专利名称：一种多晶硅锭制造装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及多晶硅领域，特别是涉及一种多晶硅锭制造装置。
背景技术：
最近，随着对太阳能电池的需求以每年百分之几十左右的速度增加，太阳能电池用多晶硅锭的需求也是年年大幅增加。一般而言。太阳能电池用多晶硅锭是在石英或石墨柑祸中填充硅原料之后通过熔融及定向凝固过程进行制造的。只是通过控制供应到加热器的电源来进行冷却时，从坩埚下部开始的冷却情况并不均衡，因此难以使晶体均匀地成长，并导致硅锭物理性质不均匀性。在没有有效的控制加热温度以及加热时间的情况下，同样也会使生产出的硅锭性能不佳。
实用新型内容本实用新型主要解决的技术问题是提供一种多晶硅锭制造装置，能够获得具有优良性能的多晶娃淀。为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是提供一种多晶硅锭制造装置，包括坩埚、支撑板、加热器、冷却板、隔热板、高纯石英玻璃层、温度传感器，所述坩埚固定在支撑板上，所述加热器设在坩埚周围，所述隔热板设在加热器周围，加热器内壁设有温度传感器，冷却板位于坩埚下部，高纯石英玻璃层设置在坩埚内壁。在本实用新型一个较佳实施例中，所述的多晶硅锭制造装置还包括一个自动控制装置，与所述温度传感器和加热器电性连接。在本实用新型一个较佳实施例中，所述冷却板内部设置有流体制冷剂。在本实用新型一个较佳实施例中，所述坩埚呈规则方形不透明立体结构。在本实用新型一个较佳实施例中，所述高纯石英玻璃层的厚度为2_4nm。本实用新型的有益效果是本实用新型多晶硅锭制造装置能有效的控制加热温度以及加热时间，显著提高多晶硅锭晶粒的定向性，生产出的硅锭性能较佳。
图I是本实用新型多晶硅锭制造装置一较佳实施例的立体结构示意图；附图中各部件的标记如下1、坩埚，2、支撑板，3、加热器，4、冷却板，5、隔热板，6、
高纯石英玻璃层，7、温度传感器。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。请参阅图I，本实用新型实施例包括[0014]一种多晶硅锭制造装置，包括坩埚I、支撑板2、加热器3、冷却板4、隔热板5、高纯石英玻璃层6、温度传感器7，所述坩埚I固定在支撑板2上，所述加热器3设在坩埚I周围，所述隔热板5设在加热器3周围，加热器3内壁设有温度传感器7，冷却板4位于坩埚下部，高纯石英玻璃层6设置在坩埚I内壁。所述的多晶硅锭制造装置还包括一个自动控制装置，与所述温度传感器7和加热器3电性连接，该自动控制装置能有效监控加热温度，加热时间并对其自动控制。所述冷却板4内部设置有流体制冷剂。使用冷却板4可以加快冷却速度而将冷却效率最大化。最终可以通过适当地调节冷却速度来使熔融硅凝固工艺最优化。 所述坩埚I呈规则方形不透明立体结构；所述高纯石英玻璃层6的厚度为2_4nm。这种设计外形美观，尺寸大、装载量大，生产效率高，显著节约电力成本。结晶出的产品具有优异的抗热震性能，安全性好，带来了可观的经济效益。本实用新型的有益效果是本实用新型多晶硅锭制造装置能有效的控制加热温度以及加热时间，显著提高多晶硅锭晶粒的定向性，生产出的硅锭性能较佳。以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
权利要求1.一种多晶硅锭制造装置，其特征在于包括坩埚(I)、支撑板(2)、加热器(3)、冷却板(4)、隔热板(5)、高纯石英玻璃层(6)、温度传感器(7)，所述坩埚(I)固定在支撑板(2)上，所述加热器(3)设在坩埚(I)周围，所述隔热板(5)设在加热器(3)周围，加热器(3)内壁设有温度传感器(7)，冷却板(4)位于坩埚下部，高纯石英玻璃层(6)设置在坩埚(I)内壁。
2.根据权利要求I所述的多晶硅锭制造装置，其特征在于所述的多晶硅锭制造装置还包括一个自动控制装置，与所述温度传感器(7)和加热器(3)电性连接。
3.根据权利要求I所述的多晶硅锭制造装置，其特征在于所述冷却板(4)内部设置有流体制冷剂。
4.根据权利要求I所述的多晶硅锭制造装置，其特征在于所述坩埚(I)呈规则方形不透明立体结构。
5.根据权利要求I所述的多晶硅锭制造装置，其特征在于所述高纯石英玻璃层(6)的厚度为2-4nm。
专利摘要本实用新型公开了一种多晶硅锭制造装置，包括坩埚、支撑板、加热器、冷却板、隔热板、高纯石英玻璃层、温度传感器，所述坩埚固定在支撑板上，所述加热器设在坩埚周围，所述隔热板设在加热器周围，加热器内壁设有温度传感器，冷却板位于坩埚下部，高纯石英玻璃层设置在坩埚内壁。本实用新型多晶硅锭制造装置能有效的控制加热温度以及加热时间，显著提高多晶硅锭晶粒的定向性，生产出的硅锭性能较佳。
文档编号C30B29/06GK202359234SQ20112046300
公开日2012年8月1日 申请日期2011年11月21日 优先权日2011年11月21日
发明者李川川 申请人:常州市万阳光伏有限公司