专利名称：石墨加热器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及石墨加热器技术领域，具体涉及一种生产化合物半导体用石墨加 热器。
背景技术：
随着工业经济的飞速发展，化合物半导体逐渐被更为广泛的应用，III - V族化合 物半导体如砷化镓、磷化镓、锑化铟等也越来越受到人们的重视，而生产化合物半导体其大 部分过程是吸热过程，即需要外部供给热量，因为石墨具的电阻率较高，对电流的阻碍作用 也较大，当给石墨通电时，会放出大量热，因它具有高熔点3500°C、高沸点4827°C的特性， 在惰性气体保护下不会熔化、蒸发、反应，因此石墨具常常被用于生产化合物半导体的单晶 炉加热器具。目前，国内单晶炉所用石墨加热器均为直筒型石墨加热器，直筒型石墨加热器 具有横向、纵向温度梯度变化巨大，加热器内热对流剧烈，炉温温场不稳定的缺点。使得拉 晶过程中，单晶容易变为多晶，用电量过高。
实用新型内容鉴于上述不足之处，本实用新型所要解决的技术问题是如何提供一种具有更加均 勻的热场，使坩埚中料的温度更稳定的用于化合物半导体生产的石墨加热器。本实用新型所提出的技术问题是这样解决的构造一种石墨加热器，由筒状加热 器本体构成，所述加热器本体中下部收窄，底部设有与电极相连的引脚，整个加热器本体呈 杯状。本实用新型的有益效果为本实用新型把将现有的直筒状石墨加热器的中下部收 窄，使整个加热器本体呈杯状，贴近坩埚托杆，使得加热器下部也通过电流发热，从而让加 热器内温场更稳定，原料受热均勻，解决了石墨加热器横向、纵向温度梯度变化巨大，加热 器内热对流剧烈，炉温温场不稳定的问题。
图1是本实用新型所提供的结构示意图。图2是图1的竖向剖面图。图中1.加热器本体，2.引脚。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进一步的说明。如图1和图2所示，一种石墨加热器，由筒状加热器本体1构成，加热器本体1中 下部收窄，底部设有与电极相连的引脚2，整个加热器本体1呈杯状。
权利要求1. 一种石墨加热器，由筒状加热器本体(1)构成，其特征在于所述加热器本体(1)中 下部收窄，底部设有与电极相连的引脚(2)，整个加热器本体(1)呈杯状。
专利摘要本实用新型公开了一种石墨加热器，由筒状加热器本体构成，所述加热器本体中下部收窄，底部设有与电极相连的引脚，整个加热器本体呈杯状。本实用新型的有益效果为本实用新型把将现有的直筒状石墨加热器的中下部收窄，使整个加热器本体呈杯状，贴近坩埚托杆，使得加热器下部也通过电流发热，从而让加热器内温场更稳定，原料受热均匀，解决了石墨加热器横向、纵向温度梯度变化巨大，加热器内热对流剧烈，炉温温场不稳定的问题。
文档编号C30B15/14GK201933199SQ20102069507
公开日2011年8月17日 申请日期2010年12月31日 优先权日2010年12月31日
发明者周雅清 申请人:乐山凯亚达光电科技有限公司