专利名称:一种单晶炉底盘的制作方法
技术领域:
本实用新型涉及一种单晶炉底盘。
背景技术:
目前使用的XA单晶炉由于炉底盘的电极孔之间的中心距为400mm,无法安装更大直径的加热器,满足75KG的投料量的需求。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是设计一种单晶炉底盘,满足75KG的投料量的需求。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种单晶炉底盘,炉底盘上具有电极孔,电极孔之间的中心距H为435mm。本实用新型的有益效果是通过对单晶炉底盘进行的改进,使得单晶炉内可以安装更大直径的加热器,放入更大的石英坩埚,达到增加投料量的目的,使得原先由于受底盘影响只能投最大60KG料的单晶炉,目前可投75KG料,大大的提高了产能。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明;
图1是本实用新型的结构示意图;图中,1.电极孔。
具体实施方式
如图1所示,一种单晶炉底盘,炉底盘上具有电极孔1,电极孔1之间的中心距L为 435mm。炉底盘的材料为316L不锈钢。
权利要求1. 一种单晶炉底盘,其特征是所述的炉底盘上具有电极孔(1),电极孔(1)之间的中心距L为435mm。
专利摘要本实用新型涉及一种单晶炉底盘,该炉底盘上具有电极孔,电极孔之间的中心距H为435mm。本实用新型的有益效果是通过对单晶炉底盘进行的改进,使得原先由于受底盘影响只能投最大60KG料的单晶炉,目前可投75KG料,大大的提高了产能。
文档编号C30B35/00GK202164390SQ20112023247
公开日2012年3月14日 申请日期2011年7月4日 优先权日2011年7月4日
发明者徐建峰, 贾江江 申请人:常州天合光能有限公司