专利名称：多晶硅铸锭炉坩埚的护板的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉内的设备，特别是一种多晶硅铸锭炉 坩埚的护板。
背景技术：
在多晶硅的生长的过程中，由于多晶硅铸锭炉热场的不稳定，会在晶体 内部产生微晶，在多晶硅铸锭炉热场没改变的情况下，每个出来的晶锭里微
晶含量达到49.9%，这样晶锭的良品率就会大大降低。晶体的生长方向是由 下向上的，温度的梯度对微晶的产生有一定的影响。我们的护板原来没有孔， 这样他的散热速度较慢。
实用新型内容
为了克服现有的坩埚护板散热速度慢，影响多晶硅结晶质量的不足，本 实用新型提供一种散热速度快的多晶硅铸锭炉坩埚的护板。
本实用新型所采用的技术方案是 一种多晶硅铸锭炉坩埚的护板，包括 护板的板体，在板体的上部开设用于加快冷却气体流通的通孔。在护板的板 体上部扩孔后，在冲氩气后，加快了冷却的速度，改变了冷却温度，改善了 结晶质量
通孔为圆形，有三个，彼此均匀排列，圆形通孔的直径为15 25mm。 本实用新型的有益效果是通过试验，相对于原先没有用于加快冷却气
体流通的通孔的护板，该改进可以把微晶含量减少到31. 8%。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型的使用状态图。
图中l.板体，2.通孔，3.坩埚，4.石墨盖板，5.硅材料。
具体实施方式
如图1和2所示的一种多晶硅铸锭炉坩埚的护板，包括护板的板体1， 在板体1的上部开设用于加快冷却气体流通的通孔2。通孔2为圆形，有三 个，彼此均匀排列，圆形通孔2的直径为15 25mm。护板安装在坩埚3的四 周，在围出的护板上盖上石墨盖板4，护板和石墨盖板4将坩埚3围住防止 杂质进入坩埚3中的硅材料5中。坩埚3中的硅材料5在多晶硅铸锭炉的热 场的作用下熔融然后冷却结晶，护板上的通孔2加快了冷却用氩气在坩埚3 上部空间内冷却流通的速度，改变了冷却温度，使生产出来的晶锭中的微晶 的含量从原来的49. 9%减少到31. 8%。
权利要求1、一种多晶硅铸锭炉坩埚的护板，包括护板的板体(1)，其特征是在所述的板体(1)的上部开设用于加快冷却气体流通的通孔(2)。
2、 根据权利要求l所述的多晶硅铸锭炉坩埚的护板，其特征是所述的通孔(2)为圆形，有三个，彼此均匀排列，圆形通孔(2)的直径为15 25mm。
专利摘要本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉内的设备，特别是一种多晶硅铸锭炉坩埚的护板，包括护板的板体，在板体的上部开设用于加快冷却气体流通的通孔。通过试验，相对于原先没有用于冷却气体流通用的通孔的护板，该改进可以把微晶含量减少到31.8％。
文档编号C30B29/06GK201183850SQ20082003110
公开日2009年1月21日 申请日期2008年1月28日 优先权日2008年1月28日
发明者杨晓忠, 汪钉崇 申请人:常州天合光能有限公司