一种蒸镀用掩模板及其制作方法技术资料下载

技术编号:10666111

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随着有机材料和制备工艺技术的发展,近些年基于OLED技术的产品在市场上逐渐显现。由于OLED具备节能、环保、并可大面积制备,以及与柔性衬底很好的兼容等特点,业界预测AMOLED显示将会是下一代平板显示的主流技术。AMOLED制备过程中,OLED发光器件的图形化需要采用高精度的掩膜板来完成,并且随着AMOLED制造的基板尺寸的增大,蒸镀源往往采用线性蒸镀组件。如图1所示,线性蒸镀组件I包括多个线性排布的喷嘴(未示出),经由喷嘴喷出蒸镀材料,蒸镀材料通过掩模板...
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