专利名称：单晶炉炉体电动旋转机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种非金属晶体的制造设备，尤其设及一种单晶炉炉体电动 旋转机构。
背景技术：
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和 半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重 要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用 太阳能的主要功能材料。单晶炉的上炉筒旋转功能的作用如下在硅单晶拉制完成后，上炉体需要升起然 后转出，便于取下生成的单晶硅晶体。现有的上炉体转出功能，都是采用手动转动的，比较 费力，而且转动不平稳，容易发生单晶硅晶体掉落等现象。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种单晶炉炉体电动旋转机构，通过该电动旋转机构 可以方便、准确、灵活地控制单晶炉上炉体的旋转作业，解决单晶炉上炉体手动旋转作业的 劳动强度大，转动不平稳，晶棒容易发生掉落等现象。本实用新型是这样实现的一种单晶炉炉体电动旋转机构，包括立柱、传感器支 座、固定块、旋转轴、轴承挡环、丝杆、升降电机、上炉体、提升架、连接板和丝杆螺母；立柱侧 壁固定安装有传感器支座，传感器支座内套装有旋转轴，旋转轴内部设有丝杆，丝杆下端设 有与丝杆相配合的丝杆螺母，丝杆螺母的上端通过轴承挡环与旋转轴的下端相连，所述提 升架的一端通过固定块固定连接在旋转轴中部，提升架的另一端通过连接板与上炉体固定 连接，所述升降电机固定在立柱下端，升降电机的输出端与丝杆下端相连，所述炉体电动旋 转机构还包括减速马达、小齿轮、大齿轮和导向键，所述的减速马达固定安装在立柱侧壁上 端，减速马达输出端固定安装有小齿轮，所述旋转轴上端开有导向槽，旋转轴通过导向槽内 的导向键与大齿轮连接，大齿轮与减速马达输出端的小齿轮啮合连接。所述的炉体电动旋转机构还包括旋转限位机构，旋转限位机构包括大齿轮端盖和 限位板，所述的大齿轮上端固定安装有大齿轮端盖，大齿轮端盖成“凸”形，凸肩两侧设有 用于控制大齿轮端盖和大齿轮旋转角度的限位板，限位板固定在旋转轴上端的传感器支座 上。所述传感器支座中设有限位开关，限位开关控制上炉体的上升位置。所述升降电机下端还设有用于支撑升降电机的升降电机板，升降电机板与立柱侧 壁固定连接。所述升降电机为蜗轮升降电机。本实用新型在单晶炉上炉体向上运动时，设在导向槽内的导向键避免了旋转轴在 上升过程中的转动，确保了上炉体上升高度的精确性。单晶炉上炉体转动时，采用机械自动
3化代替人力，降低了劳动强度；在转动过程中，通过机械运动，极大提高了作业安全；单晶 生长结束后，通过机械自动化运动，实现了勻速平缓运动，彻底解决了原手动作业产生的晶 棒容易脱落现象。
图1为本实用新型单晶炉炉体电动旋转机构结构示意图；图2为图1的左视示意图；图3为图2的局部放大示意图；图4为图2的B-B向剖视示意图。图中1立柱、2传感器支座、3固定块、4旋转轴、5轴承挡环、6丝杆、7升降电机、8 减速马达、9大齿轮、10限位板、11上炉体、12提升架、13连接板、14丝杆螺母、15升降电机 板、16小齿轮、17大齿轮端盖、18导向键。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明。参见图1、图2，一种单晶炉炉体电动旋转机构，包括立柱1、传感器支座2、固定块 3、旋转轴4、轴承挡环5、丝杆6、升降电机7、上炉体11、提升架12、连接板13和丝杆螺母 14 ；立柱1侧壁固定安装有传感器支座2，所述传感器支座2中设有限位开关，传感器支座2 内套装有旋转轴4，旋转轴4内部设有丝杆6，丝杆6下端设有与丝杆6相配合的丝杆螺母 14，丝杆螺母14的上端通过轴承挡环5与旋转轴4的下端相连，所述提升架12的一端通过 固定块3固定连接在旋转轴4中部，提升架12的另一端通过连接板13与上炉体11固定连 接，所述升降电机7固定在立柱1下端，所述升降电机7为蜗轮升降电机。升降电机7的输 出端与丝杆6下端相连，所述升降电机7下端还设有用于支撑升降电机7的升降电机板15， 升降电机板15与立柱1侧壁固定连接。所述炉体电动旋转机构还包括减速马达8、小齿轮 16、大齿轮9和导向键，所述的减速马达8固定安装在立柱1侧壁上端，减速马达8输出端 固定安装有小齿轮16，所述旋转轴4上端开有导向槽，旋转轴4通过导向槽内的导向键18 与大齿轮9连接，大齿轮9与减速马达8输出端的小齿轮16啮合连接。所述的炉体电动旋转机构还包括旋转限位机构。参见图3、图4，旋转限位机构包 括大齿轮端盖17和限位板10，所述的大齿轮9上端固定安装有大齿轮端盖17，大齿轮端盖 17成“凸”形，凸肩两侧设有用于控制大齿轮端盖17和大齿轮9旋转角度的限位板10，限 位板10固定在旋转轴4上端的传感器支座2上。本实用新型是这样工作的仍参见图1至图3，升降电机7通过作用丝杆6，使与丝 杆6相固定的丝杆螺母14向上运动，丝杆螺母14带动旋转轴4、固定块3、提升架12和连接 板13—起向上运动，从而带动上炉体11向上运动，上炉体11向上运动时，设在导向槽内的 导向键18避免了旋转轴4在上升过程中的转动，确保了上炉体11上升高度的精确性，传感 器支座2中设有限位开关，限位开关控制上炉体11的上升位置，当上炉体11上升一定高度 后，减速马达8启动，减速马达8输出端的小齿轮16带动大齿轮9转动，大齿轮9带动旋转 轴4转动，旋转轴4带动固定块3、提升架12和连接板13 —起转动，从而带动上炉体11转 动，当大齿轮9转动一定角度后，固定在大齿轮9上的大齿轮端盖17与限位板13相接触，
4通过限位板13的安装位置，即可控制上炉体11的转动角度。 上述实施例仅供说明本实用新型之用，而并非是对本实用新型的限制，有关技术 领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此， 所有等同的技术方案也应属于本实用新型的范畴。
权利要求一种单晶炉炉体电动旋转机构，包括立柱、传感器支座、固定块、旋转轴、轴承挡环、丝杆、升降电机、上炉体、提升架、连接板和丝杆螺母；立柱侧壁固定安装有传感器支座，传感器支座内套装有旋转轴，旋转轴内部设有丝杆，丝杆下端设有与丝杆相配合的丝杆螺母，丝杆螺母的上端通过轴承挡环与旋转轴的下端相连，所述提升架的一端通过固定块固定连接在旋转轴中部，提升架的另一端通过连接板与上炉体固定连接，所述升降电机固定在立柱下端，升降电机的输出端与丝杆下端相连，其特征是所述炉体电动旋转机构还包括减速马达、小齿轮、大齿轮和导向键，所述的减速马达固定安装在立柱侧壁上端，减速马达输出端固定安装有小齿轮，所述旋转轴上端开有导向槽，旋转轴通过导向槽内的导向键与大齿轮连接，大齿轮与减速马达输出端的小齿轮啮合连接。
2.根据权利要求1所述的单晶炉炉体电动旋转机构，其特征是所述的炉体电动旋转 机构还包括旋转限位机构，旋转限位机构包括大齿轮端盖和限位板，所述的大齿轮上端固 定安装有大齿轮端盖，大齿轮端盖成“凸”形，凸肩两侧设有用于控制大齿轮端盖和大齿轮 旋转角度的限位板，限位板固定在旋转轴上端的传感器支座上。
3.根据权利要求1所述的单晶炉炉体电动旋转机构，其特征是所述传感器支座中设 有限位开关，限位开关控制上炉体的上升位置。
4.根据权利要求1所述的单晶炉炉体电动旋转机构，其特征是所述升降电机下端还 设有用于支撑升降电机的升降电机板，升降电机板与立柱侧壁固定连接。
5.根据权利要求1所述的单晶炉炉体电动旋转机构，其特征是所述升降电机为蜗轮 升降电机。
专利摘要本实用新型涉及一种非金属晶体的制造设备，尤其设及一种单晶炉炉体电动旋转机构。一种单晶炉炉体电动旋转机构，包括立柱、传感器支座、固定块、旋转轴、轴承挡环、丝杆、升降电机、上炉体、提升架、连接板和丝杆螺母；所述炉体电动旋转机构还包括减速马达、小齿轮、大齿轮和导向键，所述的减速马达固定安装在立柱侧壁上端，减速马达输出端固定安装有小齿轮，所述旋转轴上端开有导向槽，旋转轴通过导向槽内的导向键与大齿轮连接，大齿轮与减速马达输出端的小齿轮啮合连接。在单晶炉上炉体转动时，用机械自动化代替人力，降低了劳动强度，提高了作业安全，单晶生长结束后，实现了匀速平缓运动，解决了原手动作业产生的晶棒容易脱落现象。
文档编号C30B15/30GK201648566SQ201020163749
公开日2010年11月24日 申请日期2010年4月20日 优先权日2010年4月20日
发明者杨金海 申请人:宁夏日晶电子科技有限公司