专利名称：一种新型晶体炉称重结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及晶体生长技术领域，具体是一种新型晶体炉称重结构。
背景技术：
随着科学技术的发展，对晶体材料的要求越来越高，这也意味着对晶体材料的生 长工艺和生长设备的要求越来越高。晶体生长的工艺的关键在于设备以及对晶体生长速度 称重法是晶体生长速度控制最重要的方法之一，其关键技术就是称重机构。目前 比价常用的称重结构有下称法、悬臂上称法和悬吊上称法。这些方法都存在结构复杂，维修 不方便，可靠性不强，怕振动等问题。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种结构简单、安装维修方便、抗干扰 能力及可靠性强的新型晶体炉称重结构。 本实用新型所要解决的技术问题采用以下技术方案来实现， —种新型晶体炉称重结构，包括提拉机构、晶体炉、夹板、传感器、精密转轴，其特 征在于；所述夹板为活动上夹板和固定于台面的下夹板所构成，在所述活动上夹板上设置 提拉机构，所述晶体炉设在提拉机构的右侧，通过连接杆与提拉机构相连，在所述提拉机构 左侧的夹板上设有平衡弹力机构，传感器设在所述平衡弹力机构左边的活动上夹板上，所 述精密转轴设在提拉机构右侧夹板的中间位置。 所述平衡弹力机构为弹簧、或橡皮垫、或线性及非线性弹力材料，除保持杠杆的平
衡外，还具有有效阻尼减震、提高精度的功能。 所述传感器为高精度压力或位移传感器。 本实用新型的有益效果是结构简单合理，便于安装维修，可有效避免振动对称重 产生的影响，提高测量精度。
图1是本实用新型结构示意图。
具体实施方式为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下
面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。 如图1所示，一种新型晶体炉称重结构，包括提拉机构1、晶体炉2、夹板3、传感器 4、精密转轴5，夹板3由活动上夹板6和固定于台面的下夹板7所构成，在活动上夹板6上 设置提拉机构1，晶体炉2设在提拉机构1的右侧，通过连接杆8与提拉机构1相连，在提拉 机构1左侧的夹板3上设有平衡弹力机构9，平衡弹力机构9为弹簧、或橡皮垫、或线性及非线性弹力材料，除保持杠杆的平衡外，还具有有效阻尼减震、提高精度的功能。传感器4设 在平衡弹力机构9左边的活动上夹板6上，传感器4为高精度压力或位移传感器。精密转 轴5设在提拉机构1右侧夹板3的中间位置。 以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行 业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述 的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还 会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型 要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
权利要求一种新型晶体炉称重结构，包括提拉机构、晶体炉、夹板、传感器、精密转轴，其特征在于；所述夹板为活动上夹板和固定于台面的下夹板所构成，在所述活动上夹板上设置提拉机构，所述晶体炉设在提拉机构的右侧，通过连接杆与提拉机构相连，在所述提拉机构左侧的夹板上设有平衡弹力机构，传感器设在所述平衡弹力机构左边的活动上夹板上，所述精密转轴设在提拉机构右侧夹板的中间位置。
2. 根据权利要求l所述新型晶体炉称重结构，其特征在于所述平衡弹力机构为弹簧、 或橡皮垫、或线性及非线性弹力材料。
3. 根据权利要求1所述新型晶体炉称重结构，其特征在于所述传感器为高精度压力 或位移传感器。
专利摘要一种新型晶体炉称重结构涉及晶体生长技术领域，包括提拉机构、晶体炉、夹板、传感器、精密转轴，其特征在于；所述夹板为活动上夹板和固定于台面的下夹板所构成，在所述活动上夹板上设置提拉机构，所述晶体炉设在提拉机构的右侧，通过连接杆与提拉机构相连，在所述提拉机构左侧的夹板上设有平衡弹力机构，传感器设在所述平衡弹力机构左边的活动上夹板上，所述精密转轴设在提拉机构右侧夹板的中间位置。本实用新型的有益效果是结构简单合理，便于安装维修，可有效避免振动对称重产生的影响，提高测量精度。
文档编号C30B15/28GK201512605SQ20092021023
公开日2010年6月23日 申请日期2009年9月27日 优先权日2009年9月27日
发明者黄小卫 申请人:上海元亮光电科技有限公司