阻气膜和阻气膜的制造方法与流程

本公开涉及阻气膜和阻气膜的制造方法。

背景技术：

1、阻气膜(gas barrier film)具有高阻挡性(阻隔性)，故广泛应用于食品、工业产品、医药品等的包装、液晶显示元件、oled(organic light emitting diode)、有机el(organic electro-luminescence)、太阳能电池等的基板等。

2、近来，为了赋予阻气膜进一步的功能，当在阻气膜上进行透明导电层等的功能层的层叠时，功能层的高精度层叠很重要。功能层层叠时，如果阻气膜发生翘曲(curl)，则难以将功能层等高精度层叠在阻气膜上，为此，已经对翘曲可被抑制的阻气膜进行了各种研究。

3、作为翘曲可被抑制的阻气膜，例如，公开了一种在基材上具有锚固层和阻气层的阻气片，锚固层含有聚硅氧烷聚合物，阻气层含有氧化硅和导电材料(例如，参见专利文件1)。

4、[引证文件]

5、[专利文件]

6、[专利文件1]日本国特开2010-143091号公报

技术实现思路

1、[要解决的技术问题]

2、然而，专利文件1的阻气片存在如下问题，即，为了使翘曲难以发生，需要具备锚固层和阻气层这两层，并且为了提高锚固层和阻气层的相互作用，构成这些层的材料被限定为包含si的材料。

3、一般而言，阻气膜使用包含si系、zn系、sn系、al系等的化合物的阻气层，并且希望能够对阻气膜的、基于阻气性能、用途等构成阻气层的材料进行适当选择。因此，为了利用阻气膜，例如需要一种可不受诸如上述化合物等的构成阻气层的材料的限制，并可对阻气膜的翘曲进行抑制的方法。

4、本发明的一个方式的目的在于，提供一种构成阻气层的材料不受限制，并可对翘曲进行抑制的阻气膜。

5、[技术方案]

6、本发明的阻气膜的一个方式具备有机基材和设置在所述有机基材的一个表面侧的无机透明阻挡层，其中，所述无机透明阻挡层包含阻挡材料作为主成分，且包含kr和xe中的至少一种。

7、本发明的阻气膜的制造方法的另一个方式为上述阻气膜的制造方法，其中，在包含kr和xe中的至少一种的气体气氛内，使用包含zn的靶，在有机基材上以包含kr和xe中的至少一种的方式溅射阻挡材料，藉此对所述无机透明阻挡层进行成膜。

8、[有益效果]

9、根据本发明的阻气膜的一个方式，构成阻气层的材料不受限制，并可对翘曲进行抑制。

1.一种阻气膜，具备：

2.根据权利要求1所述的阻气膜，其中，

3.根据权利要求1或2所述的阻气膜，其中，

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的阻气膜，其中，

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的阻气膜，其中，

6.一种阻气膜的制造方法，该阻气膜为根据权利要求1～5中的任一项所述的阻气膜，其中，

7.根据权利要求6所述的阻气膜的制造方法，其中，