专利名称：一种用于拆、装单晶炉热场用装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于直拉单晶热场拆、装用设备技术领域，涉及ー种用于拆、装单晶炉热场用装置。
背景技术：
直拉法单晶硅制备エ艺中，对于热场的拆、装，均为纯人工操作，存在以下四点缺陷1)各个热场配件需要单独拆装，操作次数多，劳动强度大，容易因人员疏忽导致石墨件损坏，风险较大；2)对于拆热场，需要等待热场冷却到一定温度时，人员才能进行操作，冷却时间较长；3)对于装热场，因为全凭操作人员经验及肉眼观察，难以实现整体热场的良好对中，以致运行时热场温度不对称，可能导致拉制单晶失败。 发明内容本实用新型的目的是提供ー种用于拆、装单晶炉热场用装置，解决现有技术各个热场配件需要单独拆装，冷却时间较长，工作效率低，生产成本高的问题。本实用新型所采用的技术方案是，ー种用于拆、装单晶炉热场用装置，在圆环形エ装的主体上ロ内沿设置有止ロ，在圆环形エ装的主体下端沿圆周设置有多个滚轮，エ装的纵向两端之间沿外径设有凹槽，圆环形エ装的主体下端外沿长出上端外沿。本实用新型的有益效果是，I)通过吊装夹具搭靠在单晶炉炉筒或升降小车上，实现了机械拆装，降低了人员的劳动强度，从而避免因人为疏忽而导致的石墨件损坏；又因为热场保温罩全部安装在本实用新型エ装的止口上，吊装本エ装即可实现一次性将热场的整个保温罩全部取出，減少操作次数。2)使用机械方式拆出热场的保温罩部分，在高温下即可进行操作，而不需要等待热场冷却后再人工操作，故而可以节约热场冷却的时间，提高工作效率。3)凭借本实用新型エ装自身加工精度、单晶炉设备的良好对中以及滚轮的定位作用，保证了本实用新型与单晶炉设备下轴的良好对中，而热场保温罩均安装在此エ装之上，从而保证了热场保温罩与设备下轴的良好对中。
图I是本实用新型エ装的直径方向剖面图；图2是本实用新型エ装的俯视示意图；图3是本实用新型エ装与热场装配位置示意图；图4炉筒升起旋开后本实用新型エ装与热场装配位置示意图；图5是本实用新型エ装升起后与热场装配位置示意图。图中，I.止ロ，2.凹槽，3.滚轮，4.炉筒，5.保温罩，6.加热装置，7.エ装，8.吊装夹具。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型进行详细说明。如图I、图2，本实用新型的拆、装热场用エ装结构为，在圆环形エ装的主体上口内沿设置有止ロ 1，在圆环形エ装的主体下端沿圆周设置有多个滚轮3(图中显示四个，根据需要可以为3-6个或更多个，并沿圆周均匀分布)，圆环 形エ装的主体上、下端沿之间设置有凹槽2，圆环形エ装的主体下端外沿长出上端外沿。止ロ I用干与热场保温部分装配，实现热场保温部分以本エ装为“底座”的安装方式，是实现整体式拆出热场保温部分的先决条件。凹槽2为本エ装与吊装工具进行装配连接的位置空间，可利用吊装工具将该エ装及热场保温部分一起与升降小车进行连接。滚轮3用于与炉筒壁接触，起到在热场装配时的对中作用和热场被提升过程中的对中作用，防止本实用新型工具与炉筒直接接触而相互摩擦。本实用新型エ装使用在装配或拆除热场部件的工作流程是I)本实用新型的エ装7在使用时装配在热场底部，构成整个热场的“底座”，エ装7套装在炉筒4的下端内沿，热场的保温罩5下端装配在エ装7的止ロ I中，加热装置6位于保温罩5的内腔，见图3。2)升起炉筒4并旋出至热场范围之外，炉膛内仅剩余热场保温罩5、加热装置6和エ装7，见图4。3)吊装夹具8与本实用新型エ装7的凹槽2夹持后，连接到升降小车上，提升升降小车从而升起工装7，提出至炉膛之外。提升高度需要高于加热装置6的装配高度，即将エ装7上的保温罩5与加热装置6从纵向分开，见图5，即成。
权利要求1.ー种用于拆、装单晶炉热场用装置，其特征在干， 在圆环形エ装的主体上口内沿设置有止ロ(I)，在圆环形エ装的主体下端沿圆周设置有多个滚轮(3)，エ装的纵向两端之间沿外径设有凹槽(2)，圆环形エ装的主体下端外沿长出上端外沿。
2.根据权利要求I所述的用于拆、装单晶炉热场用装置，其特征在于，所述的滚轮(3)为至少3个。
专利摘要本实用新型公开了一种用于拆、装单晶炉热场用装置，在圆环形工装的主体上口内沿设置有止口，在圆环形工装的主体下端沿圆周设置有多个滚轮，工装的纵向两端之间沿外径设有凹槽，圆环形工装的主体下端外沿长出上端外沿。本实用新型工装，能够实现热场装配的良好对中；在直拉单晶炉用热场装配时，安装在热场底部可将热场部件与单晶炉炉底分隔开，并采用耐高温隔热材料，能够降低单晶炉功耗；因热场保温部分安装在本工装之上，利用升降小车及吊装工具，吊装本工装即可实现将热场保温部分整体拆出或装入，显著节约时间。
文档编号C30B15/14GK202429874SQ20112048337
公开日2012年9月12日 申请日期2011年11月29日 优先权日2011年11月29日
发明者刘贤, 周小渊, 白忠学, 陈斌, 陈立军 申请人:宁夏隆基硅材料有限公司, 无锡隆基硅材料有限公司, 西安隆基硅材料股份有限公司, 银川隆基硅材料有限公司