一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置的制作方法

文档序号:8061681阅读:141来源:国知局
专利名称:一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种夹取装置,尤其是涉及一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置。
背景技术
现如今,从单晶炉中取出石墨坩埚时,通常均采用传统的提取方法,具体是先将石墨坩埚冷却一段时间后,再手戴耐高温手套将石墨坩埚从单晶炉中取出。实际使用过程中, 采用上述传统方法从单晶炉中取出石墨坩埚时,均需要前期先将石墨坩埚冷却一段时间后才能进行提取,并且提取过程中所需的时间较长,提取操作不便,因而较大程度上降低了硅材料的生产效率;同时实际提取过程中,由于采用手戴耐高温手套的方式进行提取,因而不可避免会出现手部烫伤等现象,所存在的不安全系数较多。

实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足,提供一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,其结构设计合理、安装紧凑、加工制作及安装方便且使用操作简便、使用效果好,能有效解决传统石墨坩埚提取方法存在的提取操作不便、需石墨坩埚冷却一段时间后才能进行提取、实际提取时所存在的不安全系数较多等实际问题。为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,其特征在于包括支撑立柱、安装在所述支撑立柱上部的把手、安装在所述支撑立柱底部的底座、通过连接组件一安装在所述支撑立柱中部外侧的多边形可伸缩性托架和布设在所述多边形可伸缩性托架下方的多个夹爪,多个所述夹爪组成一个用于夹取坩埚的夹取机构,且所述夹取机构的内部结构和尺寸均与所述坩埚的结构和尺寸一致。上述一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,其特征是所述支撑立柱包括呈竖直向布设的中套筒、同轴套装在中套筒上部的上支柱和同轴套装在中套筒下部的下支柱,所述上支柱顶部固定在把手上,且下支柱底部固定在所述底座上。上述一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,其特征是所述把手为呈水平向布设的水平把手,且所述支撑立柱顶部固定在所述水平把手的中部下方;所述底座为三角形支板。上述一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,其特征是所述多边形可伸缩性托架为由多个水平套筒和多根分别接在相邻两个所述水平套筒之间的水平连杆,所述水平连杆和水平套筒的数量相同,所述水平连杆的左右端部分别设置有插装入水平套筒内的插装头。上述一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,其特征是所述连接组件一的数量与所述水平套筒的数量相同,且每一个水平套筒与所述支撑立柱之间均通过一个所述连接组件一进行固定连接;所述连接组件一包括上连杆和下连杆,上连杆和下连杆的内端部分别固定在中套筒的上下部,且上连杆和下连杆的外端部分别固定在水平套筒的中部上下两侧。上述一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,其特征是所述夹爪为弧形夹爪,所述弧形夹爪的数量与水平套筒的数量相同,多个所述弧形夹爪分别安装在多个水平套筒下方,且多个所述水平套筒沿圆周方向进行布设,多个所述水平套筒内部形成一个用于夹取坩埚的圆柱形夹取腔。上述一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,其特征是多个所述水平套筒的结构和尺寸均相同,多根所述水平连杆的结构和尺寸均相同,且多个所述弧形夹爪的结构和尺寸均相同。上述一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,其特征是所述弧形夹爪、水平套筒和水平连杆的数量均为3个,且所述多边形可伸缩性托架为六边形托架。上述一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,其特征是多个所述弧形夹爪均通过连接组件二固定在所述底座上,所述连接组件二的数量与弧形夹爪的数量相同;所述连接组件二包括左连杆和右连杆,所述左连杆和右连杆的外端部分别固定在弧形夹爪的左右两侧,且左连杆和右连杆的内端部均固定在所述底座上。上述一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,其特征是所述弧形夹爪包括弧形杆一、布设在所述弧形杆一正下方的弧形杆二、安装在所述弧形杆一和弧形杆二中部之间的中连杆以及分别安装在所述弧形杆一和弧形杆二的左右两侧的左侧杆和右侧杆,所述左侧杆上部与水平套筒的左端部之间通过左侧连杆进行连接,且所述右侧杆上部与水平套筒的右端部之间通过右侧连杆进行连接。本实用新型与现有技术相比具有以下优点1、结构设计合理、加工制作及安装方便且投入成本较低。2、结构简单、安装紧凑且体积小、重量轻,便于移动。3、使用操作简便,采用本实用新型提取石墨坩埚时,只需通过把手将夹取机构向下推送并紧扣住需夹取的石墨坩埚上,之后通过把手将本实用新型连同石墨坩埚一道自单晶炉中取出即可。4、实际夹取时,无需等到石墨坩埚冷却一段时间后再进行夹取,因而提高了硅材料的生产效率,同时尽早将石墨坩埚自单晶炉内取出后,能有效加快石墨坩埚的冷却时间。5、使用效果好,经济实用,能简单、方便且快速地将石墨坩埚从单晶炉中取出,且安全系数高,不会出现手部烫伤等现象应用,在缩短石墨坩埚冷却时间的同时,也能降低人员操作的风险,提高了生产效率。综上所述,本实用新型结构设计合理、安装紧凑、加工制作及安装方便且使用操作简便、使用效果好,能有效解决传统石墨坩埚提取方法存在的提取操作不便、需石墨坩埚冷却一段时间后才能进行提取、实际提取时所存在的不安全系数较多等实际问题。下面通过附图和实施例,对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

图1为本实用新型的结构示意图。图2为本实用新型的使用状态图。附图标记说明[0025]1-把手;4-三角形底座7-水平连杆;9-2-右连杆;11-下支柱;
2-上支柱; 5-三角形支板 8-弧形夹爪; 10-1-上连杆; 12-坩埚。
3-中套筒; 6-水平套筒;
9-1-左连杆;
10-2-下连杆
具体实施方式
如图1、图2所示,本实用新型包括支撑立柱、安装在所述支撑立柱上部的把手1、 安装在所述支撑立柱底部的底座、通过连接组件一安装在所述支撑立柱中部外侧的多边形可伸缩性托架和布设在所述多边形可伸缩性托架下方的多个夹爪,多个所述夹爪组成一个用于夹取坩埚12的夹取机构,且所述夹取机构的内部结构和尺寸均与所述坩埚12的结构和尺寸一致。本实施例中,所述支撑立柱包括呈竖直向布设的中套筒3、同轴套装在中套筒3上部的上支柱2和同轴套装在中套筒3下部的下支柱11,所述上支柱2顶部固定在把手1上, 且下支柱11底部固定在所述底座上。实际安装布设时,所述把手1为呈水平向布设的水平把手,且所述支撑立柱顶部固定在所述水平把手的中部下方。所述底座为三角形支板5。实际使用时,所述多边形可伸缩性托架为由多个水平套筒6和多根分别接在相邻两个所述水平套筒6之间的水平连杆7,所述水平连杆7和水平套筒6的数量相同,所述水平连杆7的左右端部分别设置有插装入水平套筒6内的插装头。本实施例中,所述连接组件一的数量与所述水平套筒6的数量相同,且每一个水平套筒6与所述支撑立柱之间均通过一个所述连接组件一进行固定连接。所述连接组件一包括上连杆10-1和下连杆10-2,上连杆10-1和下连杆10-2的内端部分别固定在中套筒3 的上下部,且上连杆10-1和下连杆10-2的外端部分别固定在水平套筒6的中部上下两侧。实际使用时,所述夹爪为弧形夹爪8,所述弧形夹爪8的数量与水平套筒6的数量相同,多个所述弧形夹爪8分别安装在多个水平套筒6下方,且多个所述水平套筒6沿圆周方向进行布设,多个所述水平套筒6内部形成一个用于夹取坩埚12的圆柱形夹取腔。本实施例中,多个所述水平套筒6的结构和尺寸均相同,多根所述水平连杆7的结构和尺寸均相同,且多个所述弧形夹爪8的结构和尺寸均相同。所述弧形夹爪8、水平套筒 6和水平连杆7的数量均为3个,且所述多边形可伸缩性托架为六边形托架。实际布设安装时,多个所述弧形夹爪8均通过连接组件二固定在所述底座上,所述连接组件二的数量与弧形夹爪8的数量相同。所述连接组件二包括左连杆9-1和右连杆 9-2,所述左连杆9-1和右连杆9-2的外端部分别固定在弧形夹爪8的左右两侧,且左连杆 9-1和右连杆9-2的内端部均固定在所述底座上。本实施例中,所述弧形夹爪8包括弧形杆一、布设在所述弧形杆一正下方的弧形杆二、安装在所述弧形杆一和弧形杆二中部之间的中连杆以及分别安装在所述弧形杆一和弧形杆二的左右两侧的左侧杆和右侧杆,所述左侧杆上部与水平套筒6的左端部之间通过左侧连杆进行连接,且所述右侧杆上部与水平套筒6的右端部之间通过右侧连杆进行连接。[0039]实际加工制作时,所述左侧杆和所述左侧连杆布设在同一直线上且二者加工制作为一体,所述右侧杆和所述右侧连杆布设在同一直线上且二者加工制作为一体。以上所述,仅是本实用新型的较佳实施例,并非对本实用新型作任何限制,凡是根据本实用新型技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效结构变化,均仍属于本实用新型技术方案的保护范围内。
权利要求1.一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,其特征在于包括支撑立柱、安装在所述支撑立柱上部的把手(1)、安装在所述支撑立柱底部的底座、通过连接组件一安装在所述支撑立柱中部外侧的多边形可伸缩性托架和布设在所述多边形可伸缩性托架下方的多个夹爪,多个所述夹爪组成一个用于夹取坩埚(12)的夹取机构,且所述夹取机构的内部结构和尺寸均与所述坩埚(12)的结构和尺寸一致。
2.按照权利要求1所述的一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,其特征在于 所述支撑立柱包括呈竖直向布设的中套筒(3)、同轴套装在中套筒C3)上部的上支柱(2)和同轴套装在中套筒C3)下部的下支柱(11),所述上支柱( 顶部固定在把手(1)上,且下支柱(11)底部固定在所述底座上。
3.按照权利要求1或2所述的一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,其特征在于所述把手(1)为呈水平向布设的水平把手,且所述支撑立柱顶部固定在所述水平把手的中部下方;所述底座为三角形支板(5)。
4.按照权利要求2所述的一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,其特征在于 所述多边形可伸缩性托架为由多个水平套筒(6)和多根分别接在相邻两个所述水平套筒 (6)之间的水平连杆(7),所述水平连杆(7)和水平套筒(6)的数量相同,所述水平连杆(7) 的左右端部分别设置有插装入水平套筒(6)内的插装头。
5.按照权利要求4所述的一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,其特征在于所述连接组件一的数量与所述水平套筒(6)的数量相同,且每一个水平套筒(6)与所述支撑立柱之间均通过一个所述连接组件一进行固定连接;所述连接组件一包括上连杆 (10-1)和下连杆(10-2),上连杆(10-1)和下连杆(10- 的内端部分别固定在中套筒(3) 的上下部,且上连杆(10-1)和下连杆(10- 的外端部分别固定在水平套筒(6)的中部上下两侧。
6.按照权利要求4所述的一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,其特征在于 所述夹爪为弧形夹爪(8),所述弧形夹爪(8)的数量与水平套筒(6)的数量相同,多个所述弧形夹爪(8)分别安装在多个水平套筒(6)下方,且多个所述水平套筒(6)沿圆周方向进行布设,多个所述水平套筒(6)内部形成一个用于夹取坩埚(1 的圆柱形夹取腔。
7.按照权利要求4所述的一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,其特征在于 多个所述水平套筒(6)的结构和尺寸均相同,多根所述水平连杆(7)的结构和尺寸均相同, 且多个所述弧形夹爪(8)的结构和尺寸均相同。
8.按照权利要求4所述的一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,其特征在于 所述弧形夹爪(8)、水平套筒(6)和水平连杆(7)的数量均为3个,且所述多边形可伸缩性托架为六边形托架。
9.按照权利要求6所述的一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,其特征在于 多个所述弧形夹爪(8)均通过连接组件二固定在所述底座上,所述连接组件二的数量与弧形夹爪(8)的数量相同;所述连接组件二包括左连杆(9-1)和右连杆(9-2),所述左连杆 (9-1)和右连杆(9- 的外端部分别固定在弧形夹爪(8)的左右两侧,且左连杆(9-1)和右连杆(9-2)的内端部均固定在所述底座上。
10.按照权利要求6所述的一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,其特征在于 所述弧形夹爪(8)包括弧形杆一、布设在所述弧形杆一正下方的弧形杆二、安装在所述弧形杆一和弧形杆二中部之间的中连杆以及分别安装在所述弧形杆一和弧形杆二的左右两侧的左侧杆和右侧杆,所述左侧杆上部与水平套筒(6)的左端部之间通过左侧连杆进行连接,且所述右侧杆上部与水平套筒(6)的右端部之间通过右侧连杆进行连接。
专利摘要本实用新型公开了一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,包括支撑立柱、安装在支撑立柱上部的把手、安装在所述支撑立柱底部的底座、通过连接组件一安装在所述支撑立柱中部外侧的多边形可伸缩性托架和布设在所述多边形可伸缩性托架下方的多个夹爪,多个所述夹爪组成一个用于夹取坩埚的夹取机构,且夹取机构的内部结构和尺寸均与所述坩埚的结构和尺寸一致。本实用新型结构设计合理、安装紧凑、加工制作及安装方便且使用操作简便、使用效果好,能有效解决传统石墨坩埚提取方法存在的提取操作不便、需石墨坩埚冷却一段时间后才能进行提取、实际提取时所存在的不安全系数较多等实际问题。
文档编号C30B15/00GK202131393SQ20112024700
公开日2012年2月1日 申请日期2011年7月13日 优先权日2011年7月13日
发明者国峰, 成文辉 申请人:西安华晶电子技术股份有限公司
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