技术编号：10971946
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。真空蒸镀是指在真空环境中，将待成膜物质加热蒸发或升华后，使其在低温工件或基片表面凝结或沉积，形成镀层的工艺。在有机显示领域，有机显示器件的镀膜工艺好坏是影响有机显示器件功能优劣的关键因素。由于在蒸镀过程中，为了适应不同蒸镀基片以及不同的蒸镀要求，经常需要在蒸镀过程中更换蒸镀源出口处的不同形状规格的喷嘴，在现有技术中，当需要更换喷嘴时，必须停机并打开真空腔室，手动拆卸更换喷嘴后，再重新抽真空并开机蒸镀，频繁的更换喷嘴会延长蒸镀装置的蒸镀时间，降低蒸镀效率。实...
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