技术编号：11188048
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学抛光设备技术领域，尤其涉及一种研磨齿轮盘及光学研磨抛光机。背景技术光学抛光与常规的研磨抛光相比，精度和粗糙度要求更高，其抛光后的粗糙度达到了可见光波长的等级。现有技术中的光学抛光机，特别是双面抛光机，采用行星轮对工件实施抛光。其中，基座固定，上侧的磨盘与下侧的基座之间设置行星轮系，行星轮系中的内太阳轮固定设置于基座，外太阳轮固定安装于基座并由电机驱动旋转，两个齿轮无法灵活更换。另外，内外太阳轮之间的多个行星轮直径、厚度不能调节，特别是其厚度可更改的范围受到内、外太阳轮尺寸的限制。发...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。