同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局的制作方法

文档序号:8105692阅读:166来源:国知局
同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局的制作方法
【专利摘要】同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,涉及一种高频线圈,本实用新型通过在高频线圈(2)的拉制孔或化料孔(4)的外部设置七个或八个或九个或十个或十一个或十二个或十三个环绕的拉制孔(3),形成一次能同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,本实用新型具有结构简单,制造方便等特点,特别适合在多晶硅行业推广实施。
【专利说明】同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局【【技术领域】】
[0001]本实用新型涉及高频线圈【技术领域】,具体涉及可同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局。
【【背景技术】】
[0002]已知的,由于硅芯的后续产品被广泛应用于太阳能发电、半导体、军工等领域,所以硅芯的需求量非常巨大;而原来的硅芯在生产过程中,大多使用的是一种一次拉制五根或六根硅芯的高频线圈,其工作原理是:工作时通过给高频线圈通入高频电流,使高频线圈对原料棒进行感应加热,加热后的原料棒上端头形成融化区,然后利用籽晶夹头带动籽晶穿过高频线圈的拉制孔后插入原料棒上端的熔化区,待籽晶的端头与熔液熔为一体后,然后慢慢提升籽晶,熔化后的原料就会跟随籽晶上升进而形成新的柱形晶体,该柱形晶体便是硅芯的制成品。
[0003]发明人刘朝轩在先申请了多项涉及硅芯拉制的高频线圈,但对一次同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局一直是空白。

【发明内容】

[0004]鉴于【背景技术】中存在的不足,本实用新型公开了同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,本实用新型在拉制孔或化料孔的外部设置七个或八个或九个或十个或
i个或十二个或十三个环绕的拉制孔3,形成一次能同时拉制七根至十四根娃芯的高频线圈拉制孔布局,本实用 新型具有结构简单,加工方便等特点。
[0005]为了实现上述发明的目的,本实用新型采用如下技术方案:
[0006]同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,包括高频线圈、进水管路、出水管路、连接座和地线连接机构,在高频线圈的上部面中部设有向下凹陷面,在高频线圈的下部面中部设有向上的环形台阶,在高频线圈的外部环绕设置冷却介质通路,所述冷却介质通路的两端分别形成进水管路和出水管路,所述进水管路和出水管路外端分别设有连接座,在进水管路和出水管路之间的高频线圈上设有自高频线圈外缘贯通至拉制孔或化料孔的开口,所述拉制孔或化料孔设置在高频线圈的中部,在拉制孔或化料孔外部的高频线圈上设置七个或八个或九个或十个或十一个或十二个或十三个环绕的拉制孔,在高频线圈的外部设有地线连接机构。
[0007]所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,所述开口设置为直开口或“U”形开口或“V”形开口或“》”形开口或斜开口。
[0008]所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,所述拉制孔设置为圆形拉制孔;或设置为方形拉制孔;或设置为方形内角倒圆拉制孔;或设置为长方形拉制孔;或设置为长方形内角倒圆拉制孔;或设置为三角形拉制孔;或设置为三角形内角倒圆拉制孔;或设置为多边形拉制孔;或设置为不规则多边形拉制孔;或设置为菱形拉制孔;或设置为菱形内角倒圆拉制孔;或设置为梯形拉制孔;或设置为梯形内角倒圆拉制孔;或设置为长圆形拉制孔;或设置为椭圆形拉制孔。
[0009]所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,所述拉制孔的朝向拉制孔或化料孔一侧设有旋切口 ;或朝向拉制孔或化料孔一侧设置引流槽;或朝向拉制孔或化料孔一侧设置“V”形豁口 ;或朝向拉制孔或化料孔一侧部分设置为引流槽其余的设置为“V”形豁口 ;或朝向拉制孔或化料孔一侧部分设置为引流槽其余的设置为旋切口 ;或朝向拉制孔或化料孔一侧部分设置为旋切口其余的设置为“V”形豁口,所述引流槽的端部以及“V”形豁口的尖端与拉制孔或化料孔留有间距。
[0010]所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,所述引流槽的外端头设有引流槽端部扩口。
[0011]所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,所述引流槽端部设置为“V”形角或圆弧形,引流槽与拉制孔的连接一端设置为弧形过渡或角过渡。
[0012]所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,所述连接座为多角形连接座或双半圆形连接座或椭圆形连接座。
[0013]所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,在高频线圈外部环绕设置的冷却介质通路结构为:在高频线圈的外部上环面或外部下环面或外缘面开槽,将所述冷却介质通路环埋在高频线圈内;或在高频线圈的外缘面通过钎焊或铜焊或银焊焊接冷却介质通路,使冷却介质通路与高频线圈形成一体。
[0014]所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,所述冷却介质通路的另一替换结构为,在高频线圈的外缘面开槽,然后直接利用管道封闭所述槽,由所述槽形成冷却介质通路。
[0015]所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,所述地线连接机构为在高频线圈的外部上环面或下环面或外缘面设有接线板,或在高频线圈的外部上环面或下环面或外缘打孔通过螺丝连接地线形成地线连接机构。
[0016]由于采用上述技术方案,本实用新型具有如下有益效果:
[0017]本实用新型所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,本实用新型在拉制孔或化料孔的外部设置七个或八个或九个或十个或十一个或十二个或十三个环绕的拉制孔,形成一次能同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,本实用新型具有结构简单,制造方便等特点,特别适合在多晶硅行业推广实施。
【【专利附图】

【附图说明】】
[0018]图1是本实用新型同时拉制七根或八根硅芯的高频线圈拉制孔布局示意图;
[0019]图2是本实用新型同时拉制七根或八根硅芯的高频线圈拉制孔另一布局示意图;
[0020]图3是本实用新型同时拉制八根或九根硅芯的高频线圈拉制孔布局示意图;
[0021]图4是本实用新型同时拉制八根或九根硅芯的高频线圈拉制孔另一布局示意图;
[0022]图5是本实用新型同时拉制九根或十根硅芯的高频线圈拉制孔布局示意图;
[0023]图6是本实用新型同时拉制九根或十根硅芯的高频线圈拉制孔另一布局示意图;
[0024]图7是本实用新型同时拉制十根或十一根硅芯的高频线圈拉制孔布局示意图;
[0025]图8是本实用新型同时拉制十根或十一根硅芯的高频线圈拉制孔另一布局示意图;[0026]图9是本实用新型同时拉制十一根或十二根硅芯的高频线圈拉制孔布局示意图;
[0027]图10是本实用新型同时拉制十一根或十二根硅芯的高频线圈拉制孔另一布局示意图;
[0028]图11是本实用新型同时拉制十二根或十三根硅芯的高频线圈拉制孔布局示意图;
[0029]图12是本实用新型同时拉制十二根或十三根硅芯的高频线圈拉制孔另一布局示意图;
[0030]图13是本实用新型同时拉制十三根或十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局示意图;
[0031]图14是本实用新型同时拉制十三根或十四根硅芯的高频线圈拉制孔另一布局示意图;
[0032]图15是本实用新型的向下凹陷面和向上凹陷台阶的结构示意图;
[0033]图16是本实用新型的上部结构示意图;
[0034]图17是本实用新型的拉制孔与“V”形豁口形成的水滴形拉制孔结构示意图;
[0035]图18是本实用新型的拉制孔与引流槽形成的球拍形拉制孔结构示意图; [0036]图19是本实用新型的球拍形拉制孔的引流槽与拉制孔连接部位设置为圆弧形过渡结构示意图;
[0037]图20是本实用新型的球拍形拉制孔的引流槽端部设置为尖角结构示意图;
[0038]图21是本实用新型的球拍形拉制孔的引流槽端部设置为引流槽端部扩口结构示意图;
[0039]图22是本实用新型的开口设置为斜开口的结构示意图;
[0040]图23是本实用新型的开口设置为直开口结构示意图;
[0041]图24是本实用新型的开口设置为“U”形开口结构示意图;
[0042]图25是本实用新型的开口设置为“V”形开口结构示意图;
[0043]图26是本实用新型的开口设置为“》”形开口结构示意图;
[0044]图27是本实用新型的连接座长方形直立结构示意图;
[0045]图28是本实用新型的连接座长方形平躺结构示意图;
[0046]图29是本实用新型的连接座双半圆立体结构示意图;
[0047]图30是本实用新型的在拉制孔上设置旋切口的结构示意图;
[0048]在图中:1、接线板;2、闻频线圈;3、拉制孔;4、拉制孔或化料孔;5、开口 ;6、进水管路;7、连接座;8、出水管路;9、向下凹陷面;10、冷却介质通路;11、环形台阶;12、环形倒角;13、“V”形豁口 ;14、引流槽;15、引流槽端部扩口 ;16、安装孔;17、旋切口。
【【具体实施方式】】
[0049]下面结合实施例对本实用新型进行进一步的说明;下面的实施例并不是对于本实用新型的限定,仅作为支持实现本实用新型的方式,在本实用新型所公开的技术框架内的任意等同结构替换,均为本实用新型的保护范围;
[0050]结合附图1、2和15中所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,包括高频线圈2、进水管路6、出水管路8、连接座7和地线连接机构,在高频线圈2的上部面中部设有向下凹陷面9,在闻频线圈2的下部面中部设有向上的环形台阶11,在闻频线圈2的外部环绕设置冷却介质通路10,所述冷却介质通路10的两端分别形成进水管路6和出水管路8,所述进水管路6和出水管路8外端分别设有连接座7,在进水管路6和出水管路8之间的高频线圈2上设有自高频线圈2外缘贯通至拉制孔或化料孔4的开口 5,所述拉制孔或化料孔4设置在高频线圈2的中部,在拉制孔或化料孔4外部的高频线圈2上设置七个环绕的拉制孔3,在高频线圈2的外部设有地线连接机构形成一次能同时拉制七根或八根娃芯的闻频线圈拉制孔布局;
[0051]结合附图3、4和15中所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,包括高频线圈2、进水管路6、出水管路8、连接座7和地线连接机构,在高频线圈2的上部面中部设有向下凹陷面9,在闻频线圈2的下部面中部设有向上的环形台阶11,在闻频线圈2的外部环绕设置冷却介质通路10,所述冷却介质通路10的两端分别形成进水管路6和出水管路8,所述进水管路6和出水管路8外端分别设有连接座7,在进水管路6和出水管路8之间的高频线圈2上设有自高频线圈2外缘贯通至拉制孔或化料孔4的开口 5,所述拉制孔或化料孔4设置在高频线圈2的中部,在拉制孔或化料孔4外部的高频线圈2上设置八个环绕的拉制孔3,在高频线圈2的外部设有地线连接机构形成一次能同时拉制八根或九根娃芯的闻频线圈拉制孔布局;
[0052]结合附图5、6和15中所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,包括高频线圈2、进水管路6、出水管路8、连接座7和地线连接机构,在高频线圈2的上部面中部设有向下凹陷面9,在闻频线圈2的下部面中部设有向上的环形台阶11,在闻频线圈2的外部环绕设置冷却介质通路10,所述冷却介质通路10的两端分别形成进水管路6和出水管路8,所述进水管路6和出水管路8外端分别设有连接座7,在进水管路6和出水管路8之间的高频线圈2上设有自高频线圈2外缘贯通至拉制孔或化料孔4的开口 5,所述拉制孔或化料孔4设置在高频线圈2的中部,在拉制孔或化料孔4外部的高频线圈2上设置九个环绕的拉制孔3,在高频线圈2的外部设有地线连接机构形成一次能同时拉制九根或十根娃芯的闻频线圈拉制孔布局;
[0053]结合附图7、8和15中所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,包括高频线圈2、进水管路6、出水管路8、连接座7和地线连接机构,在高频线圈2的上部面中部设有向下凹陷面9,在闻频线圈2的下部面中部设有向上的环形台阶11,在闻频线圈
2的外部环绕设置冷却介质通路10,所述冷却介质通路10的两端分别形成进水管路6和出水管路8,所述进水管路6和出水管路8外端分别设有连接座7,在进水管路6和出水管路8之间的高频线圈2上设有自高频线圈2外缘贯通至拉制孔或化料孔4的开口 5,所述拉制孔或化料孔4设置在高频线圈2的中部,在拉制孔或化料孔4外部的高频线圈2上设置十个环绕的拉制孔3,在高频线圈2的外部设有地线连接机构形成一次能同时拉制十根或十一根娃芯的闻频线圈拉制孔布局;
[0054]结合附图9、10和15中所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,包括高频线圈2、进水管路6、出水管路8、连接座7和地线连接机构,在高频线圈2的上部面中部设有向下凹陷面9,在高频线圈2的下部面中部设有向上的环形台阶11,在高频线圈2的外部环绕设置冷却介质通路10,所述冷却介质通路10的两端分别形成进水管路6和出水管路8,所述进水管路6和出水管路8外端分别设有连接座7,在进水管路6和出水管路8之间的高频线圈2上设有自高频线圈2外缘贯通至拉制孔或化料孔4的开口 5,所述拉制孔或化料孔4设置在高频线圈2的中部,在拉制孔或化料孔4外部的高频线圈2上设置十一个环绕的拉制孔3,在高频线圈2的外部设有地线连接机构形成一次能同时拉制十一根或十二根硅芯的高频线圈拉制孔布局;
[0055]结合附图11、12和15中所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,包括高频线圈2、进水管路6、出水管路8、连接座7和地线连接机构,在高频线圈2的上部面中部设有向下凹陷面9,在高频线圈2的下部面中部设有向上的环形台阶11,在高频线圈2的外部环绕设置冷却介质通路10,所述冷却介质通路10的两端分别形成进水管路6和出水管路8,所述进水管路6和出水管路8外端分别设有连接座7,在进水管路6和出水管路8之间的高频线圈2上设有自高频线圈2外缘贯通至拉制孔或化料孔4的开口 5,所述拉制孔或化料孔4设置在高频线圈2的中部,在拉制孔或化料孔4外部的高频线圈2上设置十二个环绕的拉制孔3,在高频线圈2的外部设有地线连接机构形成一次能同时拉制十二根或十三根硅芯的高频线圈拉制孔布局;
[0056]结合附图13、14和15中所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,包括高频线圈2、进水管路6、出水管路8、连接座7和地线连接机构,在高频线圈2的上部面中部设有向下凹陷面9,在高频线圈2的下部面中部设有向上的环形台阶11,在高频线圈2的外部环绕设置冷却介质通路10,所述冷却介质通路10的两端分别形成进水管路6和出水管路8,所述进水管路6和出水管路8外端分别设有连接座7,在进水管路6和出水管路8之间的高频线圈2上设有自高频线圈2外缘贯通至拉制孔或化料孔4的开口 5,所述拉制孔或化料孔4设置在高频线圈2的中部,在拉制孔或化料孔4外部的高频线圈2上设置十三个环绕的拉制孔3,在高频线圈2的外部设有地线连接机构形成一次能同时拉制十三根或十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局;
[0057]结合附图16,本实用新型所述的拉制孔3上设有使拉制孔3刃口减薄的环形倒角12 ;
[0058]本实用新型所述拉制孔3设置为圆形拉制孔3 ;或设置为方形拉制孔3 ;或设置为方形内角倒圆拉制孔3 ;或设置为长方形拉制孔3 ;或设置为长方形内角倒圆拉制孔3 ;或设置为三角形拉制孔3 ;或设置为三角形内角倒圆拉制孔3 ;或设置为多边形拉制孔3 ;或设置为不规则多边形拉制孔3 ;或设置为菱形拉制孔3 ;或设置为菱形内角倒圆拉制孔3 ;或设置为梯形拉制孔3 ;或设置为梯形内角倒圆拉制孔3 ;或设置为长圆形拉制孔3 ;或设置为椭圆形拉制孔3 ;其中以圆形拉制孔3为例,结合附图17、18、19、20、21和30,在拉制孔3的朝向拉制孔或化料孔4 一侧设有旋切口 17 ;或朝向拉制孔或化料孔4 一侧设置引流槽14 ;或朝向拉制孔或化料孔4 一侧设置“V”形豁口 13 ;或朝向拉制孔或化料孔4 一侧部分设置为引流槽14其余的设置为“V”形豁口 13 ;或朝向拉制孔或化料孔4 一侧部分设置为引流槽14其余的设置为旋切口 17 ;或朝向拉制孔或化料孔4 一侧部分设置为旋切口 17其余的设置为“V”形豁口 13,所述引流槽14的端部以及“V”形豁口 13的尖端与拉制孔或化料孔4留有间距;其中所述引流槽14的外端头设有引流槽端部扩口 15 ;所述引流槽14端部设置为“V”形角或圆弧形,引流槽14与拉制孔3的连接一端设置为弧形过渡或角过渡;
[0059]结合附图22、23、24、25和26本实用新型所述开口 5设置为直开口或“U”形开口5或“V”形开口 5或“》”形开口 5或斜开口 5;[0060]结合附图27、28和29本实用新型所述连接座7为多角形连接座7或双半圆形连接座7或椭圆形连接座7 ;
[0061]其中本实用新型所述的在高频线圈2外部环绕设置的冷却介质通路10结构为:在高频线圈2的外部上环面或外部下环面或外缘面开槽,将所述冷却介质通路10环埋在高频线圈2内;或在高频线圈2的外缘面通过钎焊或铜焊或银焊焊接冷却介质通路10,使冷却介质通路10与高频线圈2形成一体;
[0062]为了更好的实施本实用新型,本实用新型所述冷却介质通路10的另一替换结构为,在高频线圈2的外缘面开槽,然后直接利用管道封闭所述槽,由所述槽形成冷却介质通路10 ;
[0063]其中本实用新型所述地线连接机构为在高频线圈2的外部上环面或下环面或外缘面设有接线板1,或在高频线圈2的外部上环面或下环面或外缘打孔通过螺丝连接地线形成地线连接机构。
[0064]实施本实用新型所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,通过实验,证明了本实用新型其中中部的拉制孔或化料孔4也可作为化料孔,作用仅仅加热原料棒形成生产多硅芯的高频线圈,或中部的拉制孔或化料孔4也作为拉制孔,形成生产多硅芯的高频线圈;本实用新型提高能量利用率,降低生产成本、大量节约能源、减少设备投资及人工综合成本可有效降低等优点,易于在多晶硅行业推广实施。
[0065]结合附图1?14,高频线圈2使用过程如下所述:首先将原料棒送至高频线圈2下部,所述高频线圈2下部为环形台阶11,原料棒距高频线圈2越近越好,但是不得与高频线圈2底部面接触,然后在高频线圈2上的进水管路6通电送水及出水管路8通电排水,经过通电排水后的高频线圈2上高频电流促使高频线圈2产生强大的磁力线,使原料棒上端头靠近高频线圈2的部分利用磁力线进行感应加热,高频线圈2通过冷却介质通路10内的冷却介质进行降温,待原料棒的端头靠近高频线圈2下面的部位融化后,籽晶夹头带着籽晶下降,使籽晶通过拉制孔3后插入原料棒的熔化区,然后提升籽晶,原料棒上部的熔化液体会跟随籽晶上升,其原料棒下部的下轴也相应跟随同步缓慢上升,但是其原料棒不得与高频线圈2接触;因为原料棒的端部可能不太平整,所以,高频线圈2下面设计为台阶面,其作用在于尽可能的使原料硅棒多靠近高频线圈2的下部面,并且台阶面的向上凹陷也同步具有加热环的作用;所述高频线圈2上面设计为向下凹陷面,其作用是可以减少高频电流过于在中部的集中,使其在高频线圈2上均匀分布,以实现受热均匀的效果和克服肌肤效应;原料棒上部的熔化区在籽晶的粘和带动并通过高频线圈2拉制孔3后,由于磁力线的减弱而冷凝,便形成一个新的柱型晶体,其籽晶夹头夹带籽晶缓慢上升,便可形成所需长度的成品娃芯。
[0066]本实用新型未详述部分为现有技术。
[0067]为了公开本实用新型的目的而在本文中选用的实施例,当前认为是适宜的,但是,应了解的是,本实用新型旨在包括一切属于本构思和发明范围内的实施例的所有变化和改进。
【权利要求】
1.同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,包括高频线圈(2)、进水管路(6)、出水管路(8)、连接座(7)和地线连接机构,其特征是:在高频线圈(2)的上部面中部设有向下凹陷面(9),在高频线圈(2)的下部面中部设有向上的环形台阶(11),在高频线圈(2)的外部环绕设置冷却介质通路(10),所述冷却介质通路(10)的两端分别形成进水管路(6)和出水管路(8),所述进水管路(6)和出水管路⑶外端分别设有连接座(7),在进水管路(6)和出水管路(8)之间的高频线圈(2)上设有自高频线圈(2)外缘贯通至拉制孔或化料孔⑷的开口(5),所述拉制孔或化料孔(4)设置在高频线圈(2)的中部,在拉制孔或化料孔(4)外部的高频线圈(2)上设置七个或八个或九个或十个或十一个或十二个或十三个环绕的拉制孔(3),在高频线圈(2)的外部设有地线连接机构。
2.如权利要求1所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,其特征是:所述开口(5)设置为直开口(5)或“U”形开口(5)或“V”形开口(5)或“》”形开口(5)或斜开口(5)。
3.如权利要求1所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,其特征是:所述拉制孔(3)设置为圆形拉制孔(3);或设置为方形拉制孔(3);或设置为方形内角倒圆拉制孔(3);或设置为长方形拉制孔(3);或设置为长方形内角倒圆拉制孔(3);或设置为三角形拉制孔(3);或设置为三角形内角倒圆拉制孔(3);或设置为多边形拉制孔(3);或设置为不规则多边形拉制孔(3);或设置为菱形拉制孔(3);或设置为菱形内角倒圆拉制孔(3);或设置为梯形拉制孔(3);或设置为梯形内角倒圆拉制孔(3);或设置为长圆形拉制孔⑶;或设置为椭圆形拉制孔(3)。
4.如权利要求1所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,其特征是:所述拉制孔⑶的朝向拉制孔或化料孔⑷一侧设有旋切口(17);或朝向拉制孔或化料孔⑷一侧设置引流槽(14);或朝向拉制孔或化料孔⑷一侧设置“V”形豁口(13);或朝向拉制孔或化料孔(4) 一侧部分设置为引流槽(14)其余的设置为“V”形豁口(13);或朝向拉制孔或化料孔(4) 一侧部分设置为引流槽(14)其余的设置为旋切口(17);或朝向拉制孔或化料孔(4) 一侧部分设置为旋切口(17)其余的设置为“V”形豁口(13),所述引流槽(14)的端部以及“V”形豁口(13)的尖端与拉制孔或化料孔⑷留有间距。
5.如权利要求4所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,其特征是:所述引流槽(14)的外端头设有引流槽端部扩口(15)。
6.如权利要求4所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,其特征是:所述引流槽(14)端部设置为“V”形角或圆弧形,引流槽(14)与拉制孔(3)的连接一端设置为弧形过渡或角过渡。
7.如权利要求1所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,其特征是:所述连接座(7)为多角形连接座(7)或双半圆形连接座(7)或椭圆形连接座(7)。
8.如权利要求1所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,其特征是:在高频线圈(2)外部环绕设置的冷却介质通路(10)结构为:在高频线圈(2)的外部上环面或外部下环面或外缘面开槽,将所述冷却介质通路(10)环埋在高频线圈(2)内;或在高频线圈(2)的外缘面通过钎焊或铜焊或银焊焊接冷却介质通路(10),使冷却介质通路(10)与高频线圈(2)形成一体。
9.如权利要求1所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,其特征是:所述冷却介质通路(10)的另一替换结构为,在高频线圈(2)的外缘面开槽,然后直接利用管道封闭所述槽,由所述槽形成冷却介质通路(10)。
10.如权利要求1所述的同时拉制七根至十四根硅芯的高频线圈拉制孔布局,其特征是:所述地线连接机构为在高频线圈(2)的外部上环面或下环面或外缘面设有接线板(1),或在高频线圈(2)的外部上环面或下环面或外缘打孔通过螺丝连接地线形成地线连接机 构。
【文档编号】C30B15/14GK203820920SQ201420217341
【公开日】2014年9月10日 申请日期:2014年4月25日 优先权日:2014年4月25日
【发明者】刘朝轩 申请人:洛阳金诺机械工程有限公司
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