专利名称：带电路的悬挂基板的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种带电路的悬挂基板，详细地讲是涉及一种硬盘驱动器所使用的带电路的悬挂基板。
背景技术：
以往，带电路的悬挂基板用于搭载安装有磁头的滑橇，该带电路的悬挂基板应用于硬盘驱动器。近年来提出了在该带电路的悬挂基板上搭载具有各种电子元件、具体地讲例如是压电元件的、用于精细地调节磁头的位置和角度的微型驱动器等。例如提出了一种这样的悬架:包括弯曲部和设置在该弯曲部的前端部的日文-字状的驱动器，驱动器包括固着于弯曲部的基部、自基部的两端伸出的一对臂构件、及设置在臂构件的侧面的压电元件(例如参照日本特开2002 - 74870号)。在日本特开2002 - 74870号中提出的悬架中，在一对臂构件的前端夹设有磁头滑橇，通过压电元件的伸缩使一对臂构件摆动，从而使磁头滑橇摆动。但是，压电元件相对于弯曲部另外制造，需要将作为与臂构件彼此独立的构件的压电元件设置于驱动器的工序。另外，日本特开2002 - 74870号中的压电元件又小又脆，因此其处理困难。
发明内容
本发明的目的在于提供一种包括简易地设置的驱动部、能够降低制造成本的带电路的悬挂基板。本发明的带电路的悬挂基板的特征在于，该带电路的悬挂基板包括:搭载部，其用于搭载滑橇；支承部，其用于支承上述搭载部的一端部；相对部，其以与上述搭载部隔开间隔的方式与上述搭载部相对；驱动部，其设置在上述搭载部与上述相对部之间；上述驱动部包括加热器和因上述加热器发热而热膨胀的膨胀部。另外，优选的是，在本发明的带电路的悬挂基板中，设有两个上述相对部，上述驱动部包括设置在一个上述相对部与上述搭载部之间的第I驱动部和设置在另一个上述相对部与上述搭载部之间的第2驱动部。另外，优选的是，本发明的带电路的悬挂基板包括用于选择性地使上述第I驱动部及上述第2驱动部中的任一个驱动部驱动的第I驱动电路。另外，优选的是，本发明的带电路的悬挂基板包括用于使上述第I驱动部及上述第2驱动部这两个驱动部驱动的第2驱动电路。另外，优选的是，在本发明的带电路的悬挂基板中，上述加热器形成为弯折状。在本发明的带电路的悬挂基板中，在向加热器中通入电流时，加热器发热。于是，膨胀部因加热器发热而热膨胀。因此，搭载部的另一端部以支承于支承部的一端部为支点地以与相对部分开的方式移动。S卩，在本发明的带电路的悬挂基板中，由于在带电路的悬挂基板中预先设有驱动部，因此，能够省略另外制造压电元件并设置该压电元件的工作，并能够精细地调节搭载于滑橇的磁头的位置及角度。结果，能够利用简易地设有驱动部且以较低的制造成本得到的带电路的悬挂基板精细地调节磁头的位置及角度。
图1是表示本发明的带电路的悬挂基板的一实施方式的俯视图。图2是表示图1所示的带电路的悬挂基板的悬架部的放大俯视图。图3是表示图2所示的悬架部的第I驱动部的放大仰视图。图4是表示图2所示的悬架部的A — A剖视图。图5是表示图4所示的带电路的悬挂基板的制造方法的工序图，图5的(a)表不准备金属支承基板的工序，图5的(b)表示形成基底绝缘层的工序，图5的(C)表示形成导体图案的工序，图5的(d)表示形成覆盖绝缘层的工序，图5的(e)表示形成狭缝的工序。图6是表示使载物台摆动时的俯视图。图7是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式的悬架部(驱动部设于载物台的后端部的形态)的俯视图。图8是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式的悬架部(驱动部设于载物台的前端部的形态)的俯视图。图9是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式的驱动部(加热器为俯视大致U字状的形态)的放大俯视图。图10是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式的驱动部(直线部在前后方向上并列配置的形态)的放大俯视图。图11是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式的驱动部(设有8个直线部的形态)的放大俯视图。图12是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式(膨胀部由金属支承基板及基底绝缘层形成的形态)的剖视图。图13是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式(膨胀部由金属支承基板形成的形态)的剖视图。图14是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式(加热器端子由第I加热器端子和第2加热器端子构成的形态)的俯视图。图15是使图14所示的悬架部的载物台摆动时的剖视图。图16是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式的第I驱动部(加热器由金属支承图案形成的形态)的放大俯视图。图17是图16所示的带电路的悬挂基板的剖视图。
图18是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式(加热器布线与信号布线一同形成为捆状的形态)的俯视图。图19是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式的悬架部(使连结部连结于后相对部的形态)的剖视图。图20是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式的悬架部(使连结部连结于悬臂部的形态)的俯视图。图21是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式的悬架部(使载物台直接支承于前相对部的形态)的俯视图。图22是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式的悬架部(使载物台直接支承于后相对部的形态)的俯视图。图23是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式的悬架部(使载物台直接支承于悬臂部的形态)的俯视图。图24是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式的悬架部(使载物台支承于兼作为支承部的驱动部的形态)的俯视图。
具体实施例方式图1是表示本发明的带电路的悬挂基板的一实施方式的俯视图，图2是表示图1所示的带电路的悬挂基板的悬架部的放大俯视图。图3是表示图2所示的悬架部的第I驱动部的放大仰视图，图4是表示图2所示的悬架部的A — A剖视图，图5是用于说明图4所示的带电路的悬挂基板的制造方法的工序图，图6是表示使载物台摆动时的俯视图。另外，在图1 图3中，为了明确地表不后述的金属支承基板3和导体图案4的相对配置而省略了后述的基底绝缘层28和覆盖绝缘层29的图示。在图1中，该带电路的悬挂基板I搭载于硬盘驱动器，用于搭载滑橇2 (图1中的假想线)，该滑橇2用于搭载磁头(未图示)。在该带电路的悬挂基板I中，在金属支承基板3上支承有导体图案4。金属支承基板3形成为与带电路的悬挂基板I的外形形状相对应的形状，形成为沿长度方向延伸的俯视大致矩形平带状，其包括成为一体的主体部5和形成在主体部5的前侧(长度方向一侧，下同)的悬架部6 (滑橇搭载部)。主体部5形成为俯视大致矩形形状。悬架部6自主体部5的前端向前侧延伸地形成。另外，在悬架部6中形成有沿厚度方向贯穿的、朝向前侧张开的俯视C字形状的狭缝7。悬架部6包括成为一体的下述各部分，即:被分隔在狭缝7的宽度方向(与长度方向正交的方向)外侧的作为相对部的一对悬臂部(侧相对部)8、被分隔在狭缝7的后侧的作为相对部的后相对部45、被分隔在狭缝7的前侧的作为相对部的前相对部46、及被划分在狭缝7的宽度方向内侧的舌部9。—对悬臂部8形成为自主体部5的前端部的宽度方向两端部向宽度方向外侧鼓出，之后，朝向前侧以直线状延伸。后相对部45在狭缝7的后侧，形成为与主体部5的前端部连续且沿宽度方向延伸的俯视大致矩形形状的区域。另外，后相对部45的宽度方向两端部与一对悬臂部8的后端部连续。前相对部46在狭缝7的前侧，形成为沿宽度方向延伸的俯视大致矩形形状的区域。另外，前相对部46的宽度方向两端部与一对悬臂部8的前端部连续。舌部9包括沿长度方向延伸的俯视大致矩形形状的作为搭载部的载物台11、及形成在载物台11的前侧的作为支承部的连结部12。载物台11在一对悬臂部8的宽度方向内侧、后相对部45的前侧、及前相对部46的后侧与一对悬臂部8、后相对部45及前相对部46隔开间隔地相对配置，而且载物台11的前端部支承于连结部12。另外，在载物台11的大致中央划分有用于搭载滑橇2 (假想线)的搭载区域13，并且，在载物台11的前端部形成有用于形成磁头侧端子16 (见后述)的端子形成区域35。端子形成区域35在搭载区域13的前侧，形成为沿宽度方向延伸的区域。连结部12形成在舌部9的前侧部分(前端部)，以向前后方向投影时包含在载物台11中的方式形成为沿宽度方向延伸的俯视大致矩形形状。即，连结部12在宽度方向上形成得小于载物台11。连结部12与载物台11的前端部的宽度方向中央部分和前相对部46的宽度方向中央部分连续，将这两部分连结起来。由此，连结部12支承载物台11的前端部，并且连结于相对部(前相对部46、悬臂部8和后相对部45)。导体图案4包括第I导体图案14和第2导体图案15。第I导体图案14包括成为一体的下述各部分，即:磁头侧端子16、外部侧端子17、用于连接磁头侧端子16和外部侧端子17的信号布线18。信号布线18在主体部5上沿着前后方向设有多根(6根),在宽度方向上互相隔开间隔地并列配置。各信号布线18配置成在自主体部5的前端部向两外侧凸出之后，在悬架部6的宽度方向两外侧沿着各悬臂部8向前后方向延伸,之后向宽度方向内侧弯曲。之后，各信号布线18在沿宽度方向横穿各悬臂部8和狭缝7的前端部之后到达连结部12，之后，在连结部12中向后方弯曲之后，到达端子形成区域35的磁头侧端子16的前端部。外部侧端子17配置在主体部5的后端部，以分别与各信号布线18的后端部相连接的方式设有多个(6个)。另外，该外部侧端子17在宽度方向及前后方向上互相隔开间隔地排列配置。磁头侧端子16在端子形成区域35，以分别各信号布线18的前端部相连接的方式设有多个(6个)。更具体地讲，各磁头侧端子16在宽度方向上互相隔开间隔地配置。第I导体图案14用于将自外部电路板(未图示)传送的写入信号经由外部侧端子17、信号布线18和磁头侧端子16输入到滑橇2的磁头(未图示)，并且，将由磁头读取的读出信号经由磁头侧端子16、信号布线18和外部侧端子17输入到外部电路板(未图示)。第2导体图案15形成为包括加热器端子19、加热器20、及用于连接加热器端子19和加热器20的加热器布线21的第I驱动电路。加热器端子19在主体部5，在外部侧端子17的前侧以在宽度方向上互相隔开间隔的方式排列配置有多个。具体地讲，加热器端子19包括第I加热器端子25、第2加热器端子26和第3加热器端子27。
加热器布线21在主体部5以在宽度方向上与信号布线18隔开间隔的方式配置，形成为沿前后方向延伸。具体地讲，加热器布线21与宽度方向内侧的两根信号布线18隔开间隔地配置在这两根信号布线18之间。加热器布线21包括在宽度方向上隔开间隔地配置的3根布线。具体地讲，加热器布线21包括配置在宽度方向一侧且与第I加热器端子25电连接的第I加热器布线22、配置在宽度方向另一侧且与第2加热器端子26电连接的第2加热器布线23、及配置在第I加热器布线22与第2加热器布线23之间、更具体地讲配置在宽度方向中央且与第3加热器端子27电连接的第3加热器布线24。加热器布线21在悬架部6配置成，自主体部5的前端部向宽度方向两侧斜前方延伸(一部分分支)而到达后相对部45的宽度方向两端部，接着，沿着一对悬臂部8延伸，在一对悬臂部8的前后方向中央部向宽度方向内侧弯曲，到达将在后面详细说明的驱动部30的加热器20。详细地讲，如图2所示，第I加热器布线22在悬架部6配置成，自主体部5的前端部向宽度方向一侧斜前方延伸而到达后相对部45的宽度方向一端部,接着,沿着一个悬臂部8延伸，在一个悬臂部8的前后方向中央部向宽度方向另一侧弯曲，到达加热器20的一端部31。另外，第2加热器布线23在悬架部6配置成，自主体部5的前端部向宽度方向另一侧斜前方延伸而到达后相对部45的宽度方向另一端部，接着，沿着另一个悬臂部8延伸，在另一个悬臂部8的前后方向中央部向宽度方向一侧弯曲，到达加热器20的一端部31。并且，第3加热器布线24配置成在主体部5的前端部分支成两根布线，第3加热器布线24的各布线在悬架部6分别向宽度方向外侧斜前方延伸而到达后相对部45的宽度方向两端部，在各悬臂部8，以分别在第I加热器布线22和第2加热器布线23的内侧与第I加热器布线22和第2加热器布线23分别隔开间隔的方式沿前后方向延伸，在各悬臂部8的前后方向中央部向宽度方向内侧弯曲，分别到达加热器20的另一端部32。另外，在第3加热器布线24中，自分支部起的后侧部分为干线38，自分支部起的前侧部分为两个分支线39。加热器20设置于后述的驱动部30，与加热器布线21电连接。另外，该带电路的悬挂基板I包括驱动部30。驱动部30设置在舌部9与悬臂部8之间。具体地讲，驱动部30以在宽度方向上夹着载物台11的方式设有两个，其包括第I驱动部36和第2驱动部37。第I驱动部36设置在载物台11的宽度方向一端部的前后方向中央部与宽度方向一侧的悬臂部8的宽度方向另一端部的前后方向中央部之间。第2驱动部37设置在载物台11的宽度方向另一端部的前后方向中央部与宽度方向另一侧的悬臂部8的宽度方向一端部的前后方向中央部之间。接着，参照图3及图4详细说明第I驱动部36。如图3所示，第I驱动部36形成为俯视大致矩形形状，其包括加热器20和膨胀部40。加热器20由蜿蜒布线(日文:S T >夕'配線)构成，其包括成为一体的弯折部41和连接部42。弯折部41形成为直线部43和折回部44交替连接的弯折状。直线部43在宽度方向上互相隔开间隔地并列配置有多个(4个)。在最靠宽度方向一侧的直线部43的后端部电连接有第I加热器布线22。在最靠宽度方向另一侧的直线部43的后端部电连接有接下来说明的连接部42。折回部44将在宽度方向上相邻的直线部43的前后方向两端部以连结位置在前侧和后侧交替的方式连结。连接部42连接于最靠宽度方向另一侧的直线部43的后端部，形成为沿着宽度方向延伸的直线状。在连接部42的宽度方向一端部(加热器20的另一端部32)电连接有第
3加热器布线24的宽度方向一侧的分支线39。加热器20例如由铜、镍、金、焊锡或者它们的合金等的导体材料等形成。优选由铜形成。加热器20的电阻高于加热器布线21的电阻，加热器20的电阻例如为0.01 Ω 200 Ω，优选为1 Ω 100Ω。加热器20的尺寸以电阻处于上述范围内的方式适当地设定。具体地讲，直线部43的宽度W1、折回部44的宽度W2、及连接部42的宽度W3例如为5 μ m 30 μ m，优选为
10μ m 20 μ m0 另外，各直线部43的长度LI例如为20 μ m 200 μ m,优选为50 μ m 100 μ m。各折回部44的长度L2例如为5 μ m 30 μ m，优选为10 μ m 20 μ m。连接部42的长度L3例如为30 μ m 400 μ m,优选为70 μ m 200 μ m。加热器20的厚度例如为0.03 μ m 50 μ m,优选为5 μ m 20 μ m。另外，加热器20的全长、即直线部43的长度LI的合计、折回部44的长度L2的合计及连接部42的长度L3的合计的总和例如为ΙΟΟμπ! 1200 μ m，优选为200 μ m 500 μ m。膨胀部40形成为与第I驱动部36的外形形状相同的形状，具体地讲形成为向厚度方向投影时包含加热器20的俯视大致矩形形状。膨胀部40以包覆加热器20的方式设置，具体地讲，如图4所示，包括金属支承基板3、形成在金属支承基板3之上且在其之上形成有加热器20的基底绝缘层28 (见后述)、及以包覆加热器20的方式形成在基底绝缘层28上的覆盖绝缘层29 (见后述)。形成膨胀部40中的金属支承基板3、基底绝缘层28和覆盖绝缘层29的材料以接下来说明的热膨胀系数处于目标范围内的方式选择。膨胀部40中的金属支承基板3、基底绝缘层28和覆盖绝缘层29的热膨胀系数被设定为，金属支承基板3、基底绝缘层28和覆盖绝缘层29的热膨胀系数之差的绝对值例如为1X10 —6 (IT1)以下，优选为0.5X10_6 (°C—O以下，具体地讲，膨胀部40中的金属支承基板3、基底绝缘层28和覆盖绝缘层29的热膨胀系数例如为5X 10_6 30X 10_6 ( V-0，优选为 10X10_6 20X10_6 rcr1)。膨胀部40的尺寸能根据用途及目的来适当地设定，如图3所示，宽度(宽度方向长度)W4例如为50μηι 300 μ m,优选为100 μ m 200 μ m,长度(前后方向长度)L4例如为50 μ m 400 μ m,优选为 60 μ m 200 μ m。
膨胀部40中的金属支承基板3的厚度例如为10 μ m 30 μ m,优选为15 μ m 25 μ m0膨胀部40中的基底绝缘层28的厚度例如为I μ m 50 μ m，优选为I μ m 10 μ m。膨胀部40中的覆盖绝缘层29的厚度例如为2 μ m 10 μ m，优选为3 μ m 6 μ m。第2驱动部37具有与第I驱动部36相同的构造，其配置为相对于沿前后方向通过载物台11的宽度方向中心的线与第I驱动部36对称。另外，如图4所示，该带电路的悬挂基板I包括金属支承基板3、形成在金属支承基板3之上的基底绝缘层28、形成在基底绝缘层28之上的导体图案4、及以包覆导体图案4的方式形成在基底绝缘层28之上的覆盖绝缘层29。金属支承基板3配置在包括主体部5 (参照图1)、悬架部6和驱动部30的整个范围内，例如由不锈钢、42合金、铝、铜一铍、磷青铜等金属材料(导体材料)形成。优选由不锈钢形成。主体部5及悬架部6中的金属支承基板3的厚度与膨胀部40中的金属支承基板3的厚度相同。基底绝缘层28配置在包括主体部5 (参照图1)、悬架部6和驱动部30的整个范围内，与要形成导体图案4的部分相对应地形成。另外，参照图2，基底绝缘层28在与信号布线18相对应的部分、悬架部6的悬臂部8的凸出部分、及横穿狭缝7的部分以其下表面自金属支承基板3露出的方式形成。另外，如图4所示，膨胀部40中的基底绝缘层28形成在金属支承基板3的整个上表面上。基底绝缘层28例如由聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、丙烯酸树脂、聚醚腈树月旨、聚醚砜树脂、聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂、聚氯乙烯树脂等合成树脂等绝缘材料形成。优选由聚酰亚胺树脂形成。主体部5及悬架部6中的基底绝缘层28的厚度与膨胀部40中的基底绝缘层28的厚度相同。主体部5及悬架部6中的导体图案4由与加热器20的导体材料同样的导体材料形成。主体部5及悬架部6中的导体图案4的厚度与加热器20的厚度相同。如图1所示，各信号布线18及各加热器布线21的宽度例如为加热器20的宽度的100% 2000%，优选为加热器20的宽度的200% 1000%，具体地讲，例如为10 μ m 200 μ m，优选为20μπι 100 μ m。另外，各信号布线18之间的间隔、及各加热器布线21之间的间隔例如为ΙΟμπι ΙΟΟΟμπι，优选为20μπι ΙΟΟμπι。另外，宽度方向内侧的信号布线18与宽度方向外侧的加热器布线21 (具体地讲是第I加热器布线22及第2加热器布线
23)之间的间隔例如为50μπι 10000 μ m，优选为IOOym-1OOOym0另外，各磁头侧端子16、各外部侧端子17及加热器端子19的宽度例如为20 μ m 1000 μ m,优选为30 μ m 800 μ m。另外,各磁头侧端子16之间的间隔、各外部侧端子17之间的间隔、各加热器端子19之间的间隔、外部侧端子17与加热器端子19之间的间隔例如为 20 μ m 1000 μ m,优选为 30 μ m 800 μ m。覆盖绝缘层29配置在包括主体部5、悬架部6和驱动部30的整个范围内。如图4所示，主体部5 (参照图1)及悬架部6中的覆盖绝缘层29以与形成有导体图案4的部分相对应的方式配置在基底绝缘层28之上。另外，驱动部30中的覆盖绝缘层29形成为与驱动部30的外形形状相对应的形状。更具体地讲，参照图1，覆盖绝缘层29以包覆信号布线18、加热器布线21和加热器20、使磁头侧端子16、外部侧端子17和加热器端子19露出的图案形成。覆盖绝缘层29由与基底绝缘层28的绝缘材料同样的绝缘材料形成。主体部5及悬架部6中的覆盖绝缘层29的厚度与驱动部30中的覆盖绝缘层29的厚度相同。接着，参照图5说明制造该带电路的悬挂基板I的方法。首先，在该方法中，如图5的(a)所示，准备平板状的金属支承基板3。然后，如图5的(b)所示，在金属 支承基板3上形成基底绝缘层28。例如在金属支承基板3上涂敷感光性的绝缘材料的清漆并使其干燥，之后，进行曝光、显影，进行加热固化，从而以上述图案形成基底绝缘层28。其中，在金属支承基板3的在之后的工序(参照图5的(e))中要形成狭缝7 (参照图2)的这一部分上也形成有基底绝缘层28。接着，如图5的(C)所示，利用添加法或者减去法(日语:寸7''卜9 ^ f 4 法)等图案形成法在基底绝缘层28上形成导体图案4。接着，如图5的(d)所示，在基底绝缘层28之上以包覆信号布线18、加热器布线21和加热器20的图案形成覆盖绝缘层29。具体地讲，在已形成有导体图案4的基底绝缘层28之上涂敷感光性的绝缘材料的清漆并使其干燥之后，进行曝光、显影，进行加热固化，从而以上述图案形成。接着，如图5的(e)所示，例如通过蚀刻等对金属支承基板3进行外形加工，并且在金属支承基板3上形成狭缝7 (参照图2)。由此，制造带电路的悬挂基板I。然后，将带电路的悬挂基板I安装于硬盘驱动器。在将带电路的悬挂基板I安装于硬盘驱动器的过程中，如图2及图4的假想线所示，在带电路的悬挂基板I的舌部9的载物台11的搭载区域13搭载用于安装磁头(未图示)的滑橇2，并且将磁头与磁头侧端子16电连接。另一方面，参照图1，将外部侧端子17与未图示的读写基板等外部电路板(未图示)电连接。并且，将加热器端子19与电源(未图示)连接。电源的一端连接于第3加热器端子27，电源的另一端连接于开关(未图示)，该开关能选择性地连接于第I加热器端子25或者第2加热器端子26。接着，参照图1及图6说明利用第I驱动部36的驱动使滑橇2摆动的情况。首先，在将开关连接于第I加热器端子25时，形成第I加热器端子25、第I加热器布线22、加热器20、一个分支线39、干线38及第3加热器端子27导通的第I电路，电流自电源流到第I加热器端子25。于是，第I驱动部36的加热器20发热，第I驱动部36的膨胀部40膨胀。如图6所示，具体地讲，膨胀部40在包含宽度方向(箭头)、前后方向及厚度方向(参照图4)的全部方向上膨胀。特别是，由于膨胀部40在宽度方向上膨胀，载物台11与宽度方向一侧的悬臂部8相对地分开。因此，如图6中箭头所示，载物台11以连结部12的后端部的宽度方向中央部为支点地朝向宽度方向另一侧摆动。随之，滑橇2朝向宽度方向另一侧摆动。另一方面，虽未图示，但若使第2驱动部37驱动而使对应的膨胀部40膨胀，则滑橇2向与上述方向相反的方向摆动。另外，在使第2驱动部37驱动时，参照图1，将开关连接于第2加热器端子26。于是，形成第2加热器端子26、第2加热器布线23、加热器20、另一个分支线39、干线38及第3加热器端子27导通的第2电路，电流自电源流到第2加热器端子26。因而，形成第I驱动电路的第2导体图案15通过基于电源开关的操作选择形成第I电路及第2电路，能够选择性地使第I驱动部36及第2驱动部37中的任一个驱动部驱动。因此，通过基于电源开关的操作选择形成第I电路及第2电路，能够适当地选择滑橇2的摆动方向。并且，如上所述，在该带电路的悬挂基板I的驱动部30中，向加热器20中通入电流时，加热器20发热。于是，膨胀部40利用加热器20的发热而热膨胀。因此，载物台11以连结部12的后端部的宽度方向中央部为支点地以与宽度方向一侧的悬臂部8分开或者与宽度方向另一侧的悬臂部8分开的方式摆动。即，在该带电路的悬挂基板I中，由于在带电路的悬挂基板I中预先设有驱动部30，因此，能够省略另外制造压电元件并设置该压电元件的工作，并且能够精细地调节搭载于滑橇2的磁头的位置及角度。特别是，在该实施方式中，构成驱动部30的膨胀部40的金属支承基板3与构成带电路的悬挂基板I的金属支承基板3为同一金属支承基板，在制造时能在同一工序中形成；构成驱动部30的膨胀部40的基底绝缘层28与构成带电路的悬挂基板I的基底绝缘层28为同一基底绝缘层，在制造时能在同一工序中形成；构成驱动部30的膨胀部40的覆盖绝缘层29与构成带电路的悬挂基板I的覆盖绝缘层29为同一覆盖绝缘层，在制造时能在同一工序中形成。另外，包含加热器20的第2导体图案15和带电路的悬挂基板I的第I导体图案14是相同的导体图案4，在制造时能在同一工序中形成。结果，利用简易地设有驱动部30且以较低的制造成本得到的带电路的悬挂基板1，能够精细地调节磁头的位置及角度。图7是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式的悬架部(驱动部设于载物台的后端部的形态)的俯视图，图8是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式的悬架部(驱动部设于载物台的前端部的形态)的俯视图，图9是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式的驱动部(加热器为俯视大致U字状的形态)的放大俯视图，图10是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式的驱动部(直线部在前后方向上并列配置的形态)的放大俯视图，图11是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式的驱动部(设有8个直线部的形态)的放大俯视图，图12是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式(膨胀部由金属支承基板及基底绝缘层形成的形态)的剖视图，图13是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式(膨胀部由金属支承基板形成的形态)的剖视图，图14是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式(加热器端子由第I加热器端子和第2加热器端子构成的形态)的俯视图，图15是使图14所示的悬架部的载物台摆动时的剖视图，图16是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式的第I驱动部(加热器由金属支承图案形成的形态)的放大俯视图，图17是图16所示的带电路的悬挂基板的剖视图，图18是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式(加热器布线与信号布线一同形成为捆状的形态)的俯视图，图19是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式的悬架部(使连结部连结于后相对部的形态)的剖视图，图20是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式的悬架部(使连结部连结于悬臂部的形态)的俯视图，图21是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式的悬架部(使载物台直接支承于前相对部的形态)的俯视图，图22是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式的悬架部(使载物台直接支承于后相对部的形态)的俯视图，图23是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式的悬架部(使载物台直接支承于悬臂部的形态)的俯视图，图24是表示本发明的带电路的悬挂基板的另一实施方式的悬架部(使载物台支承于兼作为支承部的驱动部的形态)的俯视图。另外，在之后的各附图中对与上述各构件相对应的构件标注相同的参照附图标记，省略其详细的说明。在图2的实施方式中，驱动部30以从宽度方向两侧夹着载物台11的方式设置，但例如也可以如图7或者图8所示那样将驱动部30并列设置在载物台11的后端部或者前端部。如图7所示，驱动部30以在前后方向上横穿狭缝7的方式形成在载物台11的宽度方向两端部的后端部与后相对部45之间。加热器布线21在悬架部6配置成，自主体部5的前端部向宽度方向两侧斜前方延伸，一部分的加热器布线21分支，到达后相对部45的宽度方向两端部，接着到达狭缝7的后端部的宽度方向两端部，之后向宽度方向内侧弯曲而到达加热器20。在图7的实施方式中，通过第I驱动部36的驱动，载物台11的后端部的宽度方向一端部向前侧移动，并且，载物台11的后端部的宽度方向另一端部如箭头所示地向宽度方向另一侧摆动。另一方面，在图8中，驱动部30以在前后方向上横穿狭缝7的方式形成在载物台11的宽度方向两端部的前端部与前相对部46之间。另外，驱动部30与连结部12隔开间隔地配置在连结部12的宽度方向两侧。信号布线18配置成，在自主体部5的前端部向两外侧凸出之后，在悬架部6的宽度方向两外侧沿一对悬臂部8地在前后方向上延伸，之后向宽度方向内侧弯曲，沿着前相对部46向宽度方向内侧行进。之后，信号布线18沿前相对部46向宽度方向内侧行进，自前相对部46的宽度方向中央部向后方弯曲，之后，经过连结部12而到达磁头侧端子16的前端部。加热器布线21在悬架部6配置成，自主体部5的前端部向宽度方向两侧斜前方延伸(一部分的加热器布线21分支)，到达后相对部45的宽度方向两端部，接着沿着一对悬臂部8前进，到达前相对部46的宽度方向两端部，接着向宽度方向内侧弯曲，沿宽度方向横穿狭缝7之后到达加热器20。在图8的实施方式中，通过第I驱动部36的驱动，载物台11的前端部的宽度方向一端部向后侧移动，并且，载物台11的后端部的宽度方向另一端部向宽度方向另一侧摆动。优选像图2的实施方式那样将两个驱动部30以从宽度方向两侧夹着载物台11的
方式设置。在图2的实施方式中，与图7及图8的实施方式相比，能够可靠且精确地实施载物台11的在宽度方向上的摆动操作。另外，在图3的实施方式中，在加热器20中设有弯折部41，但例如也可以如图9所示那样形成为包括两个直线部43和I个折回部44的俯视大致U字状(长号式布线(日文:
卜口 >术一>配線))。优选如图3的实施方式所示那样在加热器20中设置弯折部41。由此，能够根据目标范围可靠地设定加热器20的全长及电阻。另外，在图3的实施方式中，将直线部43在宽度方向上并列配置，但并列方向并没有特别的限定，例如也可以图10所示那样将直线部43在前后方向上并列配置。优选像图3的实施方式那样，将直线部43在宽度方向上并列配置。与图10的实施方式相比，图3的实施方式能够使膨胀部40沿着宽度方向高效地热膨胀。另外，在图3的实施方式中，设有4个直线部43，但其数量只要是3个以上，就没有特别的限定，例如也可以如图11所示那样设有8个。另外，在图4的实施方式中，由金属支承基板3、基底绝缘层28和覆盖绝缘层29形成膨胀部40，但例如可以由金属支承基板3、基底绝缘层28和覆盖绝缘层29这三层中的至少I层形成膨胀部40。具体地讲，可以如图12所示那样由金属支承基板3和基底绝缘层28形成膨胀部40，还可以如图13所示那样由金属支承基板3形成膨胀部40。采用图12及图13的实施方式，也能够起到与图4的实施方式同样的作用效果。另外，在图1的实施方式中，加热器端子19由第I加热器端子25、第2加热器端子26和第3加热器端子27 (3个加热器端子19)形成，但加热器端子19例如也可以如图14所示那样由第I加热器端子25和第2加热器端子26 (两个加热器端子19)形成。在图14中，第3加热器布线24将一侧的加热器20的另一端部32和另一侧的加热器20的另一端部32电连接。具体地讲，第3加热器布线24配置成，沿着后相对部45在宽度方向上延伸，在后相对部45的宽度方向两端部向前侧弯曲之后，沿着各悬臂部8延伸，在各悬臂部8的前后方向中央部向宽度方向内侧弯曲而到达两侧的加热器20的另一端部32。由此，在导体图案15中形成第I加热器端子25、第I加热器布线22、一个加热器20、第3加热器布线24、另一个加热器20、第2加热器布线23和第2加热器端子26导通的第2驱动电路。在图14的实施方式中，通过向第2驱动电路中通入电流，第I驱动部36和第2驱动部37这两者的膨胀部40热膨胀。于是，载物台11从宽度方向两侧被按压(压迫)，因此，为了放出按压力，例如图15所示，载物台11变形为向上侧突出的弯曲状。因此，在载物台11的搭载区域13的上表面搭载的滑橇2以连结部12的后端部的宽度方向中央部为支点地向上侧摆动。
另外，在图3及图4的实施方式中，以第2导体图案15形成加热器20，但例如也可以如图16及图17所示那样以金属支承图案47形成加热器20。如图16及图17所示，在第I驱动部36的中央，在金属支承基板3中形成有沿厚度方向贯通的支承开口部48。支承开口部48形成为比第I驱动部36稍小的仰视大致矩形形状。金属支承图案47设置在支承开口部48内，在向厚度方向投影时形成为与图3中的加热器20相同的形状。在基底绝缘层28的与金属支承图案47的宽度方向一端部相对应的部分形成有沿厚度方向贯穿的基底开口部49。在基底开口部49中填充有加热器布线22 (第I加热器布线22和第3加热器布线
24)的端部，该加热器布线22 (第I加热器布线22和第3加热器布线24)的端部连接于金属支承图案47的两端部。另外，膨胀部40包括基底绝缘层28和覆盖绝缘层29。图16的实施方式能够起到与图10的实施方式同样的作用效果。另外，也可以如图18所示那样将加热器布线21与信号布线18配置成捆状。加热器布线21配置成，在自主体部5的前端部向两外侧凸出之后，沿着悬架部6的宽度方向两外侧、即信号布线18与一对悬臂部8 一同沿前后方向延伸,之后向宽度方向内侧弯曲，之后到达驱动部30的加热器20。利用图18的实施方式，也能够起到与图14的实施方式同样的作用效果。另外，在图2的实施方式中，使连结部12连结于前相对部46，但例如也可以如图19所示那样使连结部12连结于后相对部45，还可以如图20所示那样使连结部12连结于一个悬臂部8。图19及图20的实施方式能够起到与图2的实施方式同样的作用效果。并且，在图2的实施方式中，借助连结部12将载物台11支承于前相对部46，但例如也可以图21所示那样不设置连结部12而是使载物台11直接支承于前相对部46。利用图21的实施方式，也能够起到与图2的实施方式同样的作用效果。另外，在图19的实施方式中，借助连结部12使载物台11支承于后相对部45，但例如也可以如图22所示那样不设置连结部12而是使载物台11直接支承于后相对部45。利用图22的实施方式，也能够起到与图19的实施方式同样的作用效果。另外，在图20的实施方式中，借助连结部12使载物台11支承于一个悬臂部8，但例如也可以如图23所示那样不设置连结部12而是使载物台11直接支承于一个悬臂部8。利用图23的实施方式，也能够起到与图20的实施方式同样的作用效果。并且，在图2的实施方式中，利用连结部12使载物台11支承于前相对部46，但例如也可以如图24所示那样利用驱动部30使载物台11支承于一对悬臂部8。在图24中，驱动部30兼作为支承部。利用图24的实施方式，也能够起到与图2的实施方式同样的作用效果。另外，上述说明是作为本发明的例示实施方式而提供的，其仅是示例，不应该理解为用于限定本发明。对与本技术领域技术人员而言，显而易见的本发明的变形例包含在本发明的权利要求书中。
权利要求
1.一种带电路的悬挂基板，其特征在于， 该带电路的悬挂基板包括: 搭载部，其用于搭载滑橇； 支承部，其用于支承上述搭载部的一端部； 相对部，其以与上述搭载部隔开间隔的方式与上述搭载部相对； 驱动部，其设置在上述搭载部与上述相对部之间； 上述驱动部包括加热器和因上述加热器发热而热膨胀的膨胀部。
2.根据权利要求1所述的带电路的悬挂基板，其特征在于， 设有两个上述相对部； 上述驱动部包括设置在一个上述相对部与上述搭载部之间的第I驱动部和设置在另一个上述相对部与上述搭载部之间的第2驱动部。
3.根据权利要求2所述的带电路的悬挂基板，其特征在于， 该带电路的悬挂基板包括用于选择性地使上述第I驱动部及上述第2驱动部中的任一个驱动部驱动的第I驱动电路。
4.根据权利要求2所述的带电路的悬挂基板，其特征在于， 该带电路的悬挂基板包括用于使上述第I驱动部及上述第2驱动部这两个驱动部驱动的第2驱动电路。
5.根据权利要求1所述的带电路的悬挂基板，其特征在于， 上述加热器形成为弯折状。
全文摘要
本发明提供一种带电路的悬挂基板，该带电路的悬挂基板包括搭载部，其用于搭载滑橇；支承部，其用于支承搭载部的一端部；相对部，其以与上述搭载部隔开间隔的方式与上述搭载部相对；驱动部，其设置在搭载部与相对部之间。驱动部包括加热器和因加热器发热而热膨胀的膨胀部。
文档编号H05K1/11GK103187073SQ201210586828
公开日2013年7月3日 申请日期2012年12月28日 优先权日2011年12月28日
发明者樋口直孝, 金川仁纪, 大泽彻也, 山内大辅 申请人:日东电工株式会社