专利名称:工业用电子加速器引出窗的制作方法
技术领域:
本实用新型涉及一种工业用电子加速器的引出窗。
背景技术:
电子加速器引出窗是指设在电子加速器电子束流出口处的窗形结构,在引出窗上装有钛箔,用于密封电子加速器的内部的真空空间。同时,为了使电子束流在穿过钛箔时,损失的电子尽可能的少,所以钛箔的厚度很小,通常在0.04mm。
当电子加速器加大功率时,由于电子束流的功率加大,为了使钛箔不被高能电子束烧化,就必须增大引出窗的面积,使钛箔单位面积上通过的电子束流的强度基本不变。由于钛箔的内侧是电子加速器内部的真空,所以其外侧承受了巨大的大气压力。因此,在增大引出窗面积的同时,要保证钛箔在巨大的压力下不会破损。
目前,市场上的工业用电子加速器引出窗多数是采用单窗结构,电子束流沿窗口长度方向来回扫描,而窗口的典型横向尺寸为40-80mm,窗口的长度一般为0.5-1.8m。当需要采用很宽的引出窗,如10-20cm或更宽,就需要相应的增大引出窗的面积。
目前有两种方法增大引出窗的面积。
一种方法是将两个单窗合并在一起使用。在这种结构中,两个引出窗之间隔有引出窗法兰、压块、紧固螺栓等部件。
另外一种如文献《工业电子加速器及其辐射加工中的应用》所描述的方法是增大单窗的面积,采用加强筋把密封真空的钛箔撑住。该加强筋垂直于电子束的扫描轨迹,加强筋的厚度一般为数毫米。
上述技术的缺点是1.虽然增大了引出窗的面积,但是损失了较多的电子功率。如现有技术中第二种方法所述,由于在每个扫描周期,即电子束流的一个往返中,每个加强筋要被电子束流照射两次,筋上接收到的电子束流的功率约占总功率的30%-40%。
2.引出窗结构复杂。如现有技术中第一种方法所述,将两个单窗合并一起使用时,两个引出窗法兰的连接以及密封都非常复杂。如第二种方法所述,在制造引出窗法兰时需要加工或安装若干加强筋,加工过程复杂。且电子直接落在引出窗法兰或加强筋上会导致引出窗或加强筋发热,需要加装辅助装置进行冷却,致使整个装置结构复杂。
发明内容
本实用新型的目的是为了克服现有技术的缺陷,提供一种工业用电子加速器的双窗结构的引出窗。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的一种工业用电子加速器的引出窗,包括一引出窗法兰,该引出窗法兰平行于电子束扫描的方向上设有一根横梁。
其中,该横梁置于该引出窗法兰的中间。
其中,该横梁与该引出窗法兰是一体成型的。
并且该横梁与该扫描法兰之间的垂直于电子束扫描方向的距离在40-80mm之间。
本实用新型的积极进步效果在于1.引出窗结构简单,易于加工。
2.损失的电子功率少。
图1为本实用新型的原理示意图。
图2为本实用新型一实施例的主视图。
图3为本实用新型一实施例的俯视图。
图4为本实用新型一实施例横向剖视图。
具体实施方式
下面举个较佳实施例,并结合附图来更清楚完整地说明本实用新型。
如图2、3、4,在引出窗法兰3的长度方向,即电子束流扫描方向上设有一根横梁4,该横梁4位于引出窗法兰3的中间,使引出窗法兰3成为双窗结构,形成扫描窗21、22。扫描窗21、22的宽度在40-80mm之间,以保证钛箔不会破损。
该横梁4与该引出窗法兰3是一体的,加工时可以一次成型。
如图1,电子束流1沿电子束扫描轨迹11在扫描窗21内扫描后,立即进入扫描窗22进行反方向扫描,然后再进入扫描窗21内扫描。电子束流1仅在扫描窗21、22之间切换时扫过横梁4。因此,损失的电子功率非常少,低于总功率的2%。
权利要求1.一种工业用电子加速器的引出窗,包括一引出窗法兰,其特征在于在该引出窗法兰平行于电子束扫描的方向上设有一根横梁。
2.根据权利要求1所述的工业用电子加速器引出窗,其特征在于该横梁置于该引出窗法兰的中间。
3.根据权利要求1所述的工业用电子加速器引出窗,其特征在于该横梁与该引出窗法兰是一体成型的。
4.根据权利要求1-3任一项所述的工业用电子加速器引出窗,其特征在于该横梁与该扫描法兰之间的垂直于电子束扫描方向的距离在40-80mm之间。
专利摘要本实用新型提供一种工业用电子加速器的双窗结构的引出窗,其特点是,在电子加速器的引出窗法兰的平行于电子束扫描的方向上加一根横梁。本实用新型在扩大了扫描窗面积的同时,损失的电子功率少,并且结构简单、易于加工。
文档编号H05H7/00GK2735711SQ20042009048
公开日2005年10月19日 申请日期2004年9月24日 优先权日2004年9月24日
发明者朱希恺, 巢树煊, 孙光奎, 赵德忠, 何彤琦 申请人:中国科学院上海应用物理研究所