技术编号：10030097
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在真空镀膜机中，镀膜机炉体内环境为真空状态，因此当镀膜机工作时需要保证其密封性能，在镀膜过程中需要用到晶振片，晶振片在镀膜机内工作时需定期更换，但是现有的晶振片更换时需要停止机台，并调镀膜机于常压状态，然后打开相应的设备装置，继而对晶振片进行更换，更换完成后再密封机台，对机台进行调节使调为真空状态，然后继续进行镀膜作业，可见，该镀膜作业中的更换晶振片的过程极为繁琐，而且需要暂停机台工作并调整环境状态，使镀膜机的镀膜工作时间大大延长，导致其工作质量受到影响，...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。