专利名称：单晶炉水冷套结构的制作方法
技术领域：
本实用新型单晶炉水冷套结构属于冶炼系统单晶炉冶炼装置，特别涉及单晶炉冶炼水冷套结构。
背景技术：
冶金行业单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料，单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料；在硅单晶拉制过程中，使用水冷套，可以加速晶棒的冷却，提高晶棒的成长时间，提高拉晶效率，目前使用的水冷套一般采用焊接固定在炉盖上，结构不灵活，冷却效果差，晶棒不容易被冷却。 发明内容有鉴于此，有必要提供一种冷却效果好、成棒效率高的新结构单晶炉水冷套结构。本实用新型单晶炉水冷套结构，含有籽晶绳、炉盖、晶棒、硅液、石英坩埚和石墨热场，其特征在于水冷套由法兰、接管、外筒和内筒组成；水冷套由法兰、接管和外筒组焊制成，法兰制成中空腔体法兰，下平面焊接接管，接管为通管，上端连接法兰腔体，下端连接由外筒和内筒同轴心组焊成的空腔，安装在炉盖上端中心部位；籽晶绳上端安装在提拉装置内，下端连接晶棒顶端，晶棒在水冷套内降温，炉盖为水冷焊接件；晶棒为拉制过程中产生；硅液为高温硅熔体，盛在石英坩埚内；石英坩埚放在石墨热场内；籽晶绳由耐高温抗拉强度大的钨丝制成，炉盖由不锈钢材料组焊制成。作业时，提拉装置带动籽晶绳上升，在籽晶绳的带动下，晶棒上升，晶棒的下端与硅液因温度差的缘故，开始结晶，在水冷套的作用下，先进入的部分晶棒冷却加剧，可减少停炉后晶棒冷却时间。本实用新型单晶炉水冷套结构有益效果提高成棒效率，快捷、方便，降低能耗，提闻广品的广率。
附图是本实用新型单晶炉水冷套结构的结构示意图。图中籽晶绳I、炉盖3、晶棒4、硅液5、石英坩埚6、石墨热场10、法兰2、接管7、外筒8、内筒9。
具体实施方式
本实用新型单晶炉水冷套结构，含有籽晶绳I、炉盖3、晶棒4、硅液5、石英坩埚6和石墨热场10，其特征在于水冷套由法兰2、接管7、外筒8和内筒9组成；水冷套由法兰2、接管7、外筒8和内筒9组焊制成，法兰2制成中空腔体法兰，下平面焊接接管7，接管7为通管，上端连接法兰7腔体，下端连接由外筒8和内筒9同轴心组焊成的空腔，安装在炉盖3上端中心部位；籽晶绳I上端安装在提拉装置内，下端连接晶棒4顶端，晶棒4在水冷套内降温，炉盖3为水冷焊接件；晶棒4为拉制过程中产生；硅液5为高温硅熔体，盛在石英坩埚6内；石英坩埚6放在石墨热场10内；籽晶绳I由耐高温抗拉强度大的钨丝制成，炉盖3由不锈钢材料组焊制成 。
权利要求1.单晶炉水冷套结构，含有籽晶绳(I)、炉盖(3)、晶棒(4 )、硅液(5 )、石英坩埚(6 )和石墨热场(10)，其特征在于水冷套由法兰(2)、接管(7)、外筒(8)和内筒(9)组成；水冷套由法兰(2)、接管(7)、外筒(8)和内筒(9)组焊制成，法兰(2)制成中空腔体法兰，下平面焊接接管(7)，接管(7)为通管，上端连接法兰(2)腔体，下端连接由外筒(8)和内筒(9)同轴心组焊成的空腔，安装在炉盖(3)上端中心部位；籽晶绳(I)上端安装在提拉装置内，下端连接晶棒(4)顶端，晶棒(4)在水冷套内降温，炉盖(3)为水冷焊接件；晶棒(4)为拉制过程中产生；硅液(5)为高温硅熔体，盛在石英坩埚(6)内；石英坩埚(6)放在石墨热场(10)内。
2.根据权利要求I所述单晶炉水冷套结构，其特征在于籽晶绳(I)由耐高温抗拉强度大的钨丝制成。
3.根据权利要求I所述单晶炉水冷套结构，其特征在于炉盖(3)由不锈钢材料组焊制成。
专利摘要单晶炉水冷套结构属于冶炼系统单晶炉冶炼装置，特别涉及单晶炉冶炼水冷套结构；水冷套由法兰、接管和外筒组焊制成，法兰制成中空腔体法兰，下平面焊接接管，接管为通管，上端连接法兰腔体，下端连接由外筒和内筒同轴心组焊成的空腔，安装在炉盖上端中心部位；有益效果提高成棒效率，快捷、方便，降低能耗，提高产品的产率。
文档编号C30B15/00GK202643884SQ20122006207
公开日2013年1月2日 申请日期2012年2月24日 优先权日2012年2月24日
发明者吴学军, 周凯平 申请人:宁夏日晶新能源装备股份有限公司