单晶炉夹取装置制造方法

文档序号:8087980阅读:242来源:国知局
单晶炉夹取装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及单晶炉装置【技术领域】,特别涉及单晶炉夹取装置。利用升降杆的上部套装有一机械手,该机械手包括前端安装的手臂、以及末端安装的液压缸;所述液压缸和手臂之间通过连杆连接;所述机械手底部设有一固定杆,该固定杆起点连接手臂尾端底部,终点连接液压缸底部;位于手臂与连杆之间的固定杆上设有一通孔;所述升降杆的下部设有两个挡块;使得单晶硅晶棒在被取出的过程中不会断裂,从而保证了操作的安全;而机械手夹取时,方便快捷并且现成本低,提高了工作效率。
【专利说明】单晶炉夹取装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及单晶炉装置【技术领域】,特别涉及单晶炉夹取装置。
【背景技术】
[0002]目前将单晶硅晶棒取出的方法一般是由操作人员带上手套,用钳子将晶棒夹出。然而这样的操作方式不仅存在危险性,而且单晶硅晶棒的破裂强度与抗拉强度均较小,且晶棒在下降过程中存在一定的晃动,因此晶棒很容易出现断裂,以及人工操作随意性交大,效率缓慢。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的是提供一种方便快捷且安全的单晶炉夹取装置。
[0004]实现本实用新型的技术方案如下:
[0005]单晶炉夹取装置,包括机架和升降杆;所述机架上固定有上下两块夹持板;所述升降杆穿过两块夹持板上的通孔;所述升降杆底部连有油缸;所述升降杆的上部套装有一机械手,该机械手包括前端安装的手臂、以及末端安装的液压缸;所述液压缸和手臂之间通过连杆连接;所述机械手底部设有一固定杆,该固定杆起点连接手臂尾端底部,终点连接液压缸底部;位于手臂与连杆之间的固定杆上设有一通孔;所述升降杆的下部设有两个挡块。
[0006]所述升降杆与两个挡块的连接处各开有一个环形凹槽,所述两个挡块的一端套在环形凹槽上,使挡块与升降杆活动连接。方便将挡块固定在升降杆上
[0007]所述手臂包括两个竖杆与横杆形成“卜”字形的夹取杆、以及固定夹取杆的底座;所述两个夹取杆通过横杆上的螺孔水平连接于底座上。利用“卜”字形夹取单晶硅晶棒更牢固。
[0008]本实用新型的有益效果是:机架放置于地面上,用发动机械手夹住单晶硅晶棒的上部,再将两个挡块一左一右夹持住晶棒下部,随后松开两块夹持板,在利用底部的油缸推动升降杆上升,从而取出单晶硅晶棒。这样便能方便地将单晶硅晶棒取出,同时取出晶棒时不会抖动,使得单晶硅晶棒在被取出的过程中不会断裂,从而保证了操作的安全;而机械手夹取时,方便快捷并且成本低,又提高了工作效率。
【专利附图】

【附图说明】
[0009]通过下面结合附图的详细描述,本实用新型前述的和其他的目的、特征和优点将变得显而易见。
[0010]其中:图1为实用新型结构示意图;
[0011]图2为本实用新型升降杆结构示意图;
[0012]图3为本实用新型手臂结构示意图;
[0013]附图中,I为机架,2为升降杆,3为夹持板,4为油缸,5为机械手,6为手臂,7为液压缸,8为连杆,9为固定杆,10为通孔,11为挡块,12为环形凹槽,13为夹取杆,14为底座,15为竖杆,16为横杆。
【具体实施方式】
[0014]参见图1-图4所示,单晶炉夹取装置,包括机架I和升降杆2 ;所述机架上固定有上下两块夹持板3 ;所述升降杆穿过两块夹持板上的通孔;所述升降杆底部连有油缸4 ;所述升降杆的上部套装有一机械手5,该机械手包括前端安装的手臂6、以及末端安装的液压缸7 ;所述液压缸和手臂之间通过连杆8连接;所述机械手底部设有一固定杆9,该固定杆起点连接手臂尾端底部,终点连接液压缸底部;位于手臂与连杆之间的固定杆上设有一通孔10 ;所述升降杆的下部设有两个挡块11。
[0015]利用机械手,升降杆的下部设有两个挡块,以及升降杆底部连有油缸。使用时将机架放置于单晶炉旁的地面上,用打开液压缸,推动机械手夹住单晶硅晶棒的上部,随后将两个挡块左右转动,夹持住单晶硅晶棒的下部,使其不会晃动,随后松开两块夹持板,并用油缸推动升降杆上升,从而取出单晶硅晶棒这样便能方便地将单晶硅晶棒取出,并且可以保证操作人员的安全,同时取出晶棒时不会抖动,使得单晶硅晶棒在被取出的过程中不会碰到单晶炉,从而保证了单晶硅晶棒的质量;而利用机械手代替人工操作不仅安全而且操作方便有效快捷,大大提高了劳动效率。
[0016]优选的,参见图2所示,升降杆2与两个挡块11的连接处各开有一个环形凹槽12,所述两个挡块的一端套在环形凹槽12上,使挡块与升降杆活动连接。方便将挡块固定在升降杆上。
[0017]优选的,参见图3-图4所示,手臂包括两个竖杆15与横杆16形成“卜”字形的夹取杆13、以及固定夹取杆的底座14 ;所述两个对称的夹取杆13通过横杆上的螺孔水平连接于底座14上。利用“卜”字形夹取单晶硅晶棒更牢固。
【权利要求】
1.单晶炉夹取装置,包括机架和升降杆;所述机架上固定有上下两块夹持板;所述升降杆穿过两块夹持板上的通孔;所述升降杆底部连有油缸;其特征在于,所述升降杆的上部套装有一机械手,该机械手包括前端安装的手臂、以及末端安装的液压缸;所述液压缸和手臂之间通过连杆连接;所述机械手底部设有一固定杆,该固定杆起点连接手臂尾端底部,终点连接液压缸底部;位于手臂与连杆之间的固定杆上设有一通孔;所述升降杆的下部设有两个挡块。
2.根据权利要求1所述的单晶炉夹取装置,其特征在于,所述升降杆与两个挡块的连接处各开有一个环形凹槽,所述两个挡块的一端套在环形凹槽上,使挡块与升降杆活动连接。
3.根据权利要求1所述的单晶炉夹取装置,其特征在于,所述手臂包括两个竖杆与横杆形成“卜”字形的夹取杆、以及固定夹取杆的底座;所述两个夹取杆通过横杆上的螺孔水平连接于底座上。
【文档编号】C30B35/00GK203728965SQ201320825397
【公开日】2014年7月23日 申请日期:2013年12月12日 优先权日:2013年12月12日
【发明者】潘燕萍 申请人:常州市天龙光电设备有限公司
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