一种硅片酸腐蚀用夹持转动工装的制作方法技术资料下载

技术编号:10464100

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硅片酸腐蚀是半导体硅片生产中的一个重要过程,在这个过程中要求去除磨片后硅片表面的损伤层,且要求表面色泽一致,达到一定的光泽度,粗糙度,以及厚度和TTV(硅片厚度变化量)的几何参数要求。它对硅片后道加工质量有极大的影响。现有的酸腐蚀机是大多是比较早的一代设备,机械结构的设计本身是为6寸以下硅片设计的,硅片在加工过程中的旋转速度不能控制调节,从而产生硅片边缘产生有夹具痕迹存在,影响了色差,及影响边缘TTV(硅片厚度变化量),导致产品报废。如果采购适用于8寸硅片...
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