专利名称：一种集热式拉晶炉的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种拉晶炉，应用于半导体制造领域。
背景技术：
拉晶炉是将半导体粉末冶炼成半导体晶棒的装置，在现有技术中，每个拉晶炉具有一个炉腔，所述的炉腔是这样的它是由多个圆环形的耐火砖叠放而成的，中间的孔是炉腔孔，所述各个耐火砖的炉腔孔上下位置照应的，在相邻的耐火砖炉腔孔周围之间缝隙中具有电阻丝，这样的拉晶炉具有热效率低、浪费能源的缺点。
发明内容本实用新型的目的就是针对上述缺点，提供一种热效率利用高、节省能源的集热式拉晶炉。本实用新型的技术方案是这样实现的一种集热式拉晶炉，它包括有多个耐火砖叠放而成的炉体，在相邻的耐火砖炉腔孔周围之间缝隙中具有电阻丝，其特征是所述的耐火砖周围具有多个炉腔孔，在所述的耐火砖外围具有炉腔外套。进一步的讲，所述的耐火砖中间具有一个大孔，在所述的大孔周围的耐火砖上有炉腔内套。本实用新型的有益效果是这样结构的集热式拉晶炉具有热效率利用高、节省能源的优点。
图1是本实用新型的结构示意图。其中1、耐火砖2、炉腔孔 3、炉腔外套 4、大孔 5、炉腔内套。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步的描述。如图1所示，一种集热式拉晶炉，它包括有多个耐火砖1叠放而成的炉体，在相邻的耐火砖炉腔孔周围之间缝隙中具有电阻丝，其特征是所述的耐火砖1周围具有多个炉腔孔2，在所述的耐火砖1外围具有炉腔外套3。进一步的讲，所述的耐火砖1中间具有一个大孔4，在所述的大孔4周围的耐火砖上有炉腔内套5。这样的拉晶炉可以节能20%以上。
权利要求1.一种集热式拉晶炉，它包括有多个耐火砖叠放而成的炉体，在相邻的耐火砖炉腔孔周围之间缝隙中具有电阻丝，其特征是所述的耐火砖周围具有多个炉腔孔，在所述的耐火砖外围具有炉腔外套。
2.根据权利要求1所述的拉晶炉，其特征是所述的耐火砖中间具有一个大孔，在所述的大孔周围的耐火砖上有炉腔内套。
专利摘要本实用新型涉及一种集热式拉晶炉，它包括有多个耐火砖叠放而成的炉体，在相邻的耐火砖炉腔孔周围之间缝隙中具有电阻丝，所述的耐火砖周围具有多个炉腔孔，在所述的耐火砖外围具有炉腔外套，所述的耐火砖中间具有一个大孔，在所述的大孔周围的耐火砖上有炉腔内套，这样结构的集热式拉晶炉具有热效率利用高、节省能源的优点。
文档编号C30B15/00GK202247024SQ20112028850
公开日2012年5月30日 申请日期2011年8月10日 优先权日2011年8月10日
发明者刘宝成 申请人:河南恒昌电子有限公司