专利名称：多晶硅铸锭炉石墨坩埚的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉石墨坩埚，属于多晶硅生产设备技术领域。
背景技术：
多晶硅铸锭炉是生产太阳能电池片中硅片原料的设备，其包括用于放置硅料的石英坩埚以及用于保护石英坩埚的石墨坩埚。传统的石墨坩埚由底板以及放置在底板上的四块首尾相接的侧板组成，但是现有的石墨坩埚侧板上是没有孔的，因此其不能提供有效的散热，导致热场内散热速度很慢，影响到晶体的生成，会在晶体内部产生微晶，从而大大降低了多晶娃晶体的良品率。
发明内容本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种多晶硅铸锭炉石墨坩埚，其散热性能较好，能够有效提闻多晶娃晶体的良品率。本实用新型的目的是这样实现的一种多晶硅铸锭炉石墨坩埚，它包括底板，所述底板上设置有四块首尾相接的侧板，其特点是所述侧板顶部开设有两个或两个以上的通气槽。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是本实用新型一种多晶硅铸锭炉石墨坩埚，其侧板顶部开设有通气槽，有利于热场内冷却气体的流通，提高了热场内的散热速度，极大的改善了多晶硅结晶的质量，从而提高了多晶娃晶体的良品率。
图I为本实用新型一种多晶娃铸淀炉石墨J甘祸的结构不意图。图2为图I中侧板的结构示意图。其中底板I侧板2通气槽3。
具体实施方式
参见图I、图2，本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉石墨坩埚，它包括底板1，所述底板I上设置有四块首尾相接的侧板2，所述侧板2顶部开设有两个或两个以上的通气槽3。权利要求1.ー种多晶硅铸锭炉石墨坩埚，它包括底板(I)，所述底板(I)上设置有四块首尾相接的侧板(2)，其特征在于所述侧板(2)顶部开设有两个或两个以上的通气槽(3)。
专利摘要本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉石墨坩埚，属于多晶硅生产设备技术领域。它包括底板(1)，所述底板(1)上设置有四块首尾相接的侧板(2)，所述侧板(2)顶部开设有两个或两个以上的通气槽(3)。本实用新型一种多晶硅铸锭炉石墨坩埚，其侧板顶部开设有通气槽，有利于热场内冷却气体的流通，提高了热场内的散热速度，极大的改善了多晶硅结晶的质量，从而提高了多晶硅晶体的良品率。
文档编号C30B28/06GK202415744SQ201120539818
公开日2012年9月5日 申请日期2011年12月21日 优先权日2011年12月21日
发明者施宇峰, 査如德, 査建洪 申请人:江阴市华英光伏科技有限公司