清洗，清洗後的水可以以收集槽202收集後，以管线连结至第一水洗槽201以供第一水洗槽201以此循环水清洗有机电激发光面板。连结于第二水洗槽201末端则为一具有数个风刀或风刀阵列的空气吹乾单元18。该空气吹乾单元18，是由喷嘴182吹出空气气流于有机电激发光面板表面以去除残留的水分或污染粒子。
本有机电激发光显示面板显影设备100的有机电激发光显示面板的传输是利用传动滚轮系统16传送。传送的速度是以显影槽的长度除以显影所需要的时间计算而得。有机电激发光显示面板经过显影单元显影槽时，显影单元内的喷嘴左右摆动以将显影液均匀地喷洒在有机电激发光显示面板表面上。而显影的时间，是由有机电激发光显示面板于显影槽内停留的时间而定。而有机电激发光显示面板于显影槽内停留的时间可以由传动滚轮16的速度及显影槽的长度精确地控制。经过精确地控制显影时间後，该已经经过显影的有机电激发光显示面板立即由传动滚轮16传送至第一水洗槽201。第一水洗槽201的喷嘴208并将循环水喷洒至有机电激发光显示面板表面，以洗除有机电激发光显示面板表面污染的粒子以及显影液。第一水洗槽201清洗用的离子水，是来自于第二水洗槽221洗除过後收集的循环水。经过第一水洗槽201的清洗後，有机电激发光显示面板随即由传动滚轮16传送至第二水洗槽221以新鲜去离子水进行第二次清洗。该有机电激发光显示面板于清洗後，再由传动滚轮的传输，进入乾燥单元18。该乾燥单元18以复数个风刀182，将新鲜空气吹向有机电激发光显示面板的表面，吹除有机电激发光显示面板的水分，利于後续的处理。
本发明的有机电激发光显示面板的显影设备，其于显影槽的前设置一缓冲区12以将待显影的有机电激发光显示面板置于此缓冲区12以待传送输入至显影单元14。此外，显影槽148与第一水洗槽201之间，亦选择性地设置一风刀143，以辅助性地先期吹除显影的残余药液以及所产生的颗粒。另于乾燥单元18的後设置另一第二缓冲区19以将已经显影并清洗乾燥的有机电激发光显示面板置于此第二缓冲区19以待传送输入至後续单元或取出使用。
请参照本发明的图2，图2为本发明有机电激发光显示面板显影设备另一较佳例的示意图。图2的有机电激发光显示面板显影设备与图1的有机电激发光显示面板显影设备较佳例除水洗单元外，其余均与图1的有机电激发光显示面板显影设备较佳例相同。图2的有机电激发光显示面板显影设备本较佳例的仅使用一水洗单元30。该水洗单元30设有清洗水储存槽302，帮浦304，连结的管线306以及喷嘴308。其于有机电激发光显示面板通过时，将清洗用的水由清洗水储存槽302经帮浦304，连结的管线306，并由喷嘴308喷出至有机电激发光显示面板表面以清洗残留于有机电激发光显示面板表面的显影液。而水洗槽301使用新鲜清洁的去离子水以对有机电激发光面板清洗。
本发明的有机电激发光显示面板的显影设备，由于使用传动滚轮传送有机电激发光显示面板，并以喷嘴振摇的方式均匀喷洒显影液，不必以旋转方式旋涂显影液，所以可以克服旋涂方法不适用于大面积有机电激发光显示面板的缺点。另外，本发明有机电激发光显示面板显影设备因为利用传动滚轮的转速控制显影的时间，计算方法简单，而且结构简单，大量减少利用昂贵且复杂的控制器以及成本，节省软件及硬件设计，修改的成本以及时间，并且维修相对简单，容易。而显影时间可以由转速调整而控制，显影的时间的控制简单而精确。
综上所陈，本发明无论就目的、手段及功效，在显示其不同于已有技术的特征，为『有机电激发光显示面板显影设备』的一大突破。
应注意的是，上述诸多实施例仅是为了便于说明而举例而已，本发明所主张的权利范围自应以申请专利范围所述为准，而非仅限于上述实施例。
权利要求
1.一种有机电激发光显示面板显影设备，其特征在于，包含一显影单元，具有至少一显影槽，用来提供一显影液，以使该显影液均匀分布在一有机电激发光显示面板的表面上，其是将有机电激发光显示面板浸置于显影液中或喷洒显影液于该有机电激发光显示面板；一水洗单元，具有至少一水洗槽，是与该最後端的显影单元连接，用来喷洒一循环清洗液或新鲜清洗液于该有机电激发光显示面板，以移除该有机电激发光显示面板表面上所残留的显影液；一乾燥单元，具有至少一空气吹乾装置，以乾燥经该水洗单元处理过的有机电激发光显示面板以及一传送单元，以连续传送的方式将该有机电激发光显示面板传送于该显影单元，水洗单元以及该乾燥单元；其中，该传送单元于该显影设备中是以定速率传送该有机电激发光显示面板。
2.如权利要求1项所述的显影设备，其特征在于，其中该显影装置更包含有一下载单元，是与该乾燥单元相连接，以装载完成显影处理的该显示面板，或提供一缓冲区使该显示面板基板直接进入後续的制程模组。
3.如权利要求1所述的有机电激发光显示面板显影设备，其特征在于，其更包含一控制单元以控制或调整该传送单元中传送该有机电激发光显示面板的速率。
4.如权利要求1所述的有机电激发光显示面板显影设备，其特征在于，其中该显影单元更包括至少一温度控制装置以控制或保持该显影槽的温度。
5.如权利要求1所述的有机电激发光显示面板显影设备，其特征在于，其中该显影单元更包括至少一显影液喷洒装置以均匀喷洒该显影液于该传送中的有机电激发光显示面板。
6.如权利要求1所述的有机电激发光显示面板显影设备，其特征在于，其中该显影单元更包括至少一显影液储存槽以储存或回收该显影液，该显影液储存槽并与该显影液喷洒装置连结。
7.如权利要求1所述的有机电激发光显示面板显影设备，其特征在于，其中该显影单元更包括至少一显影液浓度监测装置以控制或监测该显影液的浓度。
8.如权利要求1所述的有机电激发光显示面板显影设备，其特征在于，其中该显影单元更包括一显影液自动补充装置。
9.如权利要求1所述的有机电激发光显示面板显影设备，其特征在于，其中该显影液喷洒装置成交叉分布，并可于显影液喷洒时来回摆动以使显影液喷洒均匀。
10.如权利要求1所述的有机电激发光显示面板显影设备，其特征在于，其中该水洗单元包含一第一水洗槽以及一第二水洗槽；其中该第一水洗槽是收集并使用第二水洗槽清洗後的循环水清洗该有机电激发光显示面板，且该有机电激发光显示面板是先经由第一水洗槽清洗後，再经第二水洗槽清洗。
11.如权利要求1所述的有机电激发光显示面板显影设备，其特征在于，其中该第二水洗单元是以去离子水清洗该有机电激发光显示面板。
12.如权利要求1所述的有机电激发光显示面板显影设备，其特征在于，其中该传送单元为传动滚轮。
13.如权利要求1所述的有机电激发光显示面板显影设备，其特征在于，其中该显影液为TMAH或氢氧化钠。
14.如权利要求1所述的有机电激发光显示面板显影设备，其特征在于，其中该空气吹乾装置为风刀。
15.如权利要求1所述的有机电激发光显示面板显影设备，其特征在于，其中该有机电激发光显示面板表面具有一光阻层或一聚亚醯胺层。
16.一种有机电激发光显示面板显影方法，是包含以下的步骤(一)于一显影槽中将一显影液均匀喷洒于该有机电激发光显示面板表面进行显影，并于该显影槽中以定速率将该有机电激发光显示面板自该显影槽的一端传送至该显影槽的另一端；(二)以水第一次清洗将该已显影的有机电激发光显示面板；(三)以水第二次清洗将该已经第一次清洗的有机电激发光显示面板；以及(四)以空气吹除或吹乾该有机电激发光显示面板；其中该第一次清洗使用的水是为第二次清洗後收集的循环水。
17.如权利要求16所述的有机电激发光显示面板显影方法，其特征在于，其中该有机电激发光显示面板于一定显影液温度下于该显影槽显影。
18.如权利要求17所述的有机电激发光显示面板显影方法，其特征在于，其中该显影槽包括至少一显影液喷洒装置以均匀喷洒该显影液于该传送中的有机电激发光显示面板。
19.如权利要求16所述的有机电激发光显示面板显影方法，特征在于，其中该有机电激发光显示面板是以风刀进行空气吹乾。
20.如权利要求15所述的有机电激发光显示面板显影方法，其特征在于，其中该有机电激发光显示面板表面具有一光阻层或一聚亚醯胺层。
全文摘要
一种有机电激发光显示面板显影设备，包含一显影单元，具有显影槽，是提供显影液，使显影液均匀分布在机电激发光显示面板的表面上，将有机电激发光显示面板浸置于显影液中或喷洒显影液于该有机电激发光显示面板；一水洗单元，有至少一水洗槽，是与最后端的显影单元连接，用来喷洒一循环清洗液或新鲜清洗液于机电激发光显示面板，以移除有机电激发光显示面板表面上所残留的显影液；一乾燥单元，有至少一空气吹干装置，以干燥经水洗单元处理过的有机电激发光显示面板以及一转送单元，以连续传送的方式将有机电激发光显示面板传送于显影单元，水洗单元以及干燥单元；传送单元于显影设备中是以定速率传送有机电激发光显示面板。
文档编号H05B33/00GK1464344SQ02123218
公开日2003年12月31日 申请日期2002年6月13日 优先权日2002年6月13日
发明者卢添荣, 张毅 申请人:铼宝科技股份有限公司