技术编号：11160731
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种对流体的流量进行控制的方法、执行该方法的质量流量控制装置以及使用该质量流量控制装置的质量流量控制系统。例如，本发明涉及一种能够恰当地用于向半导体制造装置供给的工艺气体(processgas)的供给的开始和停止以及供给量的控制的对流体的流量进行控制的方法、执行该方法的质量流量控制装置以及使用该质量流量控制装置的质量流量控制系统。背景技术质量流量控制装置(massflowcontroller)例如广泛使用于以下目的：对在半导体的制造工艺中向腔室内供给的工艺气体的流量进行控制。质量流量控...
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