技术编号：10747276
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。离子注入技术是近30年来在国际上蓬勃发展和广泛应用的一种材料表面改性高新技术，已经在半导体材料掺杂，金属、陶瓷、高分子聚合物等的表面改性上获得了极为广泛的应用，取得了巨大的经济效益和社会效益。在电子工业中，离子注入成为了微电子工艺中的一种重要的掺杂技术，在当代制造大规模集成电路中，可以说是一种必不可少的手段。离子注入目前都采用二维扫描控制装置控制扫描输出，扫描方式有电扫描晶片固定，水平与垂直方向都采用电子束扫描;机械扫描束流固定，晶片运动;混合扫描水平方向...
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