技术编号：10475907
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。计量涉及与目标、目标计量条件及生产工艺相关的大量参数。目标设计、生产工艺及计量测量展现对这些参数的不同程度的灵敏度，这使得难以有效评估参数设置且使计量偏移的根本原因分析具有难度。发明内容本发明的一个方面提供一种系统，所述系统包括输入模块，其经布置以接收与目标、目标计量条件及生产工艺相关多个参数，以产生目标数据;计量模拟单元，其经布置以从所述目标数据模拟目标的计量测量且产生量化所述模拟目标测量的多个度量;灵敏度分析模块，其经布置以导出所述度量对所述参数的函数...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
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