专利名称：一种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置。
背景技术：
蓝宝石Ci-Al2O3又称白宝石，具有良好的光学、机械、化学和电性能，被广泛应用于微波电子管介质、波导激光器腔体、精密轴承、红外军事装置、高强激光窗ロ材料和液晶显示投影仪的散热板等方面，同时蓝宝石可用作集成电路的衬底材料，应用于LED产业和微电子电路等方面，是高价镓良好的取代材料，应用于超高速集成电路的制作中。目前，蓝宝石主要的制备方法主要有泡生法、倒模法、热交换法、提拉法、火焰法和坩埚下降法等。泡生法所长晶体质量较好，尺寸较大，成本较低，适用于产业化，规模化的生产。我国在蓝宝石单晶的制备以及炉体的制作方面与先进国家还存在着较大的差距，炉体的机械部分还存在着较多的问题，如机械振动较大，提拉杆的抖动等问题。
实用新型内容本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足之处，提供ー种结构简单，能有效减少了机械泵的震动和机械泵震动传输对炉体的影响，从而使得炉体的震动减少，消除提拉杆的抖动的泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置。为了达到上述目的，本实用新型采用以下方案—种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在干包括有单晶炉和机械泵，在所述的单晶炉和机械泵之间设有波纹管，在所述的单晶炉的支撑脚底部和机械泵下面设有减震垫。如上所述的ー种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于所述的减震垫为橡胶减震垫。如上所述的ー种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于所述的减震垫的厚度为20mm。如上所述的ー种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于设置在所述的机械泵下面的减震垫的规格为600*350mm。如上所述的ー种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于设置在所述的单晶炉的支撑脚底部的减震垫规格为200*200mm。如上所述的ー种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于所述的单晶炉底部设有四个支撑脚，在每个支撑脚底部分别设有减震垫。如上所述的ー种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于所述的波纹管长度为1500mm。综上所述，本实用新型相对于现有技术其有益效果是I.有效减少了机械泵工作时的震动。[0016]2.有效减少了机械泵的震动向地面方向的传输。3.有效减少了机械泵的震动对单晶炉的影响。4.有效减少了单晶炉的震动。5.有效减少了单晶炉震动对提拉杆的影响。6.有效减少了提拉杆的抖动。 7、本实用新型结构简单，采用了通过在机械泵与单晶炉的下方增加橡胶减震垫的方法消除机械泵震动的传导和其对单晶炉炉体和提拉杆的影响，使得炉体和提拉杆在蓝宝石晶体的生长过程中不会发生震动，降低蓝宝石的生长过程中的风险。本实用新型成本低 廉，方法简单，易于推广。
图I为本实用新型的示意图。
具体实施方式
以下结合附图说明和具体实施方式
对本实用新型作进ー步描述如图I所示的一种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，包括有单晶炉I和机械泵2，在所述的单晶炉I和机械泵2之间设有波纹管3，在所述的单晶炉I的支撑脚底部和机械泵2下面设有减震垫4。本实用新型中所述的减震垫4为橡胶减震垫。所述的减震垫4的厚度为20mm。本实用新型中设置在所述的机械泵2下面的减震垫4的规格为600*350mm。设置在所述的单晶炉I的支撑脚底部的减震垫4规格为200*200mm。其中所述的单晶炉I底部设有四个支撑脚，在每个支撑脚底部分别设有减震垫4。本实用新型中所述的波纹管3长度为1500mm。机械泵2放置在厚度为20mm，600*350mm规格的橡胶减震垫4上面，蓝宝石单晶炉I的四个支脚分别放置在厚度为20mm，规格为200*200mm的橡胶减震垫4上面，蓝宝石单晶炉I通过长度为1500_的波纹管3与机械泵2连接起来，从而可以减少机械泵2震动对蓝宝石单晶炉I的影响，減少外界震动对单晶炉I的影响，对提拉杆的影响，降低蓝宝石的生长过程中的风险。
权利要求1.一种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于包括有单晶炉(I)和机械泵(2)，在所述的单晶炉⑴和机械泵(2)之间设有波纹管(3)，在所述的单晶炉(I)的支撑脚底部和机械泵(2)下面设有减震垫(4)。
2.根据权利要求I所述的ー种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于所述的减震垫(4)为橡胶减震垫。
3.根据权利要求I或2所述的ー种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于所述的减震垫(4)的厚度为20mm。
4.根据权利要求I或2所述的ー种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于设置在所述的机械泵(2)下面的减震垫(4)的规格为600*350mm。
5.根据权利要求I或2所述的ー种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于设置在所述的单晶炉(I)的支撑脚底部的减震垫(4)规格为200*200_。
6.根据权利要求I或2所述的ー种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于所述的单晶炉(I)底部设有四个支撑脚，在每个支撑脚底部分别设有减震垫⑷。
7.根据权利要求I或2所述的ー种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于所述的波纹管(3)长度为1500mm。
专利摘要本实用新型公开了一种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于包括有单晶炉和机械泵，在所述的单晶炉和机械泵之间设有波纹管，在所述的单晶炉的支撑脚底部和机械泵下面设有减震垫。本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足之处，提供一种结构简单，能有效减少了机械泵的震动和机械泵震动传输对炉体的影响，从而使得炉体的震动减少，消除提拉杆的抖动的泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置。
文档编号C30B29/20GK202430329SQ20112051282
公开日2012年9月12日 申请日期2011年12月9日 优先权日2011年12月9日
发明者吴焕逸, 成关勇, 翟剑庞, 黄镜蓁 申请人:中山兆龙光电科技有限公司