专利名称：一种采用磁流体密封的蓝宝石单晶生产装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种蓝宝石生产装置，具体涉及一种采用磁流体密封的蓝宝石单晶生产装置。
背景技术：
当前的蓝宝石单晶生产装置中，单晶炉与籽晶杆之间的密封式采用0形圈密封，所述0形圈在旋转时容易磨损，进而造成整个真空腔室真空度达不到工艺要求值，直接影响了产品的质量，且当所述0型圈老化后容易漏水，对生产带来极大的不便。此外，所述籽晶杆在旋转过程中与所述0形圈摩擦产生大量热量，使所述0形圈易变形，进而，进一步降低密封性能。
实用新型内容针对现有技术存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种采用磁流体密封的蓝宝石单晶生产装置，密封性好且不存在过热问题。本实用新型提供的一种采用磁流体密封的蓝宝石单晶生产装置，其包括机架、驱动装置、传动装置、工作机构、操作机构，其中，所述工作机构包括单晶炉与籽晶杆，所述单晶炉与所述籽晶杆之间采用磁流体装置密封，且所述磁流体密封装置于所述籽晶杆的外围形成多个磁流体密封圈，进一步包括水冷系统靠近所述磁流体密封圈设置。基于以上技术方案的公开，本实用新型具备如下有益效果于本实用新型提供的采用磁流体密封的蓝宝石单晶生产装置中，所述单晶炉与所述籽晶杆之间采用磁流体装置密封，且所述磁流体密封装置于所述籽晶杆的外围形成多个磁流体密封圈，由于磁流体密封装置轴跳动只有0. 002mm,因而，所述单晶炉的密封性好，进而，生产出的蓝宝石单晶各个方向的晶格排列非常整齐、规则，从而大大提高了蓝宝石晶片的物理和化学性能，此外，所述采用磁流体密封的蓝宝石单晶生产装置进一步包括水冷系统靠近所述磁流体密封圈设置，因而，所述磁流体密封圈和所述籽晶杆之间不存在过热问题，进而不易磨损使用寿命好，且可以进一步保障所述单晶炉与所述籽晶杆之间密封的稳定性。
图1是本实用新型提供的采用磁流体密封的蓝宝石单晶生产装置的结构示意图；图2为图1沿A-A面的剖视示意图；图3为图2局部放大图。附图标号说明采用磁流体密封的蓝宝石单晶生产装置100机架I驱动装置2[0015]工作机构3单晶炉31籽晶杆32操作机构4磁流体密封装置5磁流体密封圈51水冷系统具体实施方式
以下结合附图并通过具体实施方式
来进一步说明本实用新型的技术方案针对现有技术存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种采用磁流体密封的蓝宝石单晶生产装置100，密封性好且不存在过热问题。请参阅图1至图3，本实用新型提供的一种采用磁流体密封的蓝宝石单晶生产装置100，其包括机架1、驱动装置2 (可为各种电机)、传动装置(未图示)、工作机构3、操作机构4，其中，所述工作 机构3包括单晶炉31与籽晶杆32，所述单晶炉31与所述籽晶杆32之间采用磁流体装置密封，且所述磁流体密封装置5于所述籽晶杆32的外围形成多个磁流体密封圈51，进一步包括水冷系统6靠近所述磁流体密封圈51设置。基于以上技术方案的公开，本实用新型具备如下有益效果于本实用新型提供的采用磁流体密封的蓝宝石单晶生产装置100中，所述单晶炉31与所述籽晶杆32之间采用磁流体装置密封，且所述磁流体密封装置5于所述籽晶杆32的外围形成多个磁流体密封圈51，由于磁流体密封装置5轴跳动只有O. 002mm,因而，所述单晶炉31的密封性好，进而，生产出的蓝宝石单晶各个方向的晶格排列非常整齐、规则，从而大大提高了蓝宝石晶片的物理和化学性能，此外，所述采用磁流体密封的蓝宝石单晶生产装置100进一步包括水冷系统6靠近所述磁流体密封圈51设置，因而，所述磁流体密封圈51和所述籽晶杆32之间不存在过热问题，进而不易磨损使用寿命好，且可以进一步保障所述单晶炉31与所述籽晶杆32之间密封的稳定性。上面结合附图对本实用新型进行了示例性的描述，显然本实用新型的实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种改进，或未经改进将本实用新型的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本实用新型的保护范围内。
权利要求1.一种采用磁流体密封的蓝宝石单晶生产装置，其包括机架、驱动装置、传动装置、工作机构、操作机构，其中，所述工作机构包括单晶炉与籽晶杆，其特征在于，所述单晶炉与所述籽晶杆之间采用磁流体装置密封，且所述磁流体密封装置于所述籽晶杆的外围形成多个磁流体密封圈，进一步包括水冷系统靠近所述磁流体密封圈设置。
专利摘要本实用新型公开的一种采用磁流体密封的蓝宝石单晶生产装置，其包括机架、驱动装置、传动装置、工作机构、操作机构，其中，所述工作机构包括单晶炉与籽晶杆，所述单晶炉与所述籽晶杆之间采用磁流体装置密封，且所述磁流体密封装置于所述籽晶杆的外围形成多个磁流体密封圈，进一步包括水冷系统靠近所述磁流体密封圈设置；由于磁流体密封装置轴跳动只有0.002mm，因而，所述单晶炉的密封性好，进而，生产出的蓝宝石单晶物理和化学性能好，此外，因设有所述水冷系统，所以，所述磁流体密封圈和所述籽晶杆之间不存在过热问题，进而不易磨损使用寿命好，且可以进一步保障所述单晶炉与所述籽晶杆之间密封的稳定性。
文档编号C30B29/20GK202865395SQ20122052415
公开日2013年4月10日 申请日期2012年10月12日 优先权日2012年10月12日
发明者胡夏炎, 黄湘伟, 蔡双, 王卓彬 申请人:湖南立晶科技有限责任公司