一种具有防护板的直拉单晶炉下保温盖的制作方法
【专利摘要】本实用新型提出一种具有防护板的直拉单晶炉下保温盖，其特征在于：包括下保温盖和炭炭复合材料防护板，所述防护板和下保温盖之间使用紧固件连接。本实用新型通过炭炭复合材料制作的防护板的阻挡，减少了下保温盖受到的气流冲击和热辐射，从而延长其使用寿命，并减少石墨保温盖的崩边、断裂对拉晶的影响。
【专利说明】一种具有防护板的直拉单晶炉下保温盖
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及石墨应用【技术领域】，特别是涉及一种具有防护板的直拉单晶炉下
保温盖。
【背景技术】
[0002]石墨由于具有较好的化学稳定性、加工性、纯度、耐热性等，广泛应用于直拉单晶炉热场。
[0003]现有的直拉单晶炉热场上部区域的剖面示意图如图1所示，其中保温盖I采用石墨材料制成。在拉晶过程中，热场上部会吹入冷却的氩气，而热场中部区域则会产生较高的热福射及大量的娃蒸气等气体。这样下保温盖I的下表面温度就会相对较高，与娃蒸气发生反应，造成自身氧化。另外，因放置于下保温盖I内沿上表面的导流筒在拉晶过程中的熔化阶段会吊起，导致下保温盖I上表面处于裸露状态，受到氩气的直接冲刷，温度较低，这样，下保温盖内沿的上下表面会有较大的温差，加上因氧化造成自身性能的降低，容易发生崩边现象，甚至会发生断裂。更为严重的是，下保温盖发生崩边或断裂的残片，会掉落入热场中部区域的硅中，引起污染，导致拉晶的生产无法正常进行，或者生产出晶棒品质不合格。
实用新型内容
[0004]本实用新型针对现有技术中存在的问题，提出一种具有防护板的直拉单晶炉下保温盖。
[0005]本实用新型提出一种具有防护板的直拉单晶炉下保温盖，其特征在于:包括下保温盖和炭炭复合材料防护板，所述防护板和下保温盖之间使用紧固件连接。
[0006]较优地，所述防护板的厚度为l-10mm。
[0007]较优地，所述防护板由2-20块拼接而成。
[0008]较优地，所述防护板内径比下保温盖内径小0_20mm。
[0009]本实用新型提出的具有防护板的直拉单晶炉下保温盖，防护板阻挡了来自热场中部区域的硅蒸气等气体，从而减小了石墨下保温盖发生氧化的速度。同时，防护板阻挡了来自热场中部的热辐射，降低了石墨下保温盖下表面的温度，减小了下保温盖下表面与上表面的温差，这样，就大大延长了下保温盖的使用寿命。另外，即使在下保温盖使用到寿命结束时，因防护板自身一般不易断裂，下保温盖崩边或断裂产生的残片也一般会被防护板挡住，不容易掉落至热场中部，因此减小对拉晶生产的影响。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]关于本实用新型的优点与精神可以通过以下的实用新型详述及所附图式得到进一步的了解。
[0011]图1为现有直拉单晶炉下保温盖结构示意图；[0012]图2为本实用新型具有防护板的直拉单晶炉下保温盖第一实施例结构示意图；
[0013]图3为本实用新型具有防护板的直拉单晶炉下保温盖第二实施例结构示意图。
【具体实施方式】
[0014]下面结合附图详细说明本实用新型的具体实施例。
[0015]实施例1
[0016]如图2所示，在本实用新型的一个优选实施例中，石墨下保温盖I的下表面贴有圆环形的炭炭复合材料制作的防护板2，防护板2的厚度为6mm，防护板2的内径较下保温盖I的内径小15mm。防护板2与下保温盖I之间通过螺栓3紧固连接，使其紧贴于下保温盖I的下表面。
[0017]本实施例较好的解决在实际中遇到的下保温盖崩边和断裂问题，提高了下保温盖的使用寿命，减少石墨保温盖的崩边、断裂对拉晶的影响。
[0018]实施例2
[0019]如图3所示，在本实用新型的另一个优选实施例中，石墨下保温盖I的下表面贴有圆环形的炭炭复合材料制作的防护板2，防护板2的厚度为2_，防护板2的内径较下保温盖I的内径小10_。防护板2采用4段拼接组合的方式制成，每段均通过螺栓3与下保温盖I进行紧固连接，使其紧贴于下保温盖I的下表面。
[0020]本实施例不仅较好的解决在实际中遇到的下保温盖崩边和断裂问题，提高了下保温盖的使用寿命，减少石墨保温盖的崩边、断裂对拉晶的影响，而且自身可以用较小尺寸规格的炭炭复合材料进行制作，减少了原材料的限制，降低了生产成本。
[0021]本说明书中所述的只是本实用新型的较佳具体实施例，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对本实用新型的限制。凡本领域技术人员依本实用新型的构思通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在本实用新型的范围之内。
【权利要求】
1.一种具有防护板的直拉单晶炉下保温盖，其特征在于:包括下保温盖和炭炭复合材料防护板，所述防护板和下保温盖之间使用紧固件连接；所述防护板内径比下保温盖内径小0-20mm，厚度为1-1Omm ;所述防护板由2_20块拼接而成。
【文档编号】C30B15/00GK203513824SQ201320534977
【公开日】2014年4月2日 申请日期:2013年8月29日 优先权日:2013年8月29日
【发明者】黄建明, 詹国彬 申请人:上海东洋炭素有限公司