专利名称：一种多晶铸锭设备的真空系统的制作方法
技术领域：
本实用新型关于太阳能光伏行业的多晶铸锭技术领域，具体地讲是一种多晶铸锭设备的真空系统。
技术背景目前，太阳能光伏行业使用的多晶铸锭设备的真空系统的故障率较高，且受生产环境的影响，维护成本很大。如图I所示，现有技术中的多晶铸锭设备主要由真空设备单元100和铸锭设备真空工艺单元200组成。真空设备单元100和铸锭设备真空工艺单元200之间通过真空抽气主管道101和真空抽气工艺使用管道103相连通。真空抽气主管道101上设置有主管道真空阀102，真空抽气工艺使用管道103上设置有工艺控制阀104和气动阀105。由于铸锭设备真空工艺单元200在正常工艺运行时产生的粉尘颗粒会直接通过真空抽气工艺使用管道103进入真空设备单元100，因此造成真空设备单元100的磨损，并造成真空设备单元100内部的润滑油的污染，以及因杂质堆积而形成的元部件启动卡死或关闭不严。
实用新型内容本实用新型实施例提供了一种多晶铸锭设备的真空系统，以解决铸锭设备真空工艺单元的磨损问题、润滑油的污染问题，以及因杂质堆积而形成的元部件启动卡死或关闭不严问题。本实用新型的目的是，提供一种多晶铸锭设备的真空系统，该系统包括真空设备单元、铸锭设备真空工艺单元、过滤装置、真空抽气主管道、真空抽气工艺使用管道、主管道真空阀、工艺控制阀和气动阀；真空设备单元和铸锭设备真空工艺单元之间分别通过真空抽气主管道和真空抽气工艺使用管道相连通；真空抽气主管道上设置有主管道真空阀；真空抽气工艺使用管道上设置有工艺控制阀、气动阀和过滤装置；铸锭设备真空工艺单元产生的气体通过真空抽气工艺使用管道及过滤装置、工艺控制阀和气动阀进入真空设备单
J Li ο多晶铸锭设备的真空系统还包括冷却装置；冷却装置设置在真空抽气工艺使用管道上，铸锭设备真空工艺单元产生的气体通过真空抽气工艺使用管道及冷却装置、过滤装置、工艺控制阀和气动阀进入真空设备单元。冷却装置包括弯曲的管道；弯曲的管道串接在真空抽气工艺使用管道中。本实用新型的有益效果在于，避免了多晶铸锭设备在正常工艺运行时产生的粉尘颗粒直接进入真空设备，减少了杂质堆积，大大减缓减少真空设备的磨损速度，延长了真空设备的使用寿命；同时通过过滤粉尘保证真空设备本身以及润滑油不受污染减少维护设备维护费用，延长润滑油使用时间；既能有效的保证真空设备在铸锭漫长工艺运行过程不出故障，减少企业因设备故障造成的产品不良损失。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为现有技术的太阳能光伏行业使用的多晶铸锭设备的结构图；图2为本实用新型实施例多晶铸锭设备的真空系统的结构图；图3为本实用新型实施例具有冷却装置的多晶铸锭设备的真空系统的结构图；图4为本实用新型实施例多晶铸锭设备的真空系统的冷却装置的结构图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。如图2所示,本实施例的多晶铸锭设备的真空系统包括真空设备单元100、铸锭设备真空工艺单元200、过滤装置106、真空抽气主管道101、真空抽气工艺使用管道103、主管道真空阀102、工艺控制阀104和气动阀105 ;真空设备单元100和铸锭设备真空工艺单元200之间分别通过真空抽气主管道101和真空抽气工艺使用管道103相连通；真空抽气主管道101上设置有主管道真空阀102 ;真空抽气工艺使用管道103上设置有工艺控制阀104、气动阀105和过滤装置106 ;铸锭设备真空工艺单元200产生的气体通过真空抽气工艺使用管道103及过滤装置106、气动阀105和工艺控制阀104进入真空设备单元。该过滤装置具有高真空密封，耐高温且能够过滤50 μ m的固体颗粒。过滤装置106可采用索罗贝格过滤器。如图3所示，本实施例的多晶铸锭设备的真空系统包括真空设备单元100、铸锭设备真空工艺单元200、过滤装置106、真空抽气主管道101、真空抽气工艺使用管道103、主管道真空阀102、工艺控制阀104和气动阀105 ;真空设备单元100和铸锭设备真空工艺单元200之间分别通过真空抽气主管道101和真空抽气工艺使用管道103相连通；真空抽气主管道101上设置有主管道真空阀102 ;真空抽气工艺使用管道103上设置有工艺控制阀104、气动阀105和过滤装置106 ;多晶铸锭设备的真空系统还包括冷却装置107 ;冷却装置107设置在真空抽气工艺使用管道103上，铸锭设备真空工艺单元200产生的气体通过真空抽气工艺使用管道103及冷却装置107、过滤装置106、气动阀105和工艺控制阀104进入真空设备单元。在本实施例中，为了使过滤装置适应高温可增加真空抽气工艺使用管道103的气体管道长度，以增加气体冷却空间。如图4所示,本实施例的多晶铸锭设备的真空系统包括真空设备单元100、铸锭设备真空工艺单元200、过滤装置106、真空抽气主管道101、真空抽气工艺使用管道103、主管道真空阀102、工艺控制阀104和气动阀105 ;真空设备单元100和铸锭设备真空工艺单元200之间分别通过真空抽气主管道101和真空抽气工艺使用管道103相连通；真空抽气主管道101上设置有主管道真空阀102 ;真空抽气工艺使用管道103上设置有工艺控制阀104、气动阀105和过滤装置106 ;多晶铸锭设备的真空系统还包括冷却装置107 ;冷却装置107设置在真空抽气工艺使用管道103上，铸锭设备真空工艺单元200产生的气体通过真空抽气工艺使用管道103及冷却装置107、过滤装置106、气动阀105和工艺控制阀104进入真空设备单元。冷却装置107包括弯曲的管道；弯曲的管道串接在真空抽气工艺使用管道103中本实用新型的有益效果在于，避免了多晶铸锭设备在正常工艺运行时产生的粉尘颗粒直接进入真空设备，减少了杂质堆积，大大减缓减少真空设备的磨损速度，延长了真空设备的使用寿命；同时通过过滤粉尘保证真空设备本身以及润滑油不受污染减少维护设备维护费用，延长润滑油使用时间；既能有效的保证真空设备在铸锭漫长工艺运行过程不出故障，减少企业因设备故障造成的产品不良损失。本实用新型中应用了具体实施例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式
及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
权利要求1.一种多晶铸锭设备的真空系统，所述的系统包括真空设备单元和铸锭设备真空工艺单元，其特征是，所述的系统还包括过滤装置、真空抽气主管道、真空抽气工艺使用管道、主管道真空阀、工艺控制阀和气动阀； 所述的真空设备单元和铸锭设备真空工艺单元之间分别通过所述的真空抽气主管道和真空抽气工艺使用管道相连通； 所述的真空抽气主管道上设置有所述的主管道真空阀； 所述的真空抽气工艺使用管道上设置有所述的工艺控制阀、气动阀和所述的过滤装置； 所述的铸锭设备真空工艺单元产生的气体通过真空抽气工艺使用管道及所述的过滤装置、工艺控制阀和气动阀进入所述的真空设备单元。
2.根据权利要求I所述的多晶铸锭设备的真空系统，其特征是，所述的系统还包括冷却装置；所述的冷却装置设置在所述的真空抽气工艺使用管道上，所述的铸锭设备真空工艺单元产生的气体通过所述的真空抽气工艺使用管道及所述的冷却装置、过滤装置、工艺控制阀和气动阀进入所述的真空设备单元。
3.根据权利要求2所述的多晶铸锭设备的真空系统，其特征是，所述的冷却装置包括弯曲的管道；所述的弯曲的管道串接在所述的真空抽气工艺使用管道中。
专利摘要本实用新型为一种多晶铸锭设备的真空系统，该系统包括真空设备单元、铸锭设备真空工艺单元、过滤装置、真空抽气主管道、真空抽气工艺使用管道、主管道真空阀、工艺控制阀和气动阀；真空设备单元和铸锭设备真空工艺单元之间分别通过真空抽气主管道和真空抽气工艺使用管道相连通；真空抽气主管道上设置有主管道真空阀；真空抽气工艺使用管道上设置有工艺控制阀、气动阀和过滤装置；铸锭设备真空工艺单元产生的气体通过真空抽气工艺使用管道及过滤装置、工艺控制阀和气动阀进入真空设备单元。以解决铸锭设备真空工艺单元的磨损问题、润滑油的污染问题，以及因杂质堆积而形成的元部件启动卡死或关闭不严问题。
文档编号C30B29/06GK202360360SQ20112044147
公开日2012年8月1日 申请日期2011年11月9日 优先权日2011年11月9日
发明者胡立光 申请人:唐山海泰新能科技有限公司