技术编号：10035249
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及机电一体化的精密科学仪器，特别涉及一种集成宏微驱动、高精密检测、微纳米级力学性能检测和原位观测为一体的微型精密原位纳米压痕及刻划测试装置。背景技术原位纳米压痕及划痕测试技术相对于离位纳米压痕及划痕测试技术来说难度主要是需要测试装置的小型化并保证测试性能。小型化对测试装置的驱动和检测单元提出了要求，许多离位纳米压痕及划痕测试装置中能够使用的驱动和检测单元由于体积大无法实现装置的小型化，所以就需要有新颖的驱动和检测方式以及巧妙的结构设计来开发紧凑...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。