技术编号：10804961
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。扩散工序是太阳能电池制备的重要环节，此工序的主体设备为扩散炉。在使用扩散炉时，操作人员需要将两个盛放有扩前片的石英舟并排放在设备的缓存区的舟架上，点击确认上舟按钮后，机械手将舟托架抓起，通过一系列传送机构将舟托架和石英舟转移至扩散炉内进行工艺。扩散工艺完成后，机械手再将舟托架和石英舟卸载至缓存区，由操作人员取走两个石英舟。在生产过程中，每次工艺需要使用两个石英舟，但操作人员每次只能取/放一个石英舟，尤其在多人使用同一台设备时，操作人员常常出现未将盛放扩后片...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。