技术编号：10658372
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。非易失性存储器件可以包括浮置栅型或电荷俘获型闪存器件。闪存器件可以包括多个存储器单元，并且存储器单元的集成度在增长。相应地，存储器单元之间的距离和每个存储器单元的宽度在降低，并且已研究了用于保持存储器单元的操作可靠性的方法。发明内容示例实施例提供了具有改进的操作可靠性的半导体器件。示例实施例提供了制造具有改进的操作可靠性的半导体器件的方法。根据示例实施例，提供一种半导体器件。所述半导体器件包括衬底;衬底上的隧道绝缘图案;隧道绝缘图案上的电荷存储图案，所述电...
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