技术编号：10802317
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。纳米压印是一种制造纳米器件的高效方法，具有低成本、高产量、低成本的特点。目前纳米压印技术主要包括热压印、微接触压印、和紫外压印三种。卷对卷纳米压印技术可以大面积的弹性薄膜上连续压印纳米图案，并且相对传统技术生产率大大提高。传统的压印中，大面积的压印需要施加非常大的外力，这个外力会破坏模板并且使模板和样品粘附在一起。卷对卷纳米压印技术中所需压印力量大大减小，且模板和样品的分离过程是剥离过程，力量更小，缺陷更少。然而，对于卷对卷纳米压印技术而言，对于残余层的控...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。