部件安装机的制作方法

专利名称：部件安装机的制作方法
技术领域：
本发明涉及将电子部件等部件安装到电路基板等基板上的部件安装机。
背景技术：
现有的电子部件安装机为由头部的喷嘴吸着从供给部供给的部件并 取出后而搬送到基板保持部所保持的基板上，然后，将部件安装在该基板 上。通过在其头部的移动路径上所设置的检査部来检查喷嘴所吸着保持的 部件的保持姿势，并且基于其检查结果来根据需要修正部件的姿势和进行 安装操作。
头部预先设置了多个喷嘴，当在检查部检查该喷嘴所吸着部件的保持 姿势时， 一个个输入多个喷嘴所吸着部件的图像信息而不进行检查，通过 一次将多个喷嘴的图像信息即多个部件的图像信息通过检査部所设置的1 台传感器进行输入并检査，能够实现縮短保持姿势检查所需要的时间。
当检查喷嘴所吸着部件的保持姿势时，尽管头部在检查部上方移动，
但也有通过使用线传感器(line sensor)和带有快门(shutter)功能的面传 感器(area sensor)作为检查部的传感器，来进行在检查部上方不暂时使 头部停止就按原样移动的喷嘴所吸着部件的保持姿势进行检查(下面，将 输入在检査部上方不使头部停止就按原样移动的喷嘴所吸着部件的图像 信息并进行保持姿势检查的动作称为扫描动作)，实现縮短保持姿势检査 所需要的时间(例如，参考特开平9一 186492号公报)。下面参考图36简单说明在现有技术电子部件安装装置中电子部件高 度检测动作的一个例子。
图36所示电子部件安装装置1020是所谓机器人类型部件安装装置的 一个例子，具有保持电子部件的喷嘴的头部通过在X， Y方向上移动来进 行从部件保持到向电路基板1008的安装，其包括供给部1002，用于供 给电子部件1001;头部1004，其包括多个用于从供给部1002取出电子部 件1001的安装喷嘴1003;识别部1005，用于平面识别安装喷嘴1003所 保持的电子部件1001的姿势；电子部件高度检测部1006，其具有用于发 出平行光束的发光部和用于接收上述平行光束的光接收部，并进行安装喷 嘴1003所保持电子部件1001的高度检测；控制部1007，其基于上述识别 部1005的识别结果来进行电子部件1001的姿势校正以及基于上述电子部 件高度检测部1006的检测结果来进行部件1001姿势是否良好的判定；机 器人1009，其将头部1004在X， Y方向上从供给部1002移动到电路基板 1008上的部件安装位置。
如图37所示，在上述头部1004上，多个安装喷嘴1003被排列成一 列，电子部件高度检测部1006相对于头部1004的检测移动方向a被配置 成直角方向。
下面，简单说明在现有技术电子部件安装装置1020中电子部件高度 检测动作。
为了通过头部1004所安装的安装喷嘴1003来取出由供给部1002被 定位到吸着位置的电子部件1001，通过机器人1009来定位头部1004以及 头部1004的安装喷嘴1003保持电子部件1001。由于如上述在头部1004 上设置了多个安装喷嘴1003，因此各个安装喷嘴1003保持电子部件1001。
当电子部件1001被保持在各个安装喷嘴1003上时，为了平面地确认 电子部件1001的保持状态，头部1004通过机器人1009被定位到识别部 1005中的识别位置。
识别部1005识别各个安装喷嘴1003所保持电子部件1001的平面状 态，控制部1007基于上述识别结果对安装位置进行部件1001的位置校正。
接着，为了进行电子部件1001高度方向的检测，头部1004的各个安 装喷嘴1003由机器人1009定位，如图37所示，其沿着检测移动方向a在对置配置的部件高度检测部1006之间通过。此时，各个安装喷嘴1003
在将所保持的电子部件1001定位在检测高度的状态下垂直通过于部件高 度检测部1006之用于检测的平行光束1010 (例如参考特开2000—278000 号公报)。当在部件高度检测部1006之间通过时，基于在部件高度检测 部1006中检测的、在各个安装喷嘴1003所保持电子部件1001中所形成 的图像，控制部1007进行各个电子部件1001的保持姿势是否良好的判定。 当连续进行多个电子部件1001的高度检测时，通过在部件高度检测部 1006中检测各个安装喷嘴1003所保持的、邻接电子部件1001之间的间隙， 来区别各个电子部件1001并进行各个电子部件1001的判别。
当在控制部1007中判断电子部件1001为良品时，头部1004通过机 器人1009的动作来在电路基板1008上定位电子部件安装位置。另一方面， 当判断为不良品时，头部1004移动到电子部件1001的废弃位置(未图示)， 废弃不良品的电子部件IOOI。这样，重复上述操作。
但是，现有的电子部件安装机具有下述问题。
即，当通过检查部进行头部上设置的多个喷嘴所吸着部件的保持姿势 检查时，多个部件的图像信息通过检查部的一个传感器被一次输入。此时， 由于通过进行该图像信息输入的传感器的视野范围的外周所配置照明部 照射的光线来进行保持姿势检査，即由于通过同一照明部对多个部件在相 同时刻照射被设定为相同光量的光线，因此通过部件的表面状态/材质/颜 色等不能够清楚地获得部件形状的图像信息。因此，在一次扫描操作中， 在保持姿势检查中存在不为检查精度的部件的组合和不形成保持姿势检 查自身的部件的组合的情况。这种情况下，需要通过变更来自照明部照射 的光线的设定来再次输入用于检查不是检查精度或者不形成检查自身的 部件的姿势的图像信息，由此增加了构成进行多次扫描操作之保持姿势检 査所要的时间，其结果，就会有电子部件安装机生产率下降的情况。
由于在检査部设置的一个传感器中一次输入多个喷嘴所吸着部件的 保持姿势信息，如果传感器的视野范围即视野角变大，则传感器每一个象 素的分辨率变差，不能够获得充分的检查精度，其结果，就会有电子部件 安装机生产率下降的情况。
在上述电子部件的高度检测时存在如下的问题。即，当头部1004所包括的安装喷嘴1003是1列时，如上述的部件高度检测动作成为沿着检
测移动方向a在部件高度检测部1006之间使安装喷嘴1003仅仅通过一 次。但是，如图38所示，当安装喷嘴1003多列配置在头部1004上时， 如果使安装喷嘴1003在垂直于部件高度检测部1006的平行光束1010的 方向上移动，则由于变成一次检测多个电子部件1001的影像，因此检测 动作不能够一次完成，必须进行与各列相对应的多次检测动作。
近年来，正谋求电子部件安装装置中循环周期的高速化，为此，存在 头部1004所包括的安装喷嘴1003数目增加的趋势，随着设备尺寸的縮小， 通过2列构成来配置安装喷嘴1003也增加了。在这种状况下，通过分成 多次来进行部件1001的高度检测动作已经变成妨碍上述循环周期的高速

发明内容
因此，本发明的第一个目的是提供一种电子部件安装机，其能够提高 电子部件安装机中的生产率。
本发明的第二个目的是提供一种谋求循环周期高速化的部件安装装 置和在该部件安装装置中执行的部件安装方法。
为了实现上述第一个目的，本发明按下述构成。
根据本发明第一个形式，特征在于，其构成包括供给部，其用于供 给部件；头部，其将喷嘴列在与X方向正交的Y方向上至少并列配置2 列以上，该喷嘴列是将取出和搬送从所述供给部供给的部件的喷嘴在X方 向至少并排配置l个以上；基板保持部，其保持基板,该基板安装由所述头 部所搬送的部件；检查部，其被配置在从所述头部的所述供给部到所述基 板保持部的移动路径上，检查所述喷嘴所保持部件的保持姿势，在所述检 查部中，备有姿势检査用的传感器，其在配置于所述头部的所述喷嘴的 每个喷嘴列中独立地设置一个；照明部，其为在每个所述喷嘴列中设置一
个、在姿势检查时向所述头部照射光线的照明部，其具有在每个照明部中 形成，用于所述喷嘴所保持部件的图像输入的光信息入射口。根据该构成， 通过由一次扫描操作实现头部设置的多个喷嘴列所吸着多个部件的保持 姿势检查，获得保持姿势检查所要时间的縮短，同时谋求了喷嘴所保持部件的保持姿势检查精度的提高，作为结果，能够提高部件安装机的生产率。 根据本发明第二个形式，能够对检查部的各个传感器设置独立的入射 口和照明部。通过该构成，对于每个传感器即头部设置的各个喷嘴列吸着 的每个部件，能够独立进行照明部照射的光线的设定，由于能够通过由一 次扫描操作实现各喷嘴列所吸着多个部件的保持姿势检査，因此能够获得 姿势检查所要时间的縮短，作为结果，能够提高部件安装机的生产率。
根据本发明第三个形式，能够将检査部各个传感器的视野中心在X方 向并齐并列配置。通过该构成，由于能够在相同时刻进行头部设置的多个 喷嘴列所吸着部件的图像信息的输入，因此能够获得喷嘴所吸着部件的保 持姿势检査所要时间的縮短，作为结果，能够提高部件安装机的生产率。 而且，能够使检査部在X方向所占的空间小，从而能够小型化，结果，能 够构成小型化的部件安装机。
根据本发明第四个形式，能够将检查部各个传感器的视野中心在X方 向错开并列配置。根据该构成，在头部设置的多个喷嘴列的间隔窄时，在 将检查部各个传感器的视野在X方向并齐并列配置的状态下，不能够获得 足够的照明部设置空间，即使在因照明部照射的光线的光量不够使得不能 够确保喷嘴吸着部件的保持姿势检查精度的部件存在的情况下，通过将各 个传感器的视野在X方向错开并列配置，能够确保用于确保喷嘴所保持部 件姿势检查精度的用于照射足够光线光量的照明部设置空间，作为结果， 能够提高部件安装机的生产率。
根据本发明第五形式，能够在头部设置的喷嘴列在Y方向被并列3列
以上时，将检查部各个传感器的视野中心在x方向以蛇形错开并列配置。
根据该构成，由于与将各个传感器视野中心在X方向顺次错开并列配置的 情况相比其在X方向所占的空间变小，因此能够获得头部设置的多个喷嘴 列所吸着部件的保持姿势之图像信息输入所要时间的縮短，作为结果，能 够提高部件安装机的生产率，同时，能够使检査部小型化，结果，能够构 成小型化的部件安装机。
根据本发明第6形式，其包括供给部，其用于供给部件；头部，其
将喷嘴列在与X方向正交的Y方向上至少并列配置2列以上，该喷嘴列 是将取出和搬送从所述供给部供给的部件的喷嘴在X方向至少并排配置1 个以上；基板保持部，其保持基板，该基板安装由所述头部所搬送的部件；检查部，其被配置在从所述头部的所述供给部到所述基板保持部的移动路 径上，检查所述喷嘴所保持部件的保持姿势，在所述检査部中具有姿势 检查用的传感器，其在配置于所述头部的所述喷嘴的每个喷嘴列中独立地 设置一个；照明部，其为在各个所述传感器中被共用，且对所有的所述喷 嘴列中设置一个，在姿势检査时向所述头部照射光线的照明部，该照明部 具有用于所述喷嘴所保持部件的图像输入的光信息入射口。
根据该构成，通过对于检査部的全部传感器设置共同的入射口和照明 部，由于与头部设置的多个喷嘴列的间隔没有关系而能够确保照明部的设 置空间，为了获得喷嘴吸着部件的保持姿势检査的检查精度，能够容易地 构成用于获得必需光线光量的照明部，能够容易地谋求喷嘴所保持部件的
保持姿势检査精度的提高，同时，通过将各个传感器的视野中心在x方向
错开并列配置，能够对每个传感器即头部设置的各个喷嘴列吸着的每个部 件进行照明部照射的光线的光量设定，由于能够通过由一次扫描操作实现 各喷嘴列所吸着多个部件的保持姿势检查，因此能够获得姿势检査所要时 间的縮短，作为结果，能够提高部件安装机的生产率。
根据本发明第7形式，能够将以反射镜为代表的反射体设置在入射口 和传感器之间，将传感器配置在检査部的侧面侧。根据该构成，通过做成 将入射口入射的喷嘴吸着部件的光信息由反射体反射到检査部侧面侧配 置的传感器方向上，能够降低检查部的高度尺寸，作为该部分检查部的刚 性变高，能够谋求喷嘴所吸着部件的保持姿势检査精度的提高，作为结果， 能够提高部件安装机的生产率。而且，通过将传感器配置在检査部侧面， 能够使传感器的调整和交换等维护变得容易。
根据本发明第8形式，能够将以半反射镜或者棱镜为代表的反射/透过 体设置在入射口和传感器之间，在从入射口入射的喷嘴吸着部件的光信息 的反射/透过体中，将检查部的传感器交互并列配置在其反射光侧和透过光 侧。根据该构成，在将传感器并列配置在检查部下面和侧面的同一面上时， 即使在因传感器外形尺寸的影响使头部配置的喷嘴列的间隔扩展到需要 之上的情况下，通过将反射/透过体设置在入射口和传感器之间以及将检査 部的传感器交互配置在该反射/透过体的反射光侧和透过光侧，能够使所述 头部配置的喷嘴列的间隔变窄，结果，使头部小型化。由于能够使检查部在Y方向所占空间变小，因此能够使检查部小型化。
根据本发明第9形式，能够将透镜配置在反射/透过体和检查部的传感 器之间。通过该构成，即使在头部设置的多个喷嘴列的间隔窄，即在将检 査部各个传感器并列配置在检查部下面和侧面之同一面上的状态下，各个 传感器的间隔窄而不能够确保用于传感器之充分亮度的透镜直径使得输 入到传感器的光信息亮度不够、从而使得不能够确保喷嘴所吸着部件的保 持姿势检査精度的情况下，通过将反射/透过体设置在入射口和传感器之 间、将检査部的传感器交互配置在该反射/透过体的反射光侧和透过光侧以 及将透镜配置在该反射/透过体和检查部的各个传感器之间，由于能够使该 透镜直径变大，因此能够谋求所述头部配置的喷嘴所吸着部件的保持姿势 检查精度的提高，作为结果，能够提高部件安装机的生产率。
根据本发明第IO形式，能够将以半反射镜或者棱镜为代表的反射/透 过体设置在入射口和传感器之间，在反射/透过体透过光侧能够输入图像的 任意位置上追加配置传感器。根据该构成，在检査部的多个传感器内，通 过由最适合于各个喷嘴所吸着部件之保持姿势检査的传感器来输入部件 的图像信息，能够谋求保持姿势检查精度的提高，同时，通过增加传感器 数量，能够谋求喷嘴所吸着部件的姿势检查精度的提高，还能够谋求检查 对象部件的扩大，作为结果，能够提高部件安装机的生产率。
根据本发明第11形式，能够使视野角不同的传感器包括在检査部的 传感器中。根据该构成，在检查部的多个传感器内，通过由视野角最适合 于各个喷嘴所吸着部件之保持姿势检查的传感器来输入部件的图像信息， 能够谋求保持姿势检查精度的提高，同时，通过包含视野角不同的传感器， 能够谋求喷嘴所吸着部件的姿势检查精度的提高，还能够谋求检查对象部 件的扩大，作为结果，能够提高部件安装机的生产率。
根据本发明第12形式，能够使分辨率不同的传感器包括在检查部的 传感器中。根据该构成，在检查部的多个传感器内，通过由分辨率最适合 于各个喷嘴所吸着部件之保持姿势检查的传感器来输入部件的图像信息， 能够谋求保持姿势检查精度的提高，同时，通过包含分辨率不同的传感器， 能够谋求喷嘴所吸着部件的姿势检査精度的提高，还能够谋求检查对象部 件的扩大，作为结果，能够提高部件安装机的生产率。为了实现上述第二个目的，本发明按下述构成。
艮P，本发明第13形式的部件安装装置，是保持来自电子部件供给装 置的电子部件并将所保持的电子部件安装到电路基板的部件安装装置，特 征在于，其包括部件保持头部，其使保持上述电子部件的部件保持构件 多行多列排列并在相互正交的X、 Y方向上移动；部件高度检测装置，其 是为了检査多个上述部件保持构件所保持的上述电子部件的保持姿势是 否良好而检测上述部件保持构件所保持的上述电子部件的高度的部件高 度检测装置，具有一对发光部和光接收部，对于与由上述部件保持头部所 移动的上述部件保持构件的移动方向正交的正交方向，其以可检测角度 (e)发出和接收检测用光，用来分别检测各个部件保持构件所保持的上 述电子部件。
在将上述移动方向中各个部件保持构件的配置间隔设为Pl以及将上
述正交方向中部件保持构件的配置间隔设为P2时，上述可检测角度e是
通过tan—1 ( (P1/2) /P2)求得的角度。
其被构成为还包括控制装置，其在上述部件高度检测装置送出的部件 髙度信息之内，基于将上述部件保持构件作为中心而在移动方向的检测区 间中的上述部件高度信息，判断上述电子部件的是否良好。
本发明第14形式的部件安装方法，是保持电子部件并安装到电路基 板的部件安装方法，特征在于，其包括在通过以多行多列排列的部件保 持构件保持上述电子部件之后，在安装到上述电路基板之前，对于与上述 部件保持构件的移动方向正交的正交方向，以可检测角度(e)发出检测 用光并接收该检测用光，用来分别检测各个部件保持构件所保持的上述电 子部件，并且检査多个上述部件保持构件所保持的上述电子部件的保持姿 势是否良好。
根据上述本发明第13形式的部件安装装置和第14形式的部件安装方 法，通过包括部件高度检测装置，以可检测角度发出检测用光并接收该检 测用光以用来分别检测各个部件保持构件所保持的电子部件来检查多个 上述部件保持构件所保持的上述电子部件的保持姿势是否良好。因此，即 使在以多行多列排列部件保持构件的情况下，不增加检测次数而通过一次 扫描，就能够获得全部电子部件的影像信息。因此，与现有技术相比，能够谋求与部件安装相关的循环周期的高速化。
而且，通过包括控制装置并基于将上述部件保持构件作为中心的检测 区间中的部件高度信息来判断部件保持姿势是否良好，即使在相邻电子部 件之间影像重叠的情况下，也能够判别出求得了哪一个电子部件的部件高 度信息。因此，结果，与现有技术相比，能够谋求与部件安装相关的循环 周期的高速化。


本发明的目的和特征通过将所附附图关联在优选实施方式中的下述 说明将变得清楚。
图1是表示本发明第一实施方式部件安装机的概略俯视图。
图2是表示上述第一实施方式之头部的立体图。
图3是表示上述第一实施方式之检查部的俯视图。
图4是在上述第一实施方式的检查部中传感器摄像的时序图。
图5是表示上述第一实施方式检査部的剖视图。
图6是表示上述第一实施方式检査部的侧视图。
图7是表示本发明第二实施方式检查部的剖视图。
图8是表示本发明第二实施方式检查部的侧视图。
图9是表示本发明第三实施方式检查部的俯视图。
图10是表示上述第三实施方式检査部的剖视图。
图11是表示上述第三实施方式检查部的侧视图。
图12是表示本发明第四实施方式检查部的俯视图。
图13是在上述第四实施方式的检查部中传感器摄像的时序图。
图14是表示上述第四实施方式检查部的剖视图。
图15是表示上述第四实施方式检查部的侧视图。
图16是表示本发明第五实施方式检查部的剖视图。
图n是表示上述第五实施方式检查部的侧视图。
图18是表示本发明第六实施方式检査部的俯视图。 图19是表示上述第六实施方式检查部的剖视图。 图20是表示上述第六实施方式检查部的侧视图。图21是表示本发明第七实施方式检査部的俯视图。
图22是在上述第七实施方式的检查部中传感器摄像的时序图。
图23是表示上述第七实施方式检査部的剖视图。 图24是表示上述第七实施方式检査部的侧视图。 图25是表示本发明第八实施方式检查部的俯视图。 图26是表示上述第八实施方式检查部的剖视图。 图27是表示上述第八实施方式检查部的侧视图。 图28是表示本发明第九实施方式检查部的俯视图。 图29是表示上述第九实施方式检査部的剖视图。 图30是表示上述第九实施方式检查部的侧视图。 图31是本发明第十实施方式部件安装装置的立体图。 图32是用于说明在图31所示部件高度检测装置中进行的部件高度检 测动作的立体图。
图33是用于说明在图31所示部件高度检测装置中进行的部件高度检 测动作的俯视图。
图34是表示在图31所示部件高度检测装置中所得的部件的影像的图。
图35是用于说明基于在图31所示部件高度检测装置中所得部件的影 像来求得部件高度的方法的图。
图36是现有技术部件安装装置的立体图。
图37是用于说明在现有技术部件高度检测部中的高度检测方法的图。 图38是用于说明在现有技术部件高度检测部中当多行多列排列部件 保持构件时的高度检测方法的图。
具体实施例方式
在说明本发明之前，在附图中对相同的部件给出了相同的参考标记。 下面，参考附图，详细说明本发明的各个实施方式。 (实施方式1)
下面，使用图1到图6，说明本发明的第一实施方式。
图1是表示本发明第一实施方式电子部件安装机的概略俯视图，图2是表示上述电子部件安装机头部的立体图，图3到图6是上述电子部件安 装机之检査部的俯视图、检査部中喷嘴所吸着部件之图像信息输入(以后 称为摄像)的时序图、检查部的剖视图、以及检查部的侧视图。
如图l所示，供给部2安装了多个用于供给部件(图1中没有图示)
的供给体3，通过该供给部2供给的部件由能够在XY方向上移动的头部 6所设置的多个喷嘴(后述)吸着保持，成为安装到基板保持部4所保持 的基板5上。该基板保持部4不仅保持所述基板5，还承担在X方向搬送 和定位基板5的任务。
在所述头部6上，作为如图2所示从喷嘴列1喷嘴8a到8e以及到喷 嘴列2喷嘴9a到9e，分别在X方向配置5根并列的2个喷嘴列在Y方向 2列共计10根喷嘴。从该喷嘴列1喷嘴8a到8e和从喷嘴列2喷嘴9a到 9e的各个喷嘴列的5根喷嘴的配置间隔被设定为与所述供给部2的供给体 3的配置间隔对应，被构成为能够一次吸着多个部件。从该喷嘴列1喷嘴 8a到8e和从喷嘴列2喷嘴9a到9e的2列喷嘴列的间隔通过考虑各个喷 嘴列的喷嘴所吸着部件的外形尺寸，留出被吸着部件不接触不干涉以上距 离的间隔。10是用于校正从喷嘴列1喷嘴8a到8e、从喷嘴列2喷嘴9a 到9e之轴芯旋转的旋转位置的马达，其被构成为通过使该马达IO旋转使 得能够调整从喷嘴列1喷嘴8a到8e、以及从喷嘴列2喷嘴9a到9e各个 喷嘴的旋转位置。
检查部7被配置在所述供给部2和基板保持部4之间，通过该检査部 7进行所述头部6上配置的从喷嘴列1喷嘴8a到8e、从喷嘴列2喷嘴9a 到9e所吸着部件的保持姿势检査。
该电子部件安装机1上设置了用于控制所述各部动作的控制部50。该 控制部50存储了基板5上所安装的部件的种类、安装的位置和角度等安 装位置信息。所述检査部7从所摄像的部件的图像信息中检查头部6上所 配置的从喷嘴列1喷嘴8a到8e、从喷嘴列2喷嘴9a到9e所保持的部件 的保持姿势。当部件的保持姿势相对于规定的姿势错位时，所述控制部50 一边运算用于校正该错位的所述头部6的XY移动量和头部6的马达10 的旋转角度即从喷嘴列1喷嘴8a到8e、从喷嘴列2喷嘴9a到9e的旋转 角度， 一边通过控制部50控制各部动作来进行向部件的基板5的安装。而且，本实施方式的电子部件安装机l为了谋求生产率的提高，按图 l所示的那样，构成为左右对称的2级结构，各级能够独立进行安装操作。
下面，详细说明头部6上所配置的从喷嘴列1喷嘴8a到8e、从喷嘴 列2喷嘴9a到9e上所吸着的部件在检查部7中的保持姿势检查。
图3的lla、 11b是所述头部6 (图3中没有图示)上所配置的喷嘴列 l喷嘴8a、 8b所吸着保持的第一部件，12a、 12b是喷嘴列2喷嘴9a、 9b 所吸着保持的第二部件。各个喷嘴列的第三根以后的喷嘴8c， 8d， 8e， 9c， 9d， 9e和这些喷嘴所吸着的部件通过省略而在图3中没有图示，在以后的 说明中也省略。13是用于摄像喷嘴列1喷嘴8a、 8b所吸着保持的第一部 件lla、 llb保持姿势的第一传感器，15是在摄像时将光线照射到第一部 件lla、 llb的第一照明部，17是在摄像时用于取入光信息的第一入射口。 同样，14是用于摄像喷嘴列2喷嘴9a、 9b所吸着保持的第二部件12a、 12b的第二传感器，16是在摄像时将光线照射到第二部件12a、 12b的第 二照明部，18是在摄像时用于取入光信息的第二入射口。第一、第二照明 部15， 16分别沿着第一、第二入射口 17， 18的外周部设置。这里，第一 传感器13的视野中心和第二传感器14的视野中心的间隔被配置成为使得 与头部6上配置的喷嘴列的间隔即喷嘴列1喷嘴8a的中心和喷嘴列2喷 嘴9a的中心的间隔一致。而且配置使得第一入射口 17的中心、第一照明 部15的中心以及第一传感器13的视野中心一致，同样配置使得第二入射 口 18的中心、第二照明部16的中心以及第二传感器14的视野中心一致。 第一入射口 17的中心和第二入射口 18的中心在X方向不错开地并列配 置，与头部6喷嘴列1喷嘴8a、 8b和喷嘴列2喷嘴9a、 9b的Y方向相对 应的各个喷嘴中心的连接线，即喷嘴列1喷嘴8a的中心和喷嘴列2喷嘴 9a的中心的连接线与第一入射口 17的中心和第二入射口 18的中心的连接 线被配置成为平行。
在进行所述头部配置的喷嘴列1喷嘴8a、 8b、喷嘴列2喷嘴9a、 9b 所吸着的第一部件lla、 llb、第二部件12a、 12b的保持姿势检査时，首 先，在使头部6在Y方向上移动使得头部6配置的喷嘴列1喷嘴8a、 8b、 喷嘴列2喷嘴9a、 9b的各个喷嘴列与检査部7的第一、第二传感器13、 14各个视野中心的Y方向位置一致之后(图3为向Y方向的移动已经结束的状态)，如图3的箭头所示，通过使头部6在X方向移动使得在检查
部7上通过，通过第一、第二传感器13、 14分别对每一个部件进行第一、 第二部件8a、 8b与9a、 9b的摄像。该第一、第二部件8a、 8b与9a、 ％ 的摄像在第一、第二传感器13、 14为面传感器时通过使用面传感器的快 门功能来在头部6通过检査部7的上方时不使头部6在检査部7的第一、 第二入射口 17， 18上暂停来进行。具体地，如图4时序图所示，通过使 头部6在检查部7上X方向移动，在喷嘴列1喷嘴8a、喷嘴列2喷嘴9a 分别通过第一、第二入射口 17、 18的中心即第一、第二传感器13、 14的 视野中心的瞬间，打开第一、第二传感器13、 14的快门来进行曝光，同 时进行通过第一传感器13对喷嘴列1喷嘴8a所吸着第一部件lla和通过 第二传感器14对喷嘴列2喷嘴9a所吸着第二部件12a的摄像。而且，使 头部6在X方向继续移动，在喷嘴列1喷嘴8b、喷嘴列2喷嘴9b分别通 过第一、第二传感器13、 14的视野中心的瞬间，打开第一、第二传感器 13、 14的快门来进行曝光，同时进行通过第一传感器13对喷嘴列1喷嘴 8b所吸着第一部件1 lb和通过第二传感器14对喷嘴列2喷嘴9b所吸着第 二部件12b的摄像。下面，没有图示的同样，进行头部6上配置的10根 喷嘴所吸着的全部部件的摄像。而且，在使用通过该第一、第二传感器13、 14的快门功能的摄像瞬间，对于通过所述控制部50的控制所摄像的部件， 进行通过第一、第二照明部15， 16而对每个部件所设定光线的照射。而 且，在将线传感器用作为第一、第二传感器13、 14时，在使用所述面传 感器情况的说明中，不是使用传感器的快门功能，在摄像对象部件通过第 一、第二传感器13、 14视野内期间通过第一、第二传感器13、 14进行继 续图像信息的输入方面以及在摄像对象部件通过第一、第二传感器B、 14 视野内期间即通过第一、第二传感器13、 14进行继续图像信息的输入期 间由第一、第二照明部15， 16进行继续光线照射方面仅仅不同，摄像顺 序是相同的。
通过成为这种构成，对于在检査部7上在Y方向并行通过的第一部件 lla和第二部件12a以及第一部件lib和第二部件12b，能够独立进行由 第一、第二照明部17， 18所照射的光线设定。因此，第一部件lla和第 二部件12a以及第一部件llb和第二部件12b如果在相同光线设定下观察方式不同，则即使在姿势检查精度不够或者不能进行自身姿势检査的部件 存在组合的情况下，通过头部6在X方向移动使得在检查部7上仅仅通过 一次，即通过一次扫描操作就能够进行整个部件的摄像和姿势检査。而且，
由于使第一、第二传感器13、 14的视野中心在X方向不错开地并列配置， 由于能够在同一时刻进行2个部件的摄像，因此能够谋求全部部件摄像需
要时间的縮短，其结果，能够谋求保持姿势检査所要时间的縮短。
由于在喷嘴列1喷嘴8a、 8b以及喷嘴列2喷嘴9a、 9b的每1根喷嘴 上即在第一部件lla、 11b和第二部件12a、 12b的每一个部件上分别通过 使用第一、第二传感器13、 14来进行摄像，与如现有技术那样用一个传 感器通过使视野变大来进行多个部件摄像的情况相比，能够使传感器的每 一个象素的分辨率不变差，从而谋求保持姿势检査精度的提高。
图5、图6的19是反射镜等反射体，构成为使在检查部7上方配置的 所述第一、第二入射口 17， 18中入射的第一、第二部件lla、 11b和12a、 12b的图像的光信息反射，并在检査部7的侧面上配置用于摄像的第一、 第二传感器13、 14。根据这种构成，与通过将第一、第二传感器13、 14 设置在检查部7的下面而直接接收来自第一、第二入射口 17， 18的光信 息的构成情况相比，能够降低检查部7的高度尺寸，如果作为该部分检查 部7的刚性变高，能够谋求部件保持姿势检査精度的提高，同时，通过将 第一、第二传感器13、 14配置在检查部7的侧面，与不配置反射体19而 将第一、第二传感器13、 14配置在检查部7的下面即内部的情况相比， 能够使第一、第二传感器13、 14的调整和更换等的维护变得容易。
而且，尽管没有图示，但第一传感器13和第二传感器14不需要是相 同的视野角和分辨率，通过配置不同组合的传感器来谋求保持姿势检查对 象的部件扩大即作为电子部件安装机1对应部件的扩大和能够谋求生产率 的提高。作为具体例子，通过使第一传感器B的视野角为8mm角而将保 持姿势检查对象部件作为从外形尺寸是横向6mm纵向3mm的方形芯片部 件到外形尺寸6mm角的异型部件，通过使第二传感器14的视野角为6mm 角而将保持姿势检査对象部件作为从外形尺寸是横向4mm纵向2mm的方 形芯片部件到外形尺寸4mm角的异型部件，对所有的第一、第二传感器 13、 14，通过将视野角作为8mm而使传感器13的分辨率成为30万象素，传感器14的分辨率成为80万象素，与第一传感器13相比，能够将第二
传感器14的保持姿势检查对象部件做成能够对应于更微小的部件。但是， 在将第一、第二传感器13、 14作为视野角和分辨率不同的组合的情况下， 为了使头部6配置的喷嘴列1喷嘴8a、 8b和喷嘴列2喷嘴9a、 9b所吸着 的第一部件lla、 lib和第二部件12a、 12b被分别限定到第一传感器13 和第二传感器14的保持姿势检査对象部件上，需要钻研供给部2供给体3 的配置顺序和来自供给体3的部件吸着顺序。
在本实施方式中，尽管头部所包括的喷嘴是2列，各列喷嘴为5根， 但是不局限于此，显然为3列以上是可以的，l列喷嘴的根数即使为5根 之外也是可以的。与此对应的传感器、照明部、入射口的数目也可以为3 个以上。即使在后面的第二实施方式，这也是相同的。 (实施方式2)
下面，使用图7和图8进行本发明第二实施方式的说明。
本发明第二实施方式将反射/透过体20配置在第一、第二入射口 17， 18和第一、第二传感器13、 14之间来替换所述实施方式1的反射体19， 由于仅仅将另外方式备用的传感器配置在该反射/透过体20的透过光侧这 一点不同而在其他点是相同的构成，因此对于同样构成部分给出了相同的 标号，并省略其详细说明。
在图7和图8中，20是以半反射镜或者棱镜为代表的反射/透过体， 13是被设置在该反射/透过体20的反射光侧的、21是被设置在该反射/透 过体20的透过光侧的第一传感器和第一备用传感器，其用于进行头部6 喷嘴列1喷嘴8a、 8b所吸着第一部件lla、 lib的摄像，14是被设置在该 反射/透过体20的反射光侧的、22是被设置在该反射/透过体20的透过光 侧的第二传感器和第二备用传感器，其用于进行头部6喷嘴列2喷嘴9a、 9b所吸着第二部件12a、 12b的摄像。这里，第一传感器13的视野中心和 第一备用传感器21的视野中心以及第二传感器14的视野中心和第二备用 传感器22的视野中心被分别配置成为一致。第一传感器13和第一备用传 感器21以及第二传感器14和第二备用传感器22，其各自分辨率或者视野 角可以不同，或者分辨率和视野角两者都不同。
这样，为了头部6喷嘴列1喷嘴8a、 8b和喷嘴列2喷嘴9a、 9b所吸着的第一部件lla、 lib与第二部件12a、 12b之各个部件的保持姿势检查， 作为存在其分辨率或者视野角的哪一个不同或者这两者都不同的两种传 感器的结构，当进行摄像时，能够通过根据摄像对象即部件来选择地使用 这两种传感器而谋求保持姿势检查精度的提高或者姿势检查对象部件的 扩大。
而且，在实施方式2中，对于喷嘴列1喷嘴8a、 8b和喷嘴列2喷嘴 9a、 9b所吸着的第一部件lla、 11b与第二部件12a、 12b，为了保持姿势 检查，尽管作为存在其分辨率或者视野角的哪一个不同或者这两者都不同 的两种传感器的结构，但是，根据作为电子部件安装机l的需要，通过仅 仅将第一备用传感器21或者第二备用传感器22的哪一个备用传感器配置 在检查部7上，为了仅仅对第一部件lla、 llb或者第二部件12a、 12b的 一个部件进行保持姿势检査，也能够做成存在其分辨率或者视野角的哪一 个不同或者这两者都不同的两种传感器的结构。 (实施方式3)
下面，使用图9到图11进行本发明第三实施方式的说明。 本发明第三实施方式将反射/透过体20配置在入射口和传感器之间来 替换所述实施方式1的反射体19，由于仅仅在为了进行检查部7侧面所配 置的喷嘴列2喷嘴9a、 9b所吸着的第二部件12a、 12b的保持姿势检查而 进行摄像的第二传感器14配置在反射/透过体20的透过光侧这一点以及限 定将用于第一、第二传感器13、 14的透镜配置在反射/透过体20和第一、 第二传感器13、 14之间这一点上不同而对于其他点是相同的构成，因此 对于同样构成部分给出了相同的标号，并省略其详细说明。
在图9到图11中，20是在第一、第二入射口 17， 18和第一、第二传 感器13、 14之间设置的半反射镜等反射/透过体，23是用于头部6喷嘴列 1喷嘴8a、 8b所吸着第一部件lla、 lib之保持姿势检查的第一传感器13 的第一透镜，其被设置在所述反射/透过体20和第一传感器13之间。24 是用于喷嘴列2喷嘴9a、 9b所吸着第二部件12a、 12b之保持姿势检査的 第二传感器14的第二透镜，其被设置在所述反射/透过体20和第二传感器 14之间。
通过这种构成，在将第一、第二传感器13、 14并列配置在检查部7的下面或侧面之同一面上时，即使在第一、第二传感器13、 14的外形尺 寸大而不得不使第一、第二入射口 17和18的间隔扩大到需要之上的情况
下，即在头部6配置的喷嘴列1喷嘴8a、 8b和喷嘴列2喷嘴9a、 9b的喷 嘴列的间隔变为需要之上的情况下，通过将反射/透过体20设置在第一、 第二入射口17， 18和第一、第二传感器13、 14之间、将检查部7的传感 器交互配置在该反射/透过体20的反射光侧和透过光侧即将第一传感器13 配置在反射光侧、将第二传感器14配置在透过光侧，能够使头部6配置 的喷嘴列l喷嘴8a、 8b和喷嘴列2喷嘴9a、 ％的喷嘴列的间隔变窄，从 而使得头部6形成为小型。由于能够使检査部7的第一入射口 17和第二 入射口 18的间隔变窄，因此能够使检查部7之Y方向的尺寸变小。
在头部6设置的喷嘴列1喷嘴8a、 8b和喷嘴列2喷嘴9a、 9b的间隔 窄并将第一、第二传感器13、 14并列配置在检查部7下面或侧面之同一 面上的状态下，即使在因不能够确保用于第一、第二传感器13、 14之充 分亮度的透镜直径而使输入到第一、第二传感器13、 14的光信息亮度不 够从而使得不能够确保喷嘴列1喷嘴8a、 8b和喷嘴列2喷嘴9a、 9b所吸 着的第一、第二部件lla、 llb和12a、 12b的保持姿势检査精度的情况下， 通过将第一、第二透镜23， 24配置在反射/透过体20和第一、第二传感器 13、 14之间，也能够使该透镜直径做大。因此，能够谋求头部6上设置的 喷嘴列1喷嘴8a、 8b和喷嘴列2喷嘴9a、 9b所吸着的第一、第二部件1 la、 llb和12a、 12b之保持姿势检查精度的提高。 (实施方式4)
下面，使用图12到图15进行本发明第四实施方式的说明。 本发明第四实施方式与所述实施方式1相比，通过追加喷嘴6在X方 向5根并列的一列喷嘴列而以Y方向3列并列配置于头部上来总共设置 15根喷嘴，为了进行这3列喷嘴列所吸着部件的保持姿势检查，在检查部 7上追加1个传感器，共计设置3个传感器，由于仅仅在通过将这三个传 感器的视野中心在X方向蛇形错开而并列配置这一点上不同但在其他点 上是同样的构成，因此对于同样构成部分给出了相同的标号，并省略其详 细说明。
图12的26a、 26b是头部6配置的喷嘴列3喷嘴25a、 25b所吸着保持的第三部件。而且，通过省略喷嘴列3喷嘴之第3根到第5根喷嘴以及 这些喷嘴所吸着部件而没有在图12中图示，即使在以下的说明中也省略。
尽管没有图示，其仍然是在头部6上在X方向并列5根喷嘴、在Y方向 并列3列喷嘴列1， 2， 3、由共计具有15根喷嘴的结构构成。
在图12到图15中，29是用于摄像喷嘴列3喷嘴25a、 25b所吸着保 持第三部件26a、 26b之保持姿势的第三传感器，27是在该摄像时将光线 照射到第三部件26a、 26b的第三照明部，28是在该摄像时用于输入光信 息的第三入射口，所述第三照明部27沿着该第三入射口 28的外周部设置。 这里，将第一传感器13的视野中心和第二传感器14的视野中心在Y方向 的间隔与第二传感器14的视野中心和第三传感器29的视野中心在Y方向 的间隔被配置成为分别与头部配置的喷嘴列1喷嘴8a、 8b和喷嘴列2喷 嘴9a、 9b的喷嘴列间隔与喷嘴列2喷嘴9a、 9b和喷嘴列3喷嘴25a、 25b 的喷嘴列间隔即喷嘴列1喷嘴8a的中心和喷嘴列2喷嘴9a的中心的间隔 与喷嘴列2喷嘴9a的中心和喷嘴列3喷嘴25a的中心的间隔相一致。而 且配置使得第一入射口 17的中心、第一照明部15的中心和第一传感器13 的视野中心相一致，同样配置使得第二入射口 18的中心、第二照明部16 的中心和第二传感器14的视野中心相一致，同样配置使得第三入射口 28 的中心、第三照明部27的中心和第三传感器29的视野中心也相一致。而 且，配置使得第一入射口 17的中心和第三入射口 28的中心在X方向不错 开并列配置，也就是说，使得在与头部6之喷嘴列1喷嘴8a、 8b和喷嘴 列3喷嘴25a、 25b的Y方向相对应的各个喷嘴中心上的连接线例如在喷 嘴列1喷嘴8a的中心和喷嘴列3喷嘴26a的中心上的连接线与在第一入 射口 17的中心和第三入射口 28的中心上的连接线变为平行。配置使得第 一入射口 17的中心和第二入射口 18的中心在X方向错开并列，使得第一、 第二、第三入射口 17， 18， 28的中心位置即第一、第二、第三传感器13、 14， 29的各个视野中心在X方向变为蛇形。
下面，详细说明头部6配置的喷嘴所吸着部件在检查部7中的保持姿 势检查。
在进行所述头部6所配置的喷嘴列1喷嘴8a、 8b和喷嘴列2喷嘴9a、 9b以及喷嘴列3喷嘴25a、25b所吸着的第一部件lla、 llb、第二部件12a、12b以及第三部件26a、 26b的保持姿势检查时，首先，在使头部6在Y 方向上移动使得头部6配置的喷嘴列1喷嘴8a、 8b、喷嘴列2喷嘴9a、 9b和喷嘴列3喷嘴26a、 26b的各个喷嘴列与检查部7的第一、第二、第 三传感器13、 14， 29各个视野中心的Y方向位置一致之后，如图12的箭 头所示，通过使头部6在X方向移动使得在检査部7上通过，通过第一、 第二、第三传感器13、 14, 29分别对每一个部件进行第一、第二、第三 部件lla、 llb、 12a、 12b和26a、 26b的摄像。在第一、第二、第三传感 器13、 14， 29为面传感器时，该第一、第二、第三部件lla、 llb、 12a、 12b、 26a、 26b的摄像通过使用第一、第二、第三传感器13、 14， 29的快 门功能来在头部6通过检査部7的上方时不使头部在检查部7的第一、第 二、第三入射口 17， 18， 28上暂停来进行。具体地，如图13时序图所示， 通过使头部在检查部7上X方向移动，在喷嘴列1喷嘴8a、喷嘴列3喷 嘴25a分别通过第一、第三入射口 17、 28的中心即第一、第三传感器13， 29的视野中心的瞬间，打开第一、第三传感器13， 29的快门来进行曝光， 同时进行通过第一传感器13对喷嘴列1喷嘴8a所吸着第一部件lla和通 过第三传感器29对喷嘴列3喷嘴25a所吸着第三部件26a的摄像。而且， 继续使头部在X方向继续移动，在喷嘴列2喷嘴9a通过第二入射口 18的 中心即第二传感器14的视野中心的瞬间，打开第二传感器14的快门来进 行曝光，同时进行通过第二传感器14对喷嘴列2喷嘴9a所吸着第二部件 12a的摄像。继续使头部在X方向继续移动，在喷嘴列l喷嘴8b、喷嘴列 3喷嘴25b分别通过第一、第三传感器13， 29的视野中心的瞬间，打开第 一、第三传感器13， 29的快门来进行曝光，同时进行通过第一传感器13 对喷嘴列1喷嘴8b所吸着第一部件lib以及通过第三传感器14对喷嘴列 3喷嘴25b所吸着第三部件26b的摄像。继续使头部在X方向继续移动， 在喷嘴列2喷嘴9b通过第二传感器14的视野中心的瞬间，打开第二传感 器14的快门来进行曝光，并进行通过第二传感器14对喷嘴列2喷嘴9b 所吸着第二部件12b的摄像。而且，在使用通过该第一、第二、第三传感 器13、 14， 29的快门功能的摄像瞬间，对于通过所述控制部50的控制所 摄像的部件，进行通过第一、第二、第三照明部15， 16， 27而对每个部 件所设定光线的照射。而且，在将线传感器用作为第一、第二、第三传感器13、 14， 29时，在使用所述面传感器情况的说明中，仅仅在不是使用
传感器快门功能之摄像对象部件通过第一、第二、第三传感器13、 14， 29 视野内期间，通过第一、第二、第三传感器13、 14， 29进行继续图像信 息的输入方面以及在摄像对象部件通过第一、第二、第三传感器13、 14， 29视野内期间即通过第一、第二、第三传感器13、 14， 29进行继续图像 信息的输入期间，由第一、第二、第三照明部15， 16， 27进行继续光线 照射方面不同，但摄像顺序是相同的。
而且，在前述保持姿势检查的详细说明中，喷嘴列1喷嘴8a、 8b和 喷嘴列2喷嘴9a、 9b以及喷嘴列3喷嘴25a、 25b所吸着的第一部件lla、 llb、第二部件12a、 12b以及第三部件26a、 26b通过第一、第二、第三 传感器13、 14， 29的摄像顺序是电子部件安装机1情况的例子，该电子 部件安装机l构成为在所述头部设置的喷嘴列1喷嘴8a、 8b、喷嘴列2 喷嘴9a、 9b以及喷嘴列3喷嘴25a、 25b的各个喷嘴列中的喷嘴间隔即喷 嘴列1喷嘴8a的中心和喷嘴列1喷嘴8b的中心的间隔比第一入射口 17 的中心和第二入射口 18的中心在X方向的间隔更大。没有图示出喷嘴列 1喷嘴8a的中心和喷嘴列1喷嘴8b的中心的间隔比第一入射口 17的中心 和第二入射口 18的中心在X方向的间隔更小情况下所摄像部件的序号。 这种情况下，首先分别通过第一、第三传感器13， 29同时进行喷嘴列1 喷嘴8a和喷嘴列3喷嘴25a所吸着第一、第三部件lla， 26a的摄像，接 着分别通过第一、第三传感器13， 29同时进行喷嘴列1喷嘴8b和喷嘴列 3喷嘴25b所吸着第一、第三部件llb， 26b的摄像，接着通过第二传感器 14进行喷嘴列2喷嘴9a所吸着第二部件12a的摄像，接着通过第二传感 器14进行喷嘴列2喷嘴9b所吸着第二部件12b的摄像。没有图示出喷嘴 列1喷嘴8a的中心和喷嘴列1喷嘴8b的中心的间隔与第一入射口 17的 中心和第二入射口 18的中心在X方向的间隔一致情况下所摄像部件的序 号。这种情况下，首先分别通过第一、第三传感器13， 29同时进行喷嘴 列1喷嘴8a和喷嘴列3喷嘴25a所吸着第一、第三部件1 la， 26a的摄像， 接着分别通过第一、第二、第三传感器13、 14， 29同时进行喷嘴列1喷 嘴8b和喷嘴列2喷嘴9a以及喷嘴列3喷嘴25b所吸着第一、第二、第三 部件llb， 12a， 26b的摄像，接着通过第二传感器14进行喷嘴列2喷嘴9b所吸着第二部件12b的摄像。
通过成为这种构成，对于在检査部7上在Y方向排列地通过的第一部
件lla、第二部件12a、第三部件26a以及第一部件llb、第二部件12b、 第三部件26b，由于能够独立进行由第一、第二、第三照明部17， 18， 27 所照射的光线设定，因此，第一部件lla、第二部件12a、第三部件26a 以及第一部件llb、第二部件12b、第三部件26b，如果在相同光线设定下 观察方式不同，则即使在姿势检査精度不够或者不能进行自身姿势检查的 部件存在组合的情况下，通过头部在X方向移动使得在检查部7上仅仅通 过一次，即通过一次扫描操作，就能够进行全部部件的摄像和姿势检查。
由于在喷嘴列1喷嘴8a、 8b、喷嘴列2喷嘴9a、 9b以及喷嘴列3喷 嘴25a、 25b的每l根喷嘴上即在第一部件lla、 llb、第二部件12a、 12b 和第三部件26a、 26b的每一个部件上分别通过使用第一、第二、第三传 感器13、 14， 29来进行摄像，与如现有技术那样用一个传感器通过使视 野变大来进行多个部件摄像的情况相比，能够使传感器的每一个象素的分 辨率不变差，从而谋求保持姿势检查精度的提高。
在头部设置的喷嘴列1喷嘴8a、 8b、喷嘴列2喷嘴9a、 9b和喷嘴列 3喷嘴25a、 25b的喷嘴列间隔窄并将检查部7的第一、第二、第三传感器 13、 14， 29的各个视野中心通过在X方向对齐而并列配置的状态下，存 在因不能够获得第一、第二、第三照明部15， 16， 27之足够的照明设置 空间以及由第一、第二、第三照明部15， 16， 27所照射的光线光亮不够 而使得不能够确保喷嘴列1喷嘴8a、 8b、喷嘴列2喷嘴9a、 9b和喷嘴列 3喷嘴25a、 25b所吸着的第一、第二、第三部件lla、 llb、 12a、 12b、 26a、 26b的保持姿势检査精度的情况。另一方面，通过将第一、第二、第三传 感器13、 14， 29的视野中心在X方向错开并列配置，能够确保用于照射 用来确保姿势检查精度之足够光线的第一、第二、第三照明部15， 16， 27 的照明设置空间，能够谋求姿势检查精度的提高。
与将第一、第二、第三传感器13、 14， 29的视野在X方向顺次错开 并列配置的情况相比，通过做成将第一、第二、第三传感器13、 14， 29 的视野中心在X方向呈蛇形错开并列配置的结构，能够使检查部7在X 方向所占的空间小。因此，在使检査部7小型化的同时，当进行用于头部所设置的喷嘴列1喷嘴8a、 8b、喷嘴列2喷嘴9a、 9b和喷嘴列3喷嘴25a、 25b所吸着的第一、第二、第三部件lla、 llb、 12a、 12b、 26a、 26b之保 持姿势检査的摄像时，由于使在检查部7的第一、第二、第三入射口 17， 18， 28上必须移动的距离变短，因此能够谋求第一、第二、第三部件lla、 llb、 12a、 12b、 26a、 26b之摄像所要的时间即保持姿势检査所要时间的 縮短。
而且，尽管没有图示，但第一、第二、第三传感器13、 14， 29不需 要是相同的视野角和分辨率，能够配置不同组合的传感器。因此，作为头 部喷嘴列1喷嘴8a、 8b、喷嘴列2喷嘴9a、 9b和喷嘴列3喷嘴25a、 25b 所吸着的第一部件lla、 llb、第二部件12a、 12b以及第三部件26a、 26b， 通过分别考虑第一、第二、第三传感器13、 14， 29的各个视野角和各个 分辨率来在姿势检査中由供给部2的供给体3吸着最合适形状的部件，能 够谋求保持姿势检査对象的部件扩大和姿势检查精度的提高。
(实施方式5)
下面，使用图16和图17进行本发明第五实施方式的说明。 本发明第五实施方式与所述实施方式4相比替换反射体19而将反射/ 透过体20配置在第一、第二、第三入射口17， 18， 28和第一、第二、第 三传感器13、 14， 29之间，由于仅仅将另外方式备用的传感器配置在该 反射/透过体20的透过光侧这一点不同而在其他点是相同的构成，因此对 于同样构成部分给出了相同的标号，并省略其详细说明。
在图16和图17中，20是半反射镜等反射/透过体，13是被设置在该 反射/透过体20的反射光侧的、21是被设置在该反射/透过体20的透过光 侧的第一传感器和第一备用传感器，其用于进行头部6喷嘴列1喷嘴8a、 8b所吸着第一部件lla、 llb的摄像。同样，14是被设置在该反射/透过体 20的反射光侧的、22是被设置在该反射/透过体20的透过光侧的第二传感 器和第二备用传感器，其用于进行头部6喷嘴列2喷嘴9a、 9b所吸着第 二部件12a、 12b的摄像。同样，29是被设置在该反射/透过体20的反射 光侧的、30是被设置在该反射/透过体20的透过光侧的第三传感器和第三 备用传感器，其用于进行头部6喷嘴列3喷嘴25a、 25b所吸着第三部件26a、 26b的摄像。这里，第一传感器13的视野中心和第一备用传感器21 的视野中心、第二传感器14的视野中心和第二备用传感器22的视野中心 以及第三传感器29的视野中心和第三备用传感器30的视野中心被分别配 置成为一致。第一传感器13和第一备用传感器21、第二传感器14和第二 备用传感器22以及第三传感器29和第三备用传感器30，其可以是各自分 辨率或者视野角不同的组合，或者是分辨率和视野角两者都不同的组合。 这样，为了头部6喷嘴列1喷嘴8a、 8b、喷嘴列2喷嘴9a、 9b以及 喷嘴列3喷嘴25a、 25b所分别吸着的第一部件lla、 llb、第二部件12a、 12b以及第三部件26a、 26b之各个部件的保持姿势检査，作为存在其分辨 率或者视野角的哪一个不同或者这两者都不同的两种传感器的结构，当进 行摄像时，能够通过根据摄像对象即部件来选择地使用这两种传感器而谋 求保持姿势检査精度的提高或者姿势检查对象部件的扩大。
(实施方式6)
下面，使用图18到图20进行本发明第六实施方式的说明。 本发明第六实施方式与所述实施方式4相比将反射/透过体20配置在 第一、第二、第三入射口 17， 18， 28和第一、第二、第三传感器13、 14， 28之间来替换反射体19，由于仅仅在为了进行检査部7侧面所配置的喷 嘴列2喷嘴9a、 9b所吸着的第二部件12a、 12b的保持姿势检查而使进行 摄像的第二传感器14配置在反射/透过体20的透过光侧这一点以及限定将 用于第一、第二、第三传感器13、 14， 29的透镜配置在反射/透过体20 和第一、第二、第三传感器13、 14， 29之间这一点上不同但其他点是相 同的构成，因此对于同样构成部分给出了相同的标号，并省略其详细说明。 在图18到图20中，20是在第一、第二、第三入射口 17， 18， 28和 第一、第二、第三传感器13、 14， 29之间设置的半反射镜等反射/透过体， 23是用于头部6喷嘴列1喷嘴8a、 8b所吸着第一部件lla、 lib之保持姿 势检查的第一传感器13的第一透镜，其被设置在所述反射/透过体20和第 一传感器13之间。24是用于喷嘴列2喷嘴9a、 9b所吸着第二部件12a、 12b之保持姿势检查的第二传感器14的第二透镜，其被设置在所述反射/ 透过体20和第二传感器14之间。31是用于喷嘴列3喷嘴25a、 25b所吸着第三部件26a、 26b之保持姿势检查的第三传感器29的第三透镜，其被 设置在所述反射/透过体20和第三传感器29之间。
通过这种构成，在将第一、第二、第三传感器13、 14， 29并列配置 在检査部7的下面或侧面之同一面上时，即使在第一、第二、第三传感器 13、 14， 29的外形尺寸大而不得不使第一、第二、第三入射口 17， 18， 28的间隔扩大到需要之上的情况下，即在头部6配置的喷嘴列1喷嘴8a、 8b、喷嘴列2喷嘴9a、 9b以及喷嘴列3喷嘴25a、 25b的喷嘴列的间隔变 为需要之上的情况下，通过将反射/透过体20设置在第一、第二、第三入 射口 17， 18， 28和第一、第二、第三传感器13、 14， 29之间、将检査部 7的第一、第二、第三传感器13、 14， 29交互配置在该反射/透过体20的 反射光侧和透过光侧即将第一、第三传感器13， 29配置在反射光侧、将 第二传感器14配置在透过光侧，能够使头部6配置的喷嘴列1喷嘴8a、 8b、喷嘴列2喷嘴9a、 9b和喷嘴列3喷嘴25a、 25b的各个喷嘴列的间隔 变窄，从而使得头部6形成为小型。由于能够使检查部7的第一、第二、 第三入射口 17， 18， 28的各个入射口的间隔变窄，因此能够使检查部7 之Y方向的尺寸变小。
在头部6设置的喷嘴列1喷嘴8a、 8b，喷嘴列2喷嘴9a、 9b和喷嘴 列3喷嘴25a、 25b的各个喷嘴列的间隔窄并将第一、第二、第三传感器 13、 14、 29并列配置在检查部7下面或侧面之同一面上的状态下，即使在 因不能够确保用于第一、第二、第三传感器13、 14、 29之充分亮度的透 镜直径而使输入到第一、第二、第三传感器13、 14、 29的光信息亮度不 够从而使得不能够确保喷嘴列1喷嘴8a、 8b，喷嘴列2喷嘴9a、 9b和喷 嘴列3喷嘴25a、 25b所吸着的第一、第二、第三部件lla、 llb、 12a、 12b 和26a、 26b的保持姿势检查精度的情况下，通过将第一、第二、第三透 镜23、 24、 31配置在反射/透过体20和第一、第二、第三传感器13、 14， 29之间，也能够使这些透镜直径做大。因此，能够谋求头部6上设置的喷 嘴列1喷嘴8a、 8b、喷嘴列2喷嘴9a、 9b以及喷嘴列3喷嘴25a、 25b所 吸着的第一、第二、第三部件lla、 llb、 12a、 12b以及26a、 26b之保持 姿势检查精度的提高。 (实施方式7)下面，使用图21到图24进行本发明第七实施方式的说明。 本发明第七实施方式与所述实施方式1相比，相对于检査部7的第一、
第二传感器B、 14，设置了共同的照明部和入射口，由于仅仅在使第一传 感器13的视野中心和第二传感器14的视野中心在X方向错开配置这一点 不同而在其他点是相同的构成，因此对于同样构成部分给出了相同的标 号，并省略其详细说明。
图21中，32是在检查部7的第一、第二传感器13、 14分别对头部6 喷嘴列l喷嘴8a、 8b所吸着的第一部件lla、 llb、喷嘴列2喷嘴9a、 9b 所吸着的第二部件12a、 12b进行摄像时对第一、第二部件lla、 lib和12a、 12b照射光线的共同的照明部。33是在第一、第二传感器13、 14分别对 第一部件lla、 llb、第二部件12a、 12b进行摄像时用于输入光信息的共 同入射口，所述照明部32沿着入射口 33的外周部设置。34是表示第一传 感器13图像输入范围的第一视野，35是表示第二传感器14图像输入范围 的第二视野。第一视野34的中心和第二视野35的中心在X方向错开配置， 当第一、第二传感器13、 14是线传感器时，为了使第一视野34的范围在 X方向从端到端的位置和第二视野35的范围在X方向从端到端的位置不 重叠，将第一视野34和第二视野35在X方向错开配置。当第一、第二传 感器13、 14是面传感器时，当第一、第二传感器13、 14在摄像之际打开 快门期间即在第一、第二传感器13、 14曝光时间期间，通过留出头部6 在检查部7上移动之距离以上的间隔来在X方向错开配置第一视野34和 第二视野35。
下面，详细说明头部配置的喷嘴所吸着部件在检查部7中的保持姿势 检查。
在进行头部6配置的喷嘴列1喷嘴8a、 8b和喷嘴列2喷嘴9a、 9b所 吸着的第一部件lla、 11b和第二部件12a、 12b的保持姿势检查时，首先， 在使头部6在Y方向上移动使得头部6配置的喷嘴列1喷嘴8a、 8b和喷 嘴列2喷嘴9a、 9b的各个喷嘴列与检査部7的第一、第二视野34， 35的 各个视野中心的Y方向位置一致之后，如图21的箭头所示，通过使头部 6在X方向移动使得在检査部7上通过，通过第一、第二传感器13、 14 分别对每一个部件进行第一、第二部件lla、 11b和12a、 12b的摄像。在第一、第二传感器13、 14为面传感器时，该第一、第二部件lla、 llb和12a、 12b的摄像通过使用第一、第二传感器13、 14的快门功能来在头部 6通过检査部7的上方时不使头部在检查部7的第一、第二视野34， 35 上停止来进行。具体地，如图22时序图所示，通过使头部6在检査部7 上X方向移动，在喷嘴列1喷嘴8a通过第一传感器13的第一视野34的 中心的瞬间，打开第一传感器13的快门来进行曝光，并进行通过第一传 感器13对喷嘴列l喷嘴8a所吸着第一部件lla的摄像。而且，继续使头 部6在X方向继续移动，在喷嘴列2喷嘴9a通过第二传感器14的第二视 野35的中心的瞬间，打开第二传感器14的快门来进行曝光，并进行通过 第二传感器14对喷嘴列2喷嘴9a所吸着第二部件12a的摄像。继续使头 部6在X方向移动，在喷嘴列1喷嘴8b通过第一视野34的视野中心的瞬 间，打开第一传感器13的快门来进行曝光，并进行通过第一传感器13对 喷嘴列1喷嘴8b所吸着第一部件lib的摄像。继续使头部6在X方向移 动，在喷嘴列2喷嘴9b通过第二视野35的视野中心的瞬间，打开第二传 感器14的快门来进行曝光，并进行通过第二传感器14对喷嘴列2喷嘴9b 所吸着第二部件12b的摄像。以下，尽管没有图示，同样对头部6配置的 IO根喷嘴所吸着的全部部件进行摄像。而且，在通过该第一、第二传感器 13、 14使用快门功能的摄像瞬间，对所摄像的部件，通过照明部32来对 每一个部件进行设定的光线照射。而且，在使用线传感器作为第一、第二 传感器13、 14的情况下，在使用所述面传感器情况的说明中，在不是使 用传感器快门功能的摄像对象部件分别通过第一、第二视野34， 35的视 野内期间，通过第一、第二传感器13、 14进行继续图像信息的输入方面 以及在摄像对象部件通过第一、第二视野34， 35的视野内期间，即通过 第一、第二传感器B、 14进行继续图像信息的输入期间，由照明部32进 行继续光线照射方面不同，但摄像顺序是相同的。通过对这种第一、第二传感器13、 14设置共同的入射口 33和沿着该 入射口 33的外周部设置的共同的照明部32，依靠对每一个第一、第二传 感器13、 14设置照明部并且将第一、第二传感器13、 14的视野中心在X 方向不错开对齐并列配置的情况，能够与头部6设置的喷嘴列1喷嘴8a、 8b和喷嘴列2喷嘴9a、9b的喷嘴列间隔无关来确保照明部32的设置空间。因此，为了获得喷嘴所吸着部件的保持姿势检査的检查精度，能够容易地 构成用于获得必要光线光量的照明部32，能够容易地谋求喷嘴列1喷嘴8a、 8b所吸着第一部件lla、 lib和喷嘴列2喷嘴9a、 9b所吸着第二部件 12a、 12b之保持姿势检查精度的提高。通过将第一传感器13的第一视野34和第二传感器14的第二视野35 在X方向错开并列配置，对于第一、第二传感器13、 14的摄像即在检查 部7上Y方向并行通过的第一部件lla和第二部件12a以及第一部件lib 和第二部件12b，能够独立进行从照明部32照射的光线设定。因此，第一 部件lla和第二部件12a以及第一部件lib和第二部件12b如果在相同光 线设定下观察方式不同，则即使在姿势检查精度不够或者不能进行自身姿 势检查的部件存在组合的情况下，通过头部6在X方向移动使得在检査部 7上仅仅通过一次，即通过一次扫描操作就能够进行所有部件的摄像和姿 势检查，能够谋求姿势检査所要时间的縮短。 (实施方式8)下面，使用图25到图27进行本发明第八实施方式的说明。 本发明第八实施方式与所述实施方式七相比替换反射体19而将反射/ 透过体20配置在入射口 33和第一、第二传感器13、 14之间，由于仅仅 将另外方式备用的传感器配置在该反射/透过体20的透过光侧这一点不同 而在其他点是相同的构成，因此对于同样构成部分给出了相同的标号，并 省略其详细说明。在图25到图27中，20是在入射口 33和第一、第二传感器13、 14 之间设置的半反射镜等反射/透过体，13是被设置在该反射/透过体20的反 射光侧的、用于进行头部6喷嘴列1喷嘴8a、 8b所吸着第一部件lla、 lib 的摄像的第一传感器，14是被设置在该反射/透过体20的反射光侧的、用 于进行头部6喷嘴列2喷嘴9a、 ％所吸着第二部件12a、 12b的摄像的第 二传感器，36是被设置在该反射/透过体20的透过光侧的第四备用传感器。 37是表示第四备用传感器36之图像输入范围的第四视野。该第四视野37 的视野中心被配置为与入射口 33的中心一致。假设该第四视野37比表示 第一传感器13之图像输入范围的第一视野34和表示第二传感器14之图 像输入范围的第二视野35更大，将第四传感器36的姿势检查对象部件的外形尺寸假设为比第一、第二传感器13、 14的姿势检査对象部件的外形尺寸更大。作为具体例子，构成为将第一视野34和第二视野35的视野角 设定在8mm角程度，将从外形尺寸为横向6mm纵向3mm的方形芯片部 件到外形尺寸为6mm程度的小型异形部件的电子部件作为姿势检查对象， 第四视野37的视野角设定在25mm角或者35mm角程度，将从外形尺寸 为22mm角或者32mm角程度的中型到大型的异形部件作为姿势检查对象o下面，说明检査部7中使用第四传感器36的部件的保持姿势检查。 在头部6配置的喷嘴列1喷嘴8a、 8b和喷嘴列2喷嘴9a、 9b所吸着第一 部件lla、 lib和第二部件12a、 12b当中，当具有构成第四传感器36之 姿势检查对象的部件时，首先，使头部6在Y方向上移动，使得头部6配 置的喷嘴列l喷嘴8a、 8b或者喷嘴列2喷嘴9a、 9b的任一个进行姿势检 查的喷嘴列与检査部7的第四传感器36视野中心的Y方向位置一致。之 后，通过使头部6在X方向移动使得在检查部7上通过，通过第四传感器 16，分别对每一个部件进行摄像。当该第四传感器36为面传感器时，由 第四传感器36进行的摄像通过使用第四传感器36的快门功能来在头部6 通过检查部7的上方时不使头部6在检查部7的第四入射口 37上停止来 进行。在通过该第四传感器36进行摄像时，通过所述控制部50的控制， 对于所摄像的部件，进行通过照明部32而对每个部件所设定光线的照射。进行该摄像中具体地动作说明(没有图示时序图)，在喷嘴列1喷嘴 8a、 8b所吸着第一部件9a、 9b是第四传感器36的姿势检査对象部件时， 首先，将头部6在Y方向移动到喷嘴列1喷嘴8a、 8b的喷嘴列和检查部 7第四传感器36的图像输入范围即第四视野37的中心之间的Y方向位置 一致的位置上。接着，使头部6向着检查部7在X方向移动，在喷嘴列l 喷嘴8a通过第四传感器36的第四视野37的中心的瞬间，打开第四传感 器36的快门来进行曝光，进行喷嘴列1喷嘴8a所吸着第一部件lla的摄 像。而且，使头部6在X方向继续移动，在喷嘴列1喷嘴8b通过第四传 感器36的第四视野37的中心的瞬间，打开第四传感器36的快门来进行 曝光，进行喷嘴列1喷嘴8b所吸着第一部件lib的摄像。在喷嘴列2喷 嘴9a、 9b所吸着第二部件12a、 12b是第四传感器36的检査对象部件的情况下，也通过同样的动作进行摄像(动作说明省略)。而且，在将线传 感器用作为第一、第二传感器13、 14时，在使用所述面传感器情况的说 明中，不是使用传感器的快门功能，在摄像对象部件通过第一、第二传感器13、 14视野内期间通过第一、第二传感器13、 14进行继续图像信息的 输入方面以及在摄像对象部件通过第一、第二传感器13、 14视野内期间 即通过第一、第二传感器13、 14进行继续图像信息的输入期间由第一、 第二照明部15， 16进行继续光线照射方面仅仅不同，摄像顺序是相同的。而且，在构成第四传感器36检查对象的部件存在于喷嘴列1喷嘴8a、 8b所吸着第一部件lla、 lib和喷嘴列2喷嘴9a、 9b所吸着第二部件12a、 12b之两个喷嘴列的吸着部件上时，对于喷嘴列1和喷嘴列2的各个喷嘴 列，通过第四传感器36的扫描动作变为必需(动作说明省略)。当第一、第二传感器13、 14的姿势检查对象部件和第四传感器36的 姿势检査对象部件混杂在头部6喷嘴列1喷嘴8a、8b所吸着第一部件lla、 11b和喷嘴列2喷嘴9a、 9b所吸着第二部件12a、 12b上时，为了进行第 一部件lla、 llb、第二部件12a、 12b的全部姿势检査，在喷嘴列1喷嘴 8a、 8b所吸着第一部件lla、 lib和喷嘴列2喷嘴9a、 9b所吸着第二部件 12a、 12b当中，通过第一、第二传感器13、 14由用于姿势检查对象部件 的头部6在X方向移动而通过检查部7上的扫描动作、以及在喷嘴列1喷 嘴8a、 8b所吸着第一部件lla、 llb当中，对于第四传感器36的姿势检 查对象部件通过第四传感器36用于姿势检查的扫描动作、以及在喷嘴列2 喷嘴9a、 ％所吸着第二部件12a、 12b当中，对于第四传感器36的姿势 检査对象部件通过第四传感器36用于姿势检查的扫描动作分别变为必要 (动作说明省略)。这样，在反射/透过体20的透过光侧设置视野角与第一、第二传感器 13、 14不同的第四传感器36，根据头部6设置的喷嘴列1喷嘴8a、 8b所 吸着第一部件lla、 lib和喷嘴列2喷嘴9a、 9b所吸着第二部件12a、 12b 的部件外形尺寸，通过成为使用第一、第二传感器13、 14进行扫描动作 或者使用第四传感器36进行扫描动作的构成，能够谋求姿势检查对象之 部件的扩大。这种构成的情况即当第一、第二传感器13、 14的姿势检査对象部件和第四传感器36的姿势检査对象部件混杂在喷嘴列1喷嘴8a、 8b所吸着 第一部件lla、 lib和喷嘴列2喷嘴9a、 9b所吸着第二部件12a、 12b中时， 由于需要多次扫描动作，因此浪费了姿势检查所要的时间。但是，作为电 子部件安装机l，安装方形芯片部件到小型异形部件占大部分，虽然频度 低但也需要安装中型到大型异形部件的情况，即对于通过第一、第二传感 器13、 14进行的姿势检查对象部件占大部分，但也有检查频度低的通过 第四传感器36进行的姿势检查对象部件，对于这种情况，其成为有效的 构成。尽管没有记述第四传感器36和第一、第二传感器13、 14之间分辨率 的差别，但是，通过将比第一、第二传感器13、 14的图像输入范围即第 一、第二视野34， 35更宽的第四视野37假设为图像输入范围而使第四传 感器36的分辨率成为比第一、第二传感器13、 14的分辨率更高清晰度的 分辨率，能够构成谋求第四传感器36姿势检查对象部件之姿势检查精度 的提高。而且，在本实施方式中，尽管构成为在反射/透过体的透过光侧设置一 个传感器即第四传感器36，但在反射/透过体20的透过光侧之能够设置范 围内的任意位置上也能够设置视野角或者分辨率不同或者这两者都不同 的多个传感器。具体地，如实施方式2， 5所示，在反射/透过体20的透过 光侧设置2个传感器，使得第一传感器13的图像输入范围即第一视野34 的视野中心和第二传感器14的图像输入范围即第二视野35的视野中心之 各个视野中心一致，成为在摄像时选择使用2台传感器的构成，从而能够 构成为谋求姿势检查对象部件的扩大或者姿势检査精度的提高。 (实施方式9)下面，使用图28到图30进行本发明第九实施方式的说明。 本发明第九实施方式与所述实施方式7相比将反射/透过体20配置在 入射口33和第一、第二传感器13、 14之间来替换反射体19，由于仅仅在 为了进行检查部7侧面所配置的喷嘴列2喷嘴9a、 9b所吸着的第二部件 12a、 12b的保持姿势检查而进行摄像的第二传感器14配置在反射/透过体 20的透过光侧这一点以及限定将用于第一、第二传感器13、 14的透镜配 置在反射/透过体20和第一、第二传感器13、 14之间这一点上不同而对于其他点是相同的构成，因此对于同样构成部分给出了相同的标号，并省略 其详细说明。在图28到图30中，20是在入射口 33和第一、第二传感器13、 14 之间设置的半反射镜等反射/透过体，23是用于头部6喷嘴列1喷嘴8a、 8b所吸着第一部件11a、llb之保持姿势检查的第一传感器13的第一透镜， 其被设置在所述反射/透过体20和第一传感器13之间。24是用于喷嘴列2 喷嘴9a、 9b所吸着第二部件12a、 12b之保持姿势检査的第二传感器15 的第二透镜，其被设置在所述反射/透过体20和第二传感器14之间。通过这种构成，在将第一、第二传感器13、 14并列配置在检查部7 的下面或侧面之同一面上时，即使在第一、第二传感器13、 14的外形尺 寸大而不得不使第一视野34和第二视野35的间隔扩大到需要之上的情况 下，即在头部6配置的喷嘴列1喷嘴8a、 8b和喷嘴列2喷嘴9a、 9b的喷 嘴列的间隔变为需要之上的情况下，通过将反射/透过体20设置在入射口 33和第一、第二传感器13、 14之间、将检査部7的传感器交互配置在该 反射/透过体20的反射光侧和透过光侧即通过将第一传感器13配置在反射 光侧、将第二传感器14配置在透过光侧，能够使头部6配置的喷嘴列1 喷嘴8a、 8b和喷嘴列2喷嘴9a、 9b的喷嘴列的间隔变窄，从而使得头部 6形成为小型。由于能够使检査部7的第一视野34和第二视野35的间隔 变窄，因此能够使检查部7之Y方向的尺寸变小。在头部6设置的喷嘴列1喷嘴8a、 8b和喷嘴列2喷嘴9a、 9b的间隔 窄并将第一、第二传感器13、 14并列配置在检查部7下面或侧面之同一 面上的状态下，即使在因不能够确保用于第一、第二传感器13、 14之充 分亮度的透镜直径而使输入到第一、第二传感器13、 14的光信息亮度不 够从而使得不能够确保喷嘴列1喷嘴8a、 8b和喷嘴列2喷嘴9a、 9b所吸 着的第一、第二部件lla、 llb和12a、 12b的保持姿势检査精度的情况下， 通过将第一、第二透镜23， 24配置在反射/透过体20和第一、第二传感器 13、 14之间，也能够使该透镜直径做大。因此，能够谋求头部6上设置的 喷嘴列1喷嘴8a、 8b和喷嘴列2喷嘴9a、 9b所吸着的第一、第二部件1 la、 11b和12a、 12b之保持姿势检查精度的提高。通过构成为在检查部上具有头部配置的每个喷嘴列独立的用于姿势检査的传感器、在姿势检查时向着头部照射光线的照明部以及光信息的入 射口 ，能够用一次扫描操作实现头部设置的多个喷嘴列所吸着的多个部件 的保持姿势检査，谋求保持姿势检查所要时间的縮短，同时，能够谋求喷 嘴所保持部件的保持姿势检查精度的提高以及提高电子部件安装机的生(实施方式10)下面，参考

本发明第10实施方式的部件安装装置以及在该 部件安装装置中执行的部件安装方法。图31所示第10实施方式的部件安装装置1100作为基本构成部分包括电子部件供给装置1110;部件保持头部1120; X、 Y机器人1130;部件高度检测装置1140;控制装置1150。本实施方式中还包括基板搬送 装置1160和部件识别装置1170。上述部件供给装置1110是供给电子部件1111的装置，在本实施方式 中，设置了所谓盘绕带供给体类型的部件供给装置，其具有盘绕容纳了电 子部件1111之盘绕带的巻轴，通过从该巻轴重复上述盘绕带来进行部件 供给。而且，部件供给装置不局限于该盘绕带供给体类型，例如，也能够 设置所谓托盘(tray)供给体类型的部件供给装置。上述部件保持头部1120具有用于保持电子部件1111的部件保持构件 1121，如图32和图33所示，将部件保持构件1121沿着X、 Y方向以网 格状多行多列排列，在本实施方式中，沿着X方向2行、沿着Y方向5 列共计排列了 10个部件保持构件1121。在本实施方式中，沿着X方向， 在移动方向1124中的各个部件保持构件1121的配置间隔Pl作为一例是 10.75mm，沿着Y方向，在与上述移动方向1124正交的正交方向1125中 的各个部件保持构件1121的配置间隔P2作为一例是22mm。而且，在本 实施方式中，各个部件保持构件1121由通过吸着而保持部件1111的吸着 喷嘴构成，部件保持头部U20具有用于上述吸着的吸引部1122，而且， 还具有在部件保持和安装时用于将部件保持构件1121在其轴方向升降的 升降部1123以及将部件保持构件1121在其轴圆周方向旋转的旋转部 1126。上述X， Y机器人1130是用于使部件保持头部1120在X方向和Y方向移动的机器人，具有一对Y机器人1131和X机器人1132， Y机器人 1131在Y方向延伸并具有滚珠丝杠机构，X机器人1132在X方向延伸并 使两端支持在各个Y机器人1131上而通过Y机器人1131能够在Y方向 移动、并且安装了部件保持头部1120和使该部件保持头部1120在X方向 移动、以及具有滚珠丝杠机构。通过该X， Y机器人1130，使部件保持头 部1120能够在X方向和Y方向移动。上述部件高度检测装置1140是用于检测部件保持构件1121所保持的 部件1111之高度的装置，用来检査多个部件保持构件1121所保持的电子 部件1111的保持姿势是否良好，其具有用来发出成为平行光束的检测用 光1143的发光部1141和用来接收发光部1141发出的上述检测用光1143 并包含1维图像传感器的光接收部1142。如图32和图33所示，发光部 1141和光接收部1142通过夹着由部件保持头部1120移动的部件保持构件 1121而被配置在部件保持构件1121移动方向1124的两侧，并且，从发光 部1141发出的检测用光1143相对于与移动方向1124正交的正交方向 1125，被配置使得交叉构成能够分别检测各个部件保持构件1121所保持 部件1111的可检测角度e 。在本实施方式中，上述移动方向1124对应于 X方向，与移动方向1124正交的正交方向1125对应于Y方向。上述可检测角度e如上述在将移动方向1124中各个部件保持构件 1121的配置间隔设为Pl以及将上述正交方向1125中部件保持构件1121 的配置间隔设为P2时，是通过tan—1 ( (P1/2) /P2)求得的角度。例如，如上述，当各个部件保持构件1121的配置间隔Pl是10.75mm， 配置间隔P2是22mm时，可检测角度e变为14度。上述控制装置1150是进行该部件安装装置1100之动作控制的装置， 而且被连接到上述部件高度检测装置1140，并基于部件高度检测装置1140 供给的部件高度信息来判断部件1111保持姿势是否良好。图34表示如上述从以可检测角度e配置的部件高度检测装置1140的 发光部1141发出的检测用光1143通过各个部件保持构件1121所保持的 部件1111之后由光接收部1142检测的影像。如图34所示，通过各个部 件保持构件1121所保持的部件1111的尺寸，产生了图34之A部所示的 在各个部件llll的影像中存在间隙的情况以及B部所示那样部件llll的影像重叠而不存在间隙的情况。因此，为了即使在部件1111的影像重叠时也能够判断各个部件1111 的保持姿势是否良好，在本实施方式的控制装置1150中，如图34所示，在上述部件高度检测装置1140送出的部件高度信息之内，基于将各个部 件保持构件1121作为中心而在移动方向1124的各个检测区间1144中的 上述部件高度信息，判断上述各个电子部件1111的保持姿势是否良好。 从图34的B部可知，上述检测区间1144是在邻接的电子部件1111的各 个影像中在除去重复部分的非重复范围1145内能够设定的区间。具体地， 非重复范围1145最大是与P2Xsine相当的范围。上述检测区域1144在 本实施方式中是3mm。这是因为，对于例如1608 (1.6mmX0.8mm)那样 的微小芯片部件，仅仅在平面识别中不能够进行保持姿势判断。在本实施方式中，尽管上述检测区间1144对于全部的部件保持构件 1121使用相同的距离，但是，例如，也可以与部件保持构件1121的大小 等相对应来对每一个部件保持构件1121改变检测区间1144。上述基板搬送装置1160是将电路基板1161搬入到该部件安装装置 1100以及在部件1111安装之后将电路基板1161从该部件安装装置1100 搬出到下一工序中的装置。上述部件识别装置1170是用于平面摄影部件保持头部1120的部件保 持构件1121所保持电子部件1111之保持姿势的装置，被连接到控制装置 1150。控制装置1150基于从部件识别装置1170中供给的各个部件1111 的保持姿势信息，在将部件1111安装到电路基板1161上时，求得其位置 补正量。下面说明如上述构成的第10实施方式部件安装装置1100中的动作即 部件安装方法。该部件安装方法通过控制装置1150的动作控制执行。电路基板1161从该部件安装装置1100的上流侧被搬入到该部件安装 装置1100中，并通过基板搬送装置1160搬送固定到该部件安装装置1100 内的部件安装用基板保持位置。接着，为了通过部件保持头部1120的部件保持构件1121取出由部件 供给装置1110被搬送到部件吸着装置的电子部件1111，通过X、 Y机器 人1130，部件保持头部1120被定位在上述部件吸着装置上，电子部件1111通过部件保持构件1121保持。部件保持头部1120由于具有多个部件保持构件1121，根据控制装置1150所存储的部件安装程序，使部件1111保持 在部件安装必需的至少多个部件保持构件1121上。通过部件保持构件1121保持电子部件1111之后，为了平面地确认部 件保持构件1121中电子部件1111的保持状态，部件保持头部1120通过X、 Y机器人1130被搬送和定位在部件识别装置1170的识别位置。部件识别 装置1170摄像部件保持构件1121所保持的各个电子部件1111的平面状 态，并将各个摄像信息送出到控制装置1150。基于该摄像信息，控制装置 1150对每一个电子部件1111，求得补正量使得与电路基板1161中的安装 位置吻合，根据该补正量，补正X、 Y机器人1130和部件保持构件1121 的移动量。接着，为了进行部件保持构件1121所保持的各个电子部件1111的高 度方向的检测和判断部件保持姿势是否良好，部件保持头部1120由X、 Y 机器人1130移动控制，如图32所示，使各个电子部件1111通过部件高 度检测装置1140的发光部1141和光接收部1142之间。此时，部件保持 头部1120上具有的部件保持构件1121在使所保持的电子部件1111被定 位于Z方向中的一定高度的检测高度位置的状态下通过发光部1141和光 接收部1142之间。如上述，从发光部1141发出的检测用光1143由于相对于上述正交方 向1125被交叉构成为可检测角度e，因此，如上述，即使电子部件1111 在本实施方式中被排列为2行5歹i」，通过部件保持头部1120向移动方向 1124移动，如图33所示，例如，各个电子部件llll以部件llll一l、部 件1111_2、部件1111—3、部件1111—4、部件1111_5、.....、部件1111 一10的顺序被顺次进行检査。因此，如图34所示，在光接收部1142顺次 检测各个电子部件1111的影像，所检测的这些影像信息被顺次送出到控 制装置1150。这样，从发光部1141发出的检测用光1143由于相对于上述正交方向 1125被交叉构成为可检测角度e，即使在以多行多列排列部件保持构件 1121的情况下，通过一次扫描，对于所有的部件1111，也能够获得影像 信息。因此，根据本实施方式的部件安装装置IIOO，与现有技术相比，其能够谋求与部件安装相关的循环周期的高速化。在控制装置1150中，具有根据在部件保持构件1121的高度中也具有 标准偏差而对每个部件保持构件1121预先设定的部件保持构件高度信息 以及对每个部件预先设定的部件高度信息。因此，控制装置1150基于被供给的电子部件llll的影像，如图35所示，求得上述影像的高度，将通过上述部件保持构件高度信息和上述部件高度信息而预先确定的规定高 度信息与所求得的部件高度信息进行比较，对于其误差超过规定值的，部 件保持姿势判断为不良。如上述，由于具有各个部件之间产生影像重叠的情况，因此控制装置1150在求得上述部件高度信息时，基于在各个部件1111影像之非重复范 围1145内的检测区间1144中的影像信息来求得上述部件高度信息。这样， 由于基于上述检测区间1144中的影像信息来求得上述部件高度信息，在 光接收部1142所接收的影像中，即使在相邻部件llll之间影像重叠，也 能够判别求得了哪一个部件1111的部件高度信息。因此，结果，与现有 技术相比，能够谋求与部件安装相关的循环周期的高速化。当上述判断的结果为电子部件1111是良品即部件保持姿势被判断为 良好时，通过控制装置1150的操作控制，部件保持头部1120通过X、 Y 机器人1130被定位到电路基板1161的部件安装位置，并将部件保持构件 1121所保持的电子部件1111安装在电路基板1161上。另一方面，当判断电子部件1111是不良品即部件保持姿势为不良时， 通过控制装置1150的操作控制，部件保持头部1120通过X、 Y机器人1130 被移动到电子部件1111的废弃场所(没有图示)，废弃该不良电子部件 1111。再次重复从上述部件保持动作到安装动作。在上述第IO实施方式中，尽管将移动方向1124作为X方向，将正交 方向1125作为Y方向，但不局限于此。即，例如，可以在部件高度检测 装置1140中将检测用光1143发光成为与Y方向平行。另一方面，也可以 移动部件保持头部1120，使得构成上述可检测角度e 。而且，通过将上述各个实施方式中的任意实施方式进行适当的组合也 能够获得各自具有的效果。本发明尽管参考附图结合优选实施方式进行了充分记载，但本领域技 术人员能够进行各种变形和修改。显然，这种变形和修改应当理解为在所 附权利要求限定的本发明范围内。
权利要求
1、一种部件安装装置，在由电子部件供给装置(110)保持电子部件(111)并将所保持的电子部件安装到电路基板(161)的部件安装装置中，包括部件保持头部(120)，其使保持所述电子部件的部件保持构件(121)多行多列排列并在相互正交的X、Y方向上移动；部件高度检测装置(140)，其用于检查多个所述部件保持构件所保持的所述电子部件的保持姿势是否良好而检测所述部件保持构件所保持的所述电子部件的高度，具有一对发光部(141)和光接收部(142)，该发光部和光接收部对于与所述部件保持头部所移动的所述部件保持构件的移动方向(124)正交的正交方向(125)，以可分别检测各部件保持构件所保持的所述电子部件的角度(θ)发出和接收检测用光(143)。
2、 如权利要求1所述的部件安装装置，其特征在于， 在将所述移动方向中各个部件保持构件的配置间隔设为Pl以及将所述正交方向中部件保持构件的配置间隔设为P2时，所述可检测角度是通 过tan—1 ((P1/2) /P2)求得的角度。
3、 如权利要求1所述的部件安装装置，其特征在于， 还包括控制装置(150)，其在所述部件高度检测装置送出的部件高度信息之内，基于将所述部件保持构件作为中心的在所述移动方向的检测区 间(144)中的所述部件高度信息，判断所述电子部件是否良好。
4、 一种部件安装方法，是保持电子部件(111)并安装到电路基板(161) 中的部件安装方法，其包括在通过以多行多列排列的部件保持构件(121)保持所述电子部件之 后，在安装到所述电路基板之前，对于与所述部件保持构件的移动方向 (124)正交的正交方向(125)，以分别可检测各个部件保持构件所保持 的所述电子部件的可检测角度(e )发出检测用光(143)并接收该检测 用光，检查多个所述部件保持构件所保持的所述电子部件的保持姿势是否 良好。
5、 如权利要求4所述的部件安装方法，其特征在于，在将所述移动方向中的各个部件保持构件的配置间隔设为Pl以及将 所述正交方向中的部件保持构件的配置间隔设为P2时，所述可检测角度是通过tan—1 ((P1/2) /P2)求得的角度。
6、如权利要求4所述的部件安装方法，其特征在于， 所述电子部件保持姿势是否良好的判断是基于将所述部件保持构件作为中心的在所述移动方向的检测区间(144)中的部件高度信息来进行判断。
全文摘要
一种部件安装装置，由电子部件供给装置(110)保持电子部件(111)并将所保持的电子部件安装到电路基板(161)上。包括部件保持头部(120)，其使保持电子部件的部件保持构件(121)多行多列排列并在相互正交的X、Y方向上移动；和部件高度检测装置(140)，其用于检查多个部件保持构件所保持的电子部件的保持姿势是否良好而检测部件保持构件所保持的电子部件的高度，具有一对发光部(141)和光接收部(142)，该发光部和光接收部对于与部件保持头部所移动的部件保持构件的移动方向(124)正交的正交方向(125)，以可分别检测各部件保持构件所保持的电子部件的角度(θ)发出和接收检测用光(143)。
文档编号H05K13/08GK101299916SQ20081012890
公开日2008年11月5日 申请日期2004年5月11日 优先权日2003年5月13日
发明者上森大嗣, 中井伸弘, 大田博, 川隅显介, 持田芳典, 泉田圭三, 饭塚公雄 申请人:松下电器产业株式会社