一种微型热导传感器的气室的制作方法技术资料下载

技术编号:10264856

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热导传感器是应用较为广泛的检测器,具有测定范围广、稳定性好、线性范围宽、样品不被破坏等优点。传统热导传感器的池体积大,过大的池体不利于温度均匀性和稳定性,因此要提高热导传感器的灵敏度,就需要使热导传感器的气室微型化。现有技术提出的一种微型热导传感器的气室,该气室由单晶硅和Pyrex阳极键合而成,并用光刻工艺在S12薄膜上刻蚀出梳妆或网状镍电极。但是,S12薄膜、Pyrex玻璃和镍金属电极热膨胀系数差别很大,当传感器气室温度较高时,不仅Pyrex玻璃层会发生...
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