技术编号：11092776
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种低温精馏提纯三氟化硼气体的工艺，其属于高纯三氟化硼生产技术领域。背景技术三氟化硼作为一种特殊的硼试剂和氟化物，广泛应用于有机合成催化剂，元素硼制造，硼纤维加工，有机硼化合物的制备，高纯三氟化硼还可以用于电子工业，是硅和锗外延，扩散和离子注入过程的P型掺杂源。对于三氟化硼的生产，发达国家如美国，德国，日本，印度等都有大规模的生产厂，其中美国的联合信号公司和德国的BASF生产的瓶装三氟化硼气体占有全球的主要份额。日本钢铁化学公司生产的三氟化硼尽管具有较高的纯度但其规模相对较小。长期以来...
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