一种新型尾气排废管的制作方法
【专利摘要】一种新型尾气排废管，包括圆管和分别位于圆管端部和中部的两个球碗，圆管从位于其中部的球碗的中部穿过，两者之间具有间隙，位于圆管中部的球碗具有碗形管和连接管，连接管一端连接碗形管的碗底管口，另一端与圆管的管壁相连形成一体，在所述连接管的管壁上设有一进气口，所述进气口连通连接管与圆管之间的间隙。本实用新型能有效避免尾气排废管与石英管粘连，有利于延长石英管、尾气排废管的使用寿命，减少安全事故的发生。
【专利说明】一种新型尾气排废管
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种尾气排废管，该尾气排废管是用在硅太阳能电池片制造超净 工段8472软着陆闭管扩散炉上的，与炉体内作为混合气体反应仓的石英管的一伸向炉外 的管口相连，用来排出石英管中的尾气。
【背景技术】
[0002] 目前太阳能电池行业内，广泛采用尾气排废管连接过渡接液瓶和石英管，将石英 管内的尾气偏磷酸雾排出。现有技术中的尾气排废管的结构如图1所示，整个尾气排废管 由一圆管11和分别用于与过渡接液瓶和石英管的尾气排放口连接的两个球碗12、13组成。 用于与过渡接液瓶连接的球碗12位于圆管11的一端部，用于与石英管的尾气排放口连接 的球碗13位于圆管11的中部，尾气排废管的另一端从石英管的尾气排放口插入石英管内 部。圆管11从位于其中部的球碗的中部穿过两者之间具有间隙，该球碗具有碗形管131和 连接管132,连接管132 -端连接碗形管131的碗底管口，另一端与圆管11的管壁相连形成 一体。石英管的尾气排放口与插入其中的圆管11之间具有间隙，便于尾气排废管的拔出， 石英管的尾气排放口与位于圆管11中部的球碗13的碗口相连形成密封结构。
[0003] 现有技术中尾气排废管的这种结构具有如下缺点，因炉管即石英管的尾气排放口 部分外露，温度较炉体内部较低，从石英管与尾气排废管的圆管之间的间隙进入位于圆管 中部的球碗的连接管内部的尾气遇冷，易形成液态的偏磷酸。随液态的偏磷酸愈聚愈多， 最终使尾气排废管与石英管之间出现粘连，操作员在维护过程中不能顺利将尾气排废管拔 出，另外，偏磷酸腐蚀尾气排废管使其变薄，在抽拔时容易断裂，易造成安全事故。 实用新型内容
[0004] 本实用新型的目的在于提供一种新型尾气排废管，能有效避免尾气排废管与石英 管粘连，有利于延长石英管、尾气排废管的使用寿命，减少安全事故的发生。
[0005] 本实用新型的发明目的通过以下技术方案实现：一种新型尾气排废管，包括圆管 和分别位于圆管端部和中部的两个球碗，圆管从位于其中部的球碗的中部穿过，两者之间 具有间隙，位于圆管中部的球碗具有碗形管和连接管，连接管一端连接碗形管的碗底管口， 另一端与圆管的管壁相连形成一体，其特征在于，在所述连接管的管壁上设有一进气口，所 述进气口连通连接管与圆管之间的间隙，如此即可向该间隙中输入气体保持正压，阻止石 英管中的尾气进入其中，阻止偏磷酸聚集，即可防止尾气排废管与石英管之间发生粘连。 [0006] 所述尾气排废管由石英材料一体加工而成。
[0007] 与现有技术相比，本实用新型具有如下显著的效果：
[0008] 本实用新型能够防止尾气排废管与石英管的粘连，与传统的硅片尾气排废管相 t匕，使用寿命更长，有利于提高设备的正常运行率，同时也有利于降低偏磷酸对人体的危 害。
【专利附图】
【附图说明】
[0009] 图1为现有技术中的尾气排废管的剖视图；
[0010] 图2为本实用新型较佳实施例的尾气排废管的剖视图。
【具体实施方式】
[0011] 下面结合附图对本实用新型作进一步的详细说明：
[0012] 如图2所示，本实用新型的尾气排废管由石英材料一体加工而成，由长为2420mm 的圆管11和两个球碗12、13组成，其中一个球碗12位于圆管11的左端，用于与过渡接液 瓶相连，另一个球碗13位于圆管11的中部，用于与石英管的尾气排放口相连。尾气排废管 的右端从石英管的尾气排放口插入石英管内部。圆管11从位于其中部的球碗13的中部穿 过，两者之间具有间隙，该球碗13具有碗形管131和连接管132,连接管132 -端连接碗形 管131的碗底管口，另一端与圆管11的管壁相连形成一体。石英管的尾气排放口与插入其 中的圆管11之间具有间隙，石英管的尾气排放口与位于圆管11中部的球碗13的碗口相连 形成密封结构。在连接管132的管壁上设有一进气口 133,进气口 133连通连接管132与 圆管11之间的间隙，在工艺运行中和工艺运行后，通过该进气口 133向连接管132与圆管 11之间的间隙中输入氮气N2,使间隙内的压力大于石英管的尾气排放口处的尾气的压力， 即可阻止尾气进入间隙，防止偏磷酸在其中聚集，预防尾气排废管与石英管之间粘连问题 的发生。上述进气口 133为一石英材质的短管，耐温高达1KKTC。
【权利要求】
1. 一种新型尾气排废管，包括圆管和分别位于圆管端部和中部的两个球碗，圆管从位 于其中部的球碗的中部穿过，两者之间具有间隙，位于圆管中部的球碗具有碗形管和连接 管，连接管一端连接碗形管的碗底管口，另一端与圆管的管壁相连形成一体，其特征在于， 在所述连接管的管壁上设有一进气口，所述进气口连通连接管与圆管之间的间隙。
2. 根据权利要求1所述的新型尾气排废管，其特征在于，所述尾气排废管由石英材料 一体加工而成。
【文档编号】C30B31/16GK203846138SQ201420061978
【公开日】2014年9月24日 申请日期:2014年2月12日 优先权日:2014年2月12日
【发明者】毕红星, 蔡耀辉, 张照友, 邢巍, 曹慧龙 申请人:晶澳太阳能有限公司