单晶炉热场加热器的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种单晶炉热场加热器，包括加热器主体以及加热器垫脚，加热器主体设置有梯形凸台，梯形凸台设置有凹槽；加热器垫脚的上依次设置有与加热器连接孔和加热器垫脚连接孔，加热器垫脚的上板面设置有与加热器主体侧壁厚度相同的凸台，凸台的上抵接面与梯形凸台的下端抵接面之间设置有石墨软纸，石墨软纸的两面分别与凸台的上抵面和梯形凸台的下抵面相贴合，加热器主体与加热器垫脚通过连接件连接。单晶炉热场加热器把石墨加热器垫脚做成长条板式，用石墨螺栓从加热器垫脚底部与加热器主体相连，并且中间加垫一层石墨软纸，这样会使两者之间接触更加紧密，起到良好导电的目的，避免了因接触不良发生打火造成加热器损坏的问题。
【专利说明】单晶炉热场加热器
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种硅单晶制备设备，特别是一种单晶炉热场加热器，属于制备硅单晶的单晶炉用加热装置。
【背景技术】
[0002]单晶炉是在惰性气体环境中，采用加热器，将硅材料熔化，并采用直拉法生长无位错单晶的设备，而加热器是单晶炉热场的重要组成部件之一，是为单晶炉供热的发热部件，其中石墨加热器作为拉晶热场的核心部件在拉晶生产过程中起着关键性作用，其质量好坏直接影响到拉晶产量及成品率，并且作为主要耗材，直接影响到制造成本。
[0003]单晶炉上采用的传统加热器多为一体式结构，在制备硅单晶时，技术人员经过长期使用发现，采用一体式结构的加热器用到半年左右时，由于加热器长期至于高温环境中，加热器底脚会被硅蒸汽严重侵蚀，导致与电极柱接触不良，造成打火，如不进行维修处理，侵蚀时间过长时，加热器底脚便会自动开裂，导致加热器无法正常使用，虽然在技术上可以对加热器进行加工修复，但修复后的使用效果并不理想，使用一段时间后会发生二次侵蚀，致使加热器二次损坏。
[0004]目前，单晶炉上还采用分体式加热器，例如:申请号201220313158.0的实用新型所公开的一种可拆卸式分体加热器，该分体加热器包括加热器本体和设置在加热器本体上的加热器脚，该加热器本体与加热器脚通过连接件连接。虽然在一定程度上解决了因硅蒸汽侵蚀而损坏的加热器，可通过更换加热器脚来实现快速修复，但由于该分体式加热器的加热器脚采用垂直方向连接，无法做到加热器主体与加热器脚良好接触，因此当分体式加热器使用时间过长时，就会造成连接处在高温加热过程中打火，从而损坏加热器，导致加热器无法继续使用。
【发明内容】
[0005]本实用新型的目的在于提供一种单晶炉热场加热器，用于制备单晶硅的单晶炉中，解决了一体式加热器底脚侵蚀无法更换和分体式加热器由于接触不良发生打火的问题。
[0006]本实用新型解决其技术问题采取的技术方案是这样的:
[0007]一种单晶炉热场加热器，包括加热器主体以及固定设置在加热器主体底部的加热器垫脚，其关键技术在于，加热器主体内壁面竖直方向延伸端设置有梯形凸台，该梯形凸台的下端抵接面设置有用于嵌入螺母的凹槽；所述加热器垫脚主体为长条板，该加热器垫脚的上依次设置有与梯形凸台相对应的加热器连接孔和用于固定加热器主体的加热器垫脚连接孔，该加热器垫脚的上板面设置有与加热器主体侧壁厚度相同的凸台，该凸台的上抵接面与梯形凸台的下端抵接面之间设置有石墨软纸，该石墨软纸的两面分别与凸台的上抵面和梯形凸台的下抵面相贴合，所述的加热器主体与加热器垫脚通过连接件连接。
[0008]本实用新型的进一步改进在于:所述加热器垫脚为石墨长条板。
[0009]本实用新型的进一步改进在于:所述连接件为石墨螺栓。
[0010]本实用新型的进一步改进在于:所述石墨软纸上设置有用于连接的安装孔。
[0011]本实用新型的有益效果是:
[0012]所述的单晶炉热场加热器通过采用分体式连接的方式，不但可以实现加热器垫脚自由拆换，提高加热器的使用寿命，降低加热器的制造成本，而且加热器内壁面延伸端设置的梯形凸台既对硅蒸汽具有导流的作用，又防止硅蒸汽侵蚀加热器垫脚，进而避免硅液的沉积，特别是加热器垫脚设置的与梯形凸台相配合的垫脚凸台，进一步解决了由于硅液沉积带来的接触面侵蚀，避免加热器主体与加热器垫脚的粘连。
[0013]更重要的是该单晶炉热场加热器把石墨加热器垫脚做成长条板式，用石墨螺栓从加热器垫脚底部与加热器主体相连，并且中间加垫一层石墨软纸，这样会使两者之间接触更加紧密，起到良好导电的目的，避免了因接触不良发生打火造成加热器损坏的问题。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。
[0015]图1为本实用新型的结构示意图。
[0016]图2为本实用新型的A部放大图。
[0017]图中:1、加热器本体，2、凹槽，3、石墨软纸，4、加热器连接孔，5、加热器垫脚连接孔，6、加热器垫脚,7、梯形凸台，8、石墨螺栓,9、凸台。
【具体实施方式】
[0018]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0019]实施例:如图1和图2所示
[0020]一种单晶炉热场加热器，包括用于将硅熔化的加热器主体I以及装在加热器主体I底部的加热器垫脚6，加热器主体I与加热器垫脚6通过石墨螺栓8连接，加热器垫脚6可通过抒下石墨螺栓8自由装卸,加热器主体I内壁面竖直方向延伸端设置成梯形凸台7,使该梯形凸台7的下端抵接面的厚度达到53m，在该下端抵接面开设用于嵌入螺母的凹槽2 ;加热器垫脚6选用材料为石墨的长条板，在该加热器垫脚6的石墨长条板上依次开设用于通过石墨螺栓8连接与梯形凸台7的凹槽3相对应的加热器连接孔4和用于固定加热器主体I的加热器垫脚连接孔5，加热器垫脚6的上板面设置成与加热器主体I侧壁厚度相同，高度为5_的凸台9,该凸台9的上抵接面与梯形凸台7的下端抵接面之间装有石墨软纸3，该石墨软纸3的两面分别与凸台9的上抵接面和梯形凸台7的下抵接面相贴合。
[0021]对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
【权利要求】
1.一种单晶炉热场加热器，包括加热器主体⑴以及固定设置在加热器主体⑴底部的加热器垫脚(6)，其特征在于:加热器主体(1)内壁面竖直方向延伸端设置有梯形凸台(7)，该梯形凸台(7)的下端抵接面设置有用于嵌入螺母的凹槽(2);所述加热器垫脚(6)主体为长条板，该加热器垫脚(6)的上依次设置有与梯形凸台(7)相对应的加热器连接孔(4)和用于固定加热器主体(1)的加热器垫脚连接孔(5)，该加热器垫脚(6)的上板面设置有与加热器主体(1)侧壁厚度相同的凸台(9)，该凸台(9)的上抵接面与梯形凸台(7)的下端抵接面之间设置有石墨软纸(3)，该石墨软纸(3)的两面分别与凸台(8)的上抵面和梯形凸台(7)的下抵面相贴合，所述的加热器主体⑴与加热器垫脚(6)通过连接件连接。
2.根据权利要求1所述的单晶炉热场加热器，其特征在于:所述加热器垫脚(6)为石墨长条板。
3.根据权利要求1所述的单晶炉热场加热器，其特征在于:所述连接件为石墨螺栓⑶。
4.根据权利要求1 所述的单晶炉热场加热器，其特征在于:所述石墨软纸(3)上设置有用于连接的安装孔。
【文档编号】C30B15/14GK203923447SQ201420329577
【公开日】2014年11月5日 申请日期:2014年6月20日 优先权日:2014年6月20日
【发明者】李德建, 赵会刚, 张晓朋 申请人:河北宁通电子材料有限公司