技术编号：10388310
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。ITO靶材(氧化铟锡靶材)是生产ITO透明导电膜玻璃真空镀膜的原料，要求在工作压力50T?300T中压、10—1Pa中真空和1600°C?2000°C高温环境下成型。由于耐高温高压压头部件是制取高强度ITO靶材设备的必要部件，该部件的密封性和耐热耐压能力直接影响设备的正常运行。生产该ITO靶材设备的压头承受的最高温度2200°C，最大压力630吨，其对压头部件的强度和密封需要有更高的要求，必须在保证密封性的同时兼具高强度。实用新型内容本实用新型的目的是提供...
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