技术编号:11131883
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机械加速度传感器。本发明还涉及一种用于制造微机械加速度传感器的方法。背景技术传统的用于测量物理加速度的传感器一般具有由硅制成的微机械结构(传感器芯)以及具有分析处理电子部件。使得能够测量正交于传感器芯主平面方向上的加速度的传感器芯被称为Z传感器。在机动车领域中,这种传感器例如使用在ESP系统或移动通信装置的领域中。已知的微机械横向传感器(英文:In-Plane-Sensors)用于感测该横向传感器的主平面中的加速度。EP0773443B1公开了一种微机械加速度传感器。例如在DE1...
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