技术编号：10264856
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。热导传感器是应用较为广泛的检测器，具有测定范围广、稳定性好、线性范围宽、样品不被破坏等优点。传统热导传感器的池体积大，过大的池体不利于温度均匀性和稳定性，因此要提高热导传感器的灵敏度，就需要使热导传感器的气室微型化。现有技术提出的一种微型热导传感器的气室，该气室由单晶硅和Pyrex阳极键合而成，并用光刻工艺在S12薄膜上刻蚀出梳妆或网状镍电极。但是，S12薄膜、Pyrex玻璃和镍金属电极热膨胀系数差别很大，当传感器气室温度较高时，不仅Pyrex玻璃层会发生...
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