具有更低阻抗表面电极层的压电薄膜传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:10724357

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基于PVDF压电薄膜材料的压电式传感器,由于其对动态应变或压力具有较高的灵敏度和响应时间而被广泛应用在电子、医疗和人体工程等诸多领域。尤其是随着以智能手机为代表的电子触控设备的快速增多,对于压电式传感器的需求也越来越大。已知的压电式传感器的主要构成包括(PVDF)压电薄膜和贴附于压电薄膜上下表面中至少一面的ITO薄膜电极层。ITO薄膜是一种η型半导体材料,具有较好的导电率、可见光透过率、机械硬度和良好的化学稳定性,是液晶显示器(IXD)、等离子显示器(PD...
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