技术编号：10510053
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。用毛细管大电流快脉冲放电Z箍缩获极紫外光以13.5nm的波长辐射，极紫外光作为极大规模集成电路实现<20nm刻线的光刻光源，或作为“极大规模集成电路的制造装备及成套工艺”研制过程中的检测光源，都需要将毛细管输出的13.5nm极紫外光有效收集聚焦，以便在焦点处获高功率的极紫外光。当前国际上已用心轴脱膜技术研制了收集镜系统，但是该系统装配复杂、集成效果差、获得极紫外光的功率低。发明内容本发明是为了解决现有的极紫外光收集镜系统的集成性差、获得极紫外光的功率...
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