技术编号：10470903
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 半导体产品的生产是非常复杂的，在半导体工厂的生产过程中，因为制程的复杂 性，生产线上会出现各种各样的新问题，因此在实际生产过程中，需要根据生产的实际情况 来对机台设置各种限定跑货的条件。 在现有晶圆制造厂中，一般都采用制造执行系统（Manufac化ring Execution System,MES，简称MES系统）和机台自动化系统来对生产进行控制，同时基于MES系统可对 机台限定的派货条件进行限制。 但是，任何系统都是有局限性的，当现有的系统没法满足新的...
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