一种用于生长准单晶的热交换台的制作方法技术资料下载

技术编号:10791723

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在目前的晶体硅铸锭技术中,主要有普通多晶铸锭、高效多晶铸锭以及准单晶铸锭。随着铸锭技术的不断发展,普通多晶铸锭已逐渐被淘汰,但是高效多晶铸锭技术本身也存在瓶颈,效率很难有大幅度的提升,而准单晶铸锭则有很大的提升空间。准单晶铸锭在装料时候必须在坩祸底部铺满单晶籽晶,在熔化时保证籽晶不完全熔化,以作为后期生长的形核中心,从而生长出准单晶。由于单晶本身尺寸较小(由于工艺原因,目前市场上的主流单晶尺寸最大为230mm左右),而铸锭用的坩祸尺寸要大于840mm,若要...
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