专利名称：单晶炉热场导流筒的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及高温炉用设备，具体涉及单晶炉热场导流筒。
背景技术：
单晶硅是光伏产业的主要原材料之一，成品单晶硅是使用单晶炉，通过籽晶引导、 向上提拉的方法生产出来的。在生产过程中，高纯氩气从单晶炉顶部充入，为保证单晶硅稳定生长，在坩埚上安装有导流筒。现有的导流筒多是单层结构，氩气通过时容易产生紊流， 影响单晶硅生长，氩气流经单晶液面时间很短，不能起到很好的降温作用，且加热器产生的热量通过导流筒散出，热利用率不高。
实用新型内容本实用新型的目的即在于克服现有技术的不足，提供一种稳定气流流向，降温效果好，热利用率高的单晶炉热场导流筒。本实用新型的目的通过以下技术方案实现单晶炉热场导流筒，其特征在于，它包括外导流筒和内导流筒，所述外导流筒和内导流筒均为上大下小的锥形筒状结构，内导流筒位于外导流筒的内部。本实用新型的有益效果是由于使用了双层结构，氩气在通过时紊流减少径流增加，能提高热场温度梯度，更加便于拉晶操作；外导流筒能使氩气流经单晶液面时间，增加氩气降温效果；外导流筒能将加热器散射的辐射反射回热场内，提升热能利用率。
图1为本实用新型结构示意图图中，1-内外导流筒，2-内导流筒。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步说明，本实用新型的保护范围不限于以下所述。如图1所示，单晶炉热场导流筒，它包括外导流筒1和内导流筒2，所述外导流筒1 和内导流筒2均为上大下小的锥形筒状结构，内导流筒2位于外导流筒1的内部。
权利要求1.单晶炉热场导流筒，其特征在于，它包括外导流筒(1)和内导流筒(2)，所述外导流筒(1)和内导流筒(2)均为上大下小的锥形筒状结构，内导流筒(2)位于外导流筒(1)的内部。
专利摘要本实用新型公开了一种单晶炉热场导流筒，它包括外导流筒(1)和内导流筒(2)，所述外导流筒(1)和内导流筒(2)均为上大下小的锥形筒状结构，内导流筒(2)位于外导流筒(1)的内部。由于使用了双层结构，氩气在通过时紊流减少径流增加，能提高热场温度梯度，更加便于拉晶操作；能使氩气流经单晶液面时间，增加氩气降温效果；能将加热器散射的辐射反射回热场内，提升热能利用率。
文档编号C30B35/00GK202323099SQ20112042694
公开日2012年7月11日 申请日期2011年11月2日 优先权日2011年11月2日
发明者周甦, 张庆 申请人:雅安恒圣高纯石墨科技有限责任公司