技术编号：10578908
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。以往，在线性致动器的驱动部或阀的驱动部中经常使用层积压电元件所构成的层积压电致动器，利用使用层积压电致动器的压电驱动阀来控制流量的流量控制装置也广为所知。作为这种流量控制装置的一个示例，图10所示的流量控制装置，可以通过安装于阀块体12的层积压电式致动器2对插入设置于阀块体12的内部流路11的金属隔膜阀等的阀体13进行开闭操作(专利文献I?3等)。图10所示的流量控制装置称为压力式流量控制装置，当插入设置于流路11的流孔14的下游侧压力P2与上游侧压力Pi...
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