具有在至少两个波长范围之间的区分功能的高分辨率扫描显微术的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11160582

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本发明涉及一种用于对试样进行高分辨率扫描显微成像的方法,其中,试样利用照明辐射以如下方式受激发射荧光辐射,使得照明辐射集束到试样中或试样上的一点上,以形成受衍射限制的光斑,所述点受衍射限制地成像到对具有位置分辨能力的平面检测器上的衍射图中,其中,平面检测器具有位置分辨能力,其对衍射图的衍射结构加以分辨,所述点相对于试样以小于光斑直径一半的步进幅度推移到不同的扫描位置中,对平面检测器进行读取,基于平面扫描器的数据以及基于对应于上述数据的扫描位置产生试样的图像,所述图像具有超出成像的分辨率极限地升高...
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